新型悬臂式加持机构的制作方法

1.本实用新型涉及光伏电池制造设备领域，尤其是一种新型悬臂式加持机构。


背景技术：

2.太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。太阳能光伏电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。在光伏电池的制备过程中，在工艺炉（比如扩散炉或者氧化炉）中需要有承载硅片的舟体，并由加持上的碳化硅组件托起承载硅片的舟体将硅片送入工艺炉内，碳化硅组件是一种常用的运送载片工具。在持续扩大产能和提高效率的背景下，扩散炉和氧化炉的口径越做越大，加持机构所承载的硅片数量越来越多，承重越来越大。
3.现有的悬臂式扩散炉和氧化炉，碳化硅组件多为碳化硅桨，在舟体下方提供支撑，由于碳化硅桨本身结构的限制，其最大承重量在到达一个最大值后，无论怎么改善碳化硅桨结构，其承重量无法继续增加，同时由于碳化硅桨的工艺制作过程复杂，价格昂贵，极大的限制了它的使用范围。


技术实现要素：

4.本技术人针对上述现有碳化硅桨存在的承重较低、承载能力受限制且成本较高等缺点，提供了一种结构合理的新型悬臂式加持机构，能够使炉门在波纹管组件的作用下实现密封，碳化硅杆以并排方式被加持，其组成的支承平面受力均匀，承受重量更高，结构稳定可靠且成本低。
5.本实用新型所采用的技术方案如下：
6.一种新型悬臂式加持机构，从机械臂向前伸出一根支撑杆，在支撑杆的长度方向上至少设有前后两个夹具组件，每个夹具组件同时连接支撑杆和支撑杆下方的并排设置的多根支承杆，多个支撑杆长度相同且相互之间等间隔并排设置，在支撑杆的最前端固定安装转接板，转接板的上部通过直线轴承向前连接密封炉门，转接板的下部被支承杆贯穿并固定连接，在支承杆上位于密封炉门和转接板之间设有可伸缩的波纹管组件。
7.作为上述技术方案的进一步改进：
8.密封炉门位于转接板的前方，密封炉门下部设有延伸出的空的连接套管，支承杆贯穿连接套管且可相对滑移。
9.波纹管组件包括前端盖、波纹管、管外弹簧和后端盖，前端盖套设在密封炉门的连接套管上，波纹管和后端盖套设在支承杆上，波纹管的前端连接前端盖，波纹管的后端连接后端盖，在波纹管的外周套设管外弹簧，管外弹簧的两端分别抵接前端盖和后端盖。
10.在前端盖和连接套管的接触位置设有密封圈，在后端盖与支承杆的接触位置设有密封圈。
11.直线轴承包括内轴和外管，内轴插在外管内，内管一端设有外环，外环与外管的一
端之间通过轴外弹簧连接，实现内轴和外管的相对伸缩。
12.外管固定连接在转接板的上部，内轴通过夹持块与密封炉门固定连接。
13.支承杆为碳化硅杆，数量为2～5根。
14.夹具组件至少包括上部的支撑杆配合卡箍和下部的支承杆配合卡口，支撑杆配合卡箍的开口朝上、左右为c字形，顶部设有凸耳，凸耳上配置有连接销，通过连接销开孔内的紧固件将凸耳相互锁紧，支承杆配合卡口采用多个卡口并列设置，每个卡口与支承杆一一对应，支承杆穿过支承杆配合卡口并被支承杆配合卡口卡紧，支承杆配合卡口的上部为矩形段、下部为半圆形段，下部的半圆形段与上部的矩形段采用一体成型，或者下部的半圆形段为可拆卸分离的活动部件，在矩形段内设有压紧块，压紧块的下边采用弧形结构，使支承杆的上半圆周被夹紧。
15.支承杆向前伸出的自由端上设有端部组合件，端部组合件将多个支承杆的自由端并列联接在一起，端部组合件包括端部柱塞和端部连接板，端部连接板上开设有与端部柱塞一一对应的连接孔；端部柱塞一端插入支承杆的自由端内部并固定连接，另一端嵌入端部连接板上对应的连接孔内并固定连接。
16.在支撑杆上还设有前后两个调平组件，调平组件包括调平框体和调平螺栓，调平框体包括顶板、配合框和填充块，配合框为开口朝上的倒几字形框体，与顶板紧固连接在一起，构成一个封闭的口字形和两侧的伸出部；在口字形结构中设有填充块，在配合框两侧的伸出部配置有调平螺栓。
17.本实用新型的有益效果如下：
18.本实用新型采用的碳化硅组件为2～5根碳化硅杆并排组成，相互间隔一定的距离，末端通过陶瓷的端部组合件夹紧、固定在一起，在保证了多根碳化硅杆平面度的同时，使碳化硅杆组件受力更均匀。在同等的宽度条件下，本实用新型的碳化硅杆组件所能承受的重量是现有碳化硅桨所能承受重量的1.5～2倍，同时碳化硅杆制作简单，价格低廉，特别是在大口径、高载重量的情况下更有技术优势。
19.本实用新型在支撑杆的最前端固定安装转接板，转接板的上部通过直线轴承向前连接密封炉门，转接板的下部被支承杆贯穿并固定连接，在支承杆上位于密封炉门和转接板之间设有可伸缩的波纹管组件，通过波纹管组件实现密封炉门的密封操作，起到对密封炉门的伸缩位移和弹性密封效果。
附图说明
20.图1为本实用新型的立体图。
21.图2为本实用新型的主视图。
22.图3为图2的右视图。
23.图4为本实用新型的示意图。
24.图5为图4中的a部放大图。
25.图6为图4中的b部放大图。
26.图中：1、支撑杆；2、夹具组件；3、支承杆；4、端部组合件；5、调平组件；6、转接板；7、直线轴承；8、密封炉门；9、波纹管组件；10、前端盖；11、波纹管；12、管外弹簧；13、后端盖；14、密封圈；15、轴外弹簧；16、端部柱塞；17、端部连接板。
具体实施方式
27.下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。
28.如图1至图6所示，本实用新型所述的新型悬臂式加持机构从机械臂向前伸出一根支撑杆1，在支撑杆1的长度方向上至少设有前后两个夹具组件2，每个夹具组件2同时连接支撑杆1和支撑杆1下方的并排设置的多根支承杆3，多个支撑杆1长度相同且相互之间等间隔并排设置，并向前伸出具有一个自由端。支承杆3向前伸出的自由端上设有端部组合件4，端部组合件4将多个支承杆3的自由端并列联接在一起。支承杆3优选为碳化硅杆，数量优选为2～5根。在支撑杆1上还设有前后两个调平组件5，前调平组件5位于前后两个夹具组件2之间，后调平组件5位于后夹具组件2的后方。
29.在支撑杆1的最前端固定安装转接板6，转接板6的上部通过直线轴承7向前连接密封炉门8，转接板6的下部被支承杆3贯穿并固定连接，密封炉门8位于转接板6的前方，密封炉门8下部设有延伸出的空的连接套管，支承杆3贯穿连接套管且可相对滑移。在支承杆3上位于密封炉门8和转接板6之间设有可伸缩的波纹管组件9。波纹管组件9包括前端盖10、波纹管11、管外弹簧12和后端盖13，前端盖10套设在密封炉门8的连接套管上，波纹管11和后端盖13套设在支承杆3上，波纹管11的前端连接前端盖10，波纹管11的后端连接后端盖13，在波纹管11的外周套设管外弹簧12，管外弹簧12的两端分别抵接前端盖10和后端盖13。在前端盖10和连接套管的接触位置设有密封圈14，在后端盖13与支承杆3的接触位置设有密封圈14，防止炉门密封时发生漏气。波纹管11的材质为全四氟材质。
30.直线轴承7包括内轴和外管，内轴插在外管内，内管一端设有外环，外环与外管的一端之间通过轴外弹簧15连接，实现内轴和外管的相对伸缩。外管固定连接在转接板6的上部，内轴通过夹持块与密封炉门8固定连接。当密封炉门8到达炉口时，密封炉门8可以相对于支承杆3前后位移一段距离，然后挤压转接板6上部的轴外弹簧15和下部的管外弹簧12，在弹簧的共同作用下产生弹性力，实现密封炉门8的密封操作。
31.夹具组件2包括夹持框、压紧块和紧固件，夹持框整体为一个凸字形框体，包括上部的支撑杆配合卡箍和下部的支承杆配合卡口。支撑杆配合卡箍的开口朝上、左右为c字形，顶部设有凸耳，凸耳上配置有连接销，支撑杆配合卡箍卡住支撑杆1后，通过连接销开孔内的紧固件，将凸耳相互靠紧，实现卡箍锁紧作用。支承杆配合卡口采用至少两个卡口并列设置，每个卡口与支承杆3一一对应。支承杆3穿过支承杆配合卡口并被支承杆配合卡口卡紧。支承杆配合卡口的上部为矩形段、下部为半圆形段，在矩形段内填充有压紧块，压紧块的下边采用弧形结构，使支承杆3的上半圆周被夹紧。下部的半圆形段与上部的矩形段采用一体成型。另外，下部的半圆形段还可以为可拆卸分离的活动部件，此时，下部的半圆形段与上部的矩形段通过侧部的螺栓安装在一起。
32.端部组合件4包括端部柱塞16和端部连接板17，端部连接板17上开设有与端部柱塞16一一对应的连接孔。端部柱塞16为短的柱体结构，一端插入支承杆3的自由端内部，并通过螺钉固定在支承杆3上，另一端嵌入端部连接板17上对应的连接孔内，并通过螺钉固定连接。端部连接板17将多个支承杆3的自由端并列联接。端部柱塞16优选为陶瓷柱塞，端部连接板17优选为陶瓷连接板。
33.调平组件5包括调平框体和与调平框体配合的调平螺栓，调平框体包括顶板、配合框和填充块，配合框为开口朝上的倒几字形框体，与顶板通过螺钉连接在一起，构成一个封
闭的口字形和两侧的伸出部。在口字形结构中填充有填充块，填充块上下成对设置，且相对边开设有弧形结构，上下填充块将支撑杆1卡在其中。在配合框两侧的伸出部开设有螺纹孔，螺纹孔内配置有调平螺栓，调平螺栓贯穿螺纹孔，调平螺栓杆部的自由端为一个圆帽形。前调平组件5的调平螺栓杆部朝下，支承在l字形架体的配合垫上，后调平组件5的调平螺栓杆部向上，抵靠在其对应架体的配合垫上，前后调平组件5共同调节支撑杆1以及支承杆3的水平状态。
34.本实用新型采用的碳化硅组件为2～5根碳化硅杆并排组成，相互间隔一定的距离，末端通过陶瓷的端部组合件4夹紧、固定在一起，形成夹具组件2和端部组合件4的双重加持，在保证了多根碳化硅杆平面度的同时，使碳化硅杆组件受力更均匀。在同等的宽度条件下，本实用新型的碳化硅杆组件所能承受的重量是现有碳化硅桨所能承受重量的1.5～2倍，同时碳化硅杆制作简单，价格低廉，特别是在大口径、高载重量的情况下更有技术优势。
35.以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，在不违背本实用新型精神的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。