一种用于太阳能电池钝化膜层的检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能电池领域，具体是一种用于太阳能电池钝化膜层的检测设备。


背景技术：

2.钝化定义为在氧化条件下通过强阳极极化使得金属材料表面形成一层非常薄的保护层达到了阻碍腐蚀的一种状态，这就是钝化。金属表面的薄膜就是钝化膜。一些金属或合金在活化电位处或者在弱阳极极化情况下出现一层简单阻碍层从而降低了腐蚀速率，根据钝化的定义这种情况不属于钝化。钝化膜结构非常薄，厚度测量在1～10nm之间。
3.金属钝化是一种界面现象，因为它没有改变金属本身的性能，只是使金属表面在介质中的稳定性发生变化。金属由活性状态转变为钝态是一个比较复杂的过程，因此人们对钝化的认识也是逐步深化的。还没有很完整的理论来说明所有的钝化现象。下面扼要介绍认为能较满意地解释大部分实验事实的两种理论，即成相膜理论和吸附理论。
4.对于晶体硅太阳能电池来说，随着晶体硅制造技术的提升，基体硅片的体载流子寿命不断提高，已经不再是制约电池效率提升的关键因素。而电池表面的钝化对转换效率的影响越来越明显。太阳能电池的生产过程中，基体硅片的成本占整个生产成本的比例最高，为降低生产成本，尽快实现光伏电价“平价上网”，提高市场竞争力，硅片薄化是必然的趋势，随之产生的问题就是电池表面复合严重。这就为太阳能电池表面钝化技术提出了挑战，为了在硅片薄化的过程中仍然保持电池的高转化效率，对晶体硅太阳电池表面钝化技术的研究是必不可少的。
5.太阳能电池钝化的制备方法有多种，从工艺效果和工业化生产来考虑，目前应用于太阳能电池生产的制备方法主要是等离子增强化学气相沉积(pecvd)法，pecvd方法的过程是在较低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上产生辉光放电，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。反应气体主要为硅烷(sih4)和氨气(nh3)。
6.在目前太阳能钝化过程中，采用工艺气体对电池板进行钝化，对钝化的气体反应过程的气密性要求非常高，制备过程中气体的泄露会导致太阳能电池板钝化失败，降低太阳能电池板钝化镀膜的效率，本技术旨在对太阳能电池板钝化的设备进行密封性检测，保证电池板钝化制备设备的密封性，保证了气体反应的密闭性，提高了电池板钝化的成功率。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种用于太阳能电池钝化膜层的检测设备，以解决现有技术中的问题。
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
9.一种用于太阳能电池钝化膜层的检测设备，设备本体包括镀膜模组，镀膜模组上
设有用于对太阳能电池板进行密封镀膜的密封机台，密封机台内部设有镀膜腔，密封机台上设有用于对密封机台进行密封的密封限位板，密封机台靠近密封限位板的位置设有用于将密封限位板卡设在密封机台的卡设槽，密封限位板上设有用于滑移在卡设槽内部的卡设块，密封限位板上设有用于对密封机台进行密封检测的检测部件，检测部件包括滑动方位块，密封机台靠近密封限位板的位置设有用于密封机台进行密封的密封部件。
10.通过采用上述步骤：密封机台能够对太阳能电池板钝化进行气体反应，密封限位板对密封机台进行密封，卡设槽能够将密封限位板上的卡设块卡设在卡设槽内部，使得密封限位板和密封机台紧密连接，检测部件对密封机台的密封性进行检测，密封部件能够加强密封限位板和密封机台之间的密封性。
11.进一步设置：检测部件包括用于对密封机台的密封性进行检测的气流检测杆，气流检测杆包括用于对密封机台向外散发的气体进行检测的左向检测杆和右向检测杆，左向检测杆和右向检测杆均为伸缩杆，滑动方位块上设有用于支撑左向检测杆和右向检测杆的伸缩支杆，滑动方位块内部设有用于带动伸缩支杆进行转动的电机，密封限位板上设有用于使滑动方位块进行左右滑移的左向滑槽和右向滑槽，左向滑槽和右向滑槽内部设有带动滑动方位块滑移的滑动气缸。
12.通过采用上述步骤：气流检测杆对密封机台内部散发的气体进行检测，滑动方位块能够带动左向检测杆和右向检测杆进行左向滑移和右向滑移，电机能够带动左向检测杆和右向检测杆进行转动,伸缩支杆能够带动左向检测杆和右向检测杆进行上下移动。
13.进一步设置：左向检测杆和右向检测杆靠近地面的一侧设有滑动槽，滑动槽内部设有对密封机台四面气体进行检测的检测主杆，滑动槽内部设有用于带动测试主杆进行滑移的滑移气缸，检测主杆上设有气体检测传感器，气体检测传感器的型号采用kp830泵吸便携式气体检测仪。
14.通过采用上述步骤：测试主杆能够带动气体检测传感器对密封机台内部的密封性进行检测，滑移气缸能够带动检测主杆在滑动槽内部进行滑移。
15.进一步设置：密封部件包括用于密封限位板与密封机台的缝隙进行密封的密封卡板，密封卡板呈l型，密封卡板与密封机台铰接，密封卡板上设有加强密封卡板密封性的密封胶层，密封卡板上设有用于固定密封卡板的磁吸板。
16.通过采用上述步骤：密封卡板能够对密封机台和密封限位板之间的缝隙进行外部密封，密封胶层能够加强密封卡板的密封性，磁吸板能够将密封卡板固定在密封限位板上。
17.进一步设置：密封机台上设有用于对密封机台内部充气的充气管道和对密封机台内部抽气的抽气管道，抽气管道内部设有用于对密封机台密封性进行检测的密封检测仪。
18.通过采用上述步骤：充气管道能够对密封机台内部冲入用于检测密封机台密封性的检测气体和用于太阳能电池钝化的工艺气体，抽气管道能够对密封机台内部的气体进行抽气，密封检测仪能够对密封机台内部的气密性进行检测。
19.进一步设置：密封限位板上设有用于对卡设槽内部的缝隙进行密封的封堵板，封堵板上设有加强封堵板密封性的密封胶层。
20.通过采用上述步骤：封堵板能够对密封机台和密封限位板之间的缝隙进行外部密封。
21.进一步设置：左向检测杆和右向检测杆设有用于检测滑动方位块到密封限位板四
面距离的距离传感器，距离传感器与滑移气缸电连接。
22.通过采用上述步骤：距离传感器能够检测滑动方位块到密封限位板四面的距离，将检测的距离位置发送至滑移气缸，滑移气缸调整测试主杆的位置，对密封机台的检测气体进行检验。
23.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型在旨在对太阳能电池板钝化的设备进行密封性检测，保证电池板钝化制备设备的密封性，保证了气体反应的密闭性，提高了电池板钝化的成功率。
附图说明
24.为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。
25.图1为本实用新型一种用于太阳能电池钝化膜层的检测设备的结构示意图；
26.图2为本实用新型一种用于太阳能电池钝化膜层的检测设备的局部示意图；
27.图3为本实用新型一种用于太阳能电池钝化膜层的检测设备的局部示意图；
28.图4为本实用新型一种用于太阳能电池钝化膜层的检测设备的整体剖视图。
29.图中，1、密封机台；2、密封限位板；3、卡设块；4、滑动方位块；5、左向检测杆；6、右向检测杆；7、伸缩支杆；8、电机；9、左向滑槽；10、右向滑槽；11、滑动气缸；12、检测主杆；13、滑移气缸；14、气体检测传感器；15、距离传感器；16、密封卡板；17、磁吸板；18、充气管道；19、抽气管道；20、封堵板。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种用于太阳能电池钝化膜层的检测设备，设备本体包括镀膜模组，镀膜模组上设有用于对太阳能电池板进行密封镀膜的密封机台1，密封机台1内部设有镀膜腔，密封机台1上设有用于对密封机台1进行密封的密封限位板2，密封机台1靠近密封限位板2的位置设有用于将密封限位板2卡设在密封机台1的卡设槽，密封限位板2上设有用于滑移在卡设槽内部的卡设块3，密封限位板2上设有用于对密封机台1进行密封检测的检测部件，检测部件包括滑动方位块4，密封机台1靠近密封限位板2的位置设有用于密封机台1进行密封的密封部件。
32.密封机台1能够对太阳能电池板钝化进行气体反应，密封限位板2对密封机台1进行密封，卡设槽能够将密封限位板2上的卡设块3卡设在卡设槽内部，使得密封限位板2和密封机台1紧密连接，检测部件对密封机台1的密封性进行检测，密封部件能够加强密封限位板2和密封机台1之间的密封性。
33.检测部件包括用于对密封机台1的密封性进行检测的气流检测杆，气流检测杆包括用于对密封机台1向外散发的气体进行检测的左向检测杆5和右向检测杆6，左向检测杆5和右向检测杆6均为伸缩杆，滑动方位块4上设有用于支撑左向检测杆5和右向检测杆6的伸
缩支杆7，滑动方位块4内部设有用于带动伸缩支杆7进行转动的电机8，密封限位板2上设有用于使滑动方位块4进行左右滑移的左向滑槽9和右向滑槽10，左向滑槽9和右向滑槽10内部设有带动滑动方位块4滑移的滑动气缸11。
34.气流检测杆对密封机台1内部散发的气体进行检测，滑动方位块4能够带动左向检测杆5和右向检测杆6进行左向滑移和右向滑移，电机8能够带动左向检测杆5和右向检测杆6进行转动,伸缩支杆7能够带动左向检测杆5和右向检测杆6进行上下移动。
35.左向检测杆5和右向检测杆6靠近地面的一侧设有滑动槽，滑动槽内部设有对密封机台1四面气体进行检测的检测主杆12，滑动槽内部设有用于带动测试主杆进行滑移的滑移气缸13，检测主杆12上设有气体检测传感器14，气体检测传感器14的型号采用kp830泵吸便携式气体检测仪。测试主杆能够带动气体检测传感器14对密封机台1内部的密封性进行检测，滑移气缸13能够带动检测主杆12在滑动槽内部进行滑移。
36.左向检测杆5和右向检测杆6设有用于检测滑动方位块4到密封限位板2四面距离的距离传感器15，距离传感器15与滑移气缸13电连接。
37.距离传感器15能够检测滑动方位块4到密封限位板2四面的距离，将检测的距离位置发送至滑移气缸13，滑移气缸13调整测试主杆的位置，对密封机台1的检测气体进行检验。
38.密封部件包括用于密封限位板2与密封机台1的缝隙进行密封的密封卡板16，密封卡板16呈l型，密封卡板16与密封机台1铰接，密封卡板16上设有加强密封卡板16密封性的密封胶层，密封卡板16上设有用于固定密封卡板16的磁吸板17。
39.密封卡板16能够对密封机台1和密封限位板2之间的缝隙进行外部密封，密封胶层能够加强密封卡板16的密封性，磁吸板17能够将密封卡板16固定在密封限位板2上。
40.密封机台1上设有用于对密封机台1内部充气的充气管道18和对密封机台1内部抽气的抽气管道19，抽气管道19内部设有用于对密封机台1密封性进行检测的密封检测仪。
41.充气管道18能够对密封机台1内部冲入用于检测密封机台1密封性的检测气体和用于太阳能电池钝化的工艺气体，抽气管道19能够对密封机台1内部的气体进行抽气，密封检测仪能够对密封机台1内部的气密性进行检测。
42.密封限位板2上设有用于对卡设槽内部的缝隙进行密封的封堵板20，封堵板20上设有加强封堵板20密封性的密封胶层。封堵板20能够对密封机台1和密封限位板2之间的缝隙进行外部密封。
43.其中，滑动气缸11和滑移气缸13采用的型号为sda32薄型气缸，电机8采用的型号为ac小型三相异步电动机，距离传感器15采用a1-2激光测距传感器，滑动气缸11和电机8与外部开关电连接。
44.本实用新型的工作原理是：操作人员在太阳能电池钝化反应之前，开启密封机台1，密封限位板2对密封机台1进行密封，密封卡板16对密封限位板2与密封机台1的之间缝隙进行外部密封，将密封卡板16固定后，抽气管道19对密封机台1进行抽气，密封检测仪确定密封机台1内部的气密性，当密封机台1的气密性符合要求时，充气管道18对密封机台1内部冲入检测气体，电机8带动左向检测杆5和右向检测杆6转动至密封限位板2两侧，开启滑动气缸11，滑动气缸11带动滑动方位块4在左向滑槽9和右向滑槽10内部滑移，带动测试主杆对密封机台1和密封限位板2之间缝隙是否溢出测试气体进行检测，距离传感器15实时检测
滑动方位块4至密封限位板2四面的位置距离，开启滑移气缸13带动测试主杆靠近密封限位板2进行气体检测，判断密封机台1内部的密闭性。
45.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。