一种高精度稀释仪的制作方法

1.本实用新型涉及仪器仪表技术领域，具体是一种稀释装置。


背景技术：

2.在气体样品进行分析时，常常需要对气体样本进行稀释或与气他气体进行混合；现有技术中尚没有一种可以精确控制的气体稀释仪器，使用质量流量控制器，会存在关闭不及时与流量测量误差等多种因素造成配置标气时存在一定误差。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种高精度稀释仪，缓气罐分别与进气系统、一级稀释系统和二级稀释系统连接；
4.所述进气系统包括多组进气通道，所述进气通道均包括装有标准气体的苏玛罐，所述苏玛罐与进气电磁阀的进气端连接，进气电磁阀的出气端与进气比例调节阀的进气端连接，进气比例调节阀的出气端与缓气罐连接；
5.所述一级稀释系统包括多组一级出气通道，所述一级出气通道包括与缓气罐连接的一级出气比例调节阀，一级出气比例调节阀的出气端与一级出气电磁阀的进气端连接，一级出气电磁阀的出气端与一级苏玛罐连接；
6.所述二级稀释系统包括多组二级出气通道，所述二级出气通道包括与缓气罐连接的二级出气比例调节阀，二级出气比例调节阀的出气端与二级出气电磁阀的进气端连接，二级出气电磁阀的出气端与二级苏玛罐连接；
7.还包括单片机，所述单片机与所有的电磁阀、比例调节阀连接。
8.所述进气系统包括14组进气通道、所述一级稀释系统包括3组一级出气通道、所述二级稀释系统包括2组二级出气通道。
9.所述比例调节阀带有压力检测装置。
10.所有的管路硅烷化处理。
11.本实用新型的优点是：使用压力测量控制技术精确制备标气，消除了传统质量流量控制器方法带来的各种误差，同时凭借模块化的气路设计，流量管道硅烷化，实现了亚pbb级别的标气制备。
附图说明
12.图1为本实用新型的原理图。
具体实施方式
13.下面结合附图具体说明本实用新型，如图所示，缓气罐1分别与进气系统2、一级稀释系统3和二级稀释系统4连接；
14.所述进气系统包括多组进气通道，所述进气通道均包括装有标准气体的苏玛罐
23，所述苏玛罐与进气电磁阀22的进气端连接，进气电磁阀的出气端与进气比例调节阀21的进气端连接，进气比例调节阀的出气端与缓气罐连接；
15.所述一级稀释系统包括多组一级出气通道，所述一级出气通道包括与缓气罐连接的一级出气比例调节阀31，一级出气比例调节阀的出气端与一级出气电磁阀32的进气端连接，一级出气电磁阀的出气端与一级苏玛罐33连接；
16.所述二级稀释系统包括多组二级出气通道，所述二级出气通道包括与缓气罐连接的二级出气比例调节阀41，二级出气比例调节阀的出气端与二级出气电磁阀42的进气端连接，二级出气电磁阀的出气端与二级苏玛罐43连接；
17.还包括单片机，所述单片机与所有的电磁阀、比例调节阀连接。所述单片机可采用意法半导体的sim32系列。
18.本实用新型的进气系统包括多达14组进气通道、所述一级稀释系统包括3组一级出气通道、所述二级稀释系统包括2组二级出气通道。
19.为保证控制精度，所述比例调节阀带有压力检测装置。
20.所有的管路硅烷化处理。
21.为防止气体回流，所述电磁阀为单向阀。
22.本实用新型的创新点：
23.1使用压力测量技术根据玻马定律一定体积的气体，在温度不变的情况下，压强与体积的乘积为常量，p1v1＝p2v2。传统使用质量流量控制器，会存在关闭不及时与流量测量误差等多种因素造成配置标气时存在一定误差。
24.2管路硅烷化处理：硅烷化处理在气相色谱中可以消除载体表面的活性基团(主要是硅醇基)，以防止在分析过程中造成拖尾。
25.3单向阀：防止气体回流，造成配比误差、标气污染等情况的出现。
26.4动态配比：实时测量标气苏玛罐与一级苏玛罐、一级苏玛罐与二级苏玛罐的压力，从而改变比例调节阀的开孔大下，改变流量，保证不会出现标气充入过多的情况。
27.5二次稀释：标气进入一级苏玛罐为第一级稀释，一级苏玛罐进入二级苏玛罐为第二级稀释，实现亚ppb级的标气制备。
28.工作流程：用户输入想要配置的气体浓度与体积，输入完成后，系统自动计算出每种气体的体积，计算完成后，打开对应气体的比例调节阀，实时测量压力变化，当罐内压力到达系统计算出的压力时，比例调节阀关闭。当用户配置较低浓度的气体时，系统会先将稀释的气体配置缓气罐中，再进行二次稀释充入目标罐中。


技术特征：
1.一种高精度稀释仪，其特征在于：缓气罐分别与进气系统、一级稀释系统和二级稀释系统连接；所述进气系统包括多组进气通道，所述进气通道均包括装有标准气体的苏玛罐，所述苏玛罐与进气电磁阀的进气端连接，进气电磁阀的出气端与进气比例调节阀的进气端连接，进气比例调节阀的出气端与缓气罐连接；所述一级稀释系统包括多组一级出气通道，所述一级出气通道包括与缓气罐连接的一级出气比例调节阀，一级出气比例调节阀的出气端与一级出气电磁阀的进气端连接，一级出气电磁阀的出气端与一级苏玛罐连接；所述二级稀释系统包括多组二级出气通道，所述二级出气通道包括与缓气罐连接的二级出气比例调节阀，二级出气比例调节阀的出气端与二级出气电磁阀的进气端连接，二级出气电磁阀的出气端与二级苏玛罐连接；还包括单片机，所述单片机与所有的电磁阀、比例调节阀连接。2.根据权利要求1所述的高精度稀释仪，其特征在于：所述进气系统包括14组进气通道、所述一级稀释系统包括3组一级出气通道、所述二级稀释系统包括2组二级出气通道。3.根据权利要求1所述的高精度稀释仪，其特征在于：所述比例调节阀带有压力检测装置。4.根据权利要求1所述的高精度稀释仪，其特征在于：所有的管路硅烷化处理。

技术总结
本实用新型公开一种高精度稀释仪，缓气罐分别与进气系统、一级稀释系统和二级稀释系统连接；所述进气系统包括多组进气通道，所述进气通道均包括苏玛罐、进气电磁阀、电磁阀、进气比例调节阀；所述一级缓释系统包括多组一级出气通道，所述一级出气通道包括与缓气罐连接的一级出气比例调节阀，一级出气比例调节阀的出气端与一级出气电磁阀的进气端连接，一级出气电磁阀的出气端与一级苏玛罐连接；所述二级稀释系统与一级缓释系统结构类似。本实用新型的优点是：使用压力测量控制技术精确制备标气，消除了传统质量流量控制器方法带来的各种误差，同时凭借模块化的气路设计，流量管道硅烷化，实现了亚PBB级别的标气制备。实现了亚PBB级别的标气制备。实现了亚PBB级别的标气制备。


技术研发人员：樊占春 王晓峰 周红蝶 宁梅 包鹏飞
受保护的技术使用者：丹东瑞特科技有限公司
技术研发日：2021.10.26
技术公布日：2022/4/6