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一种单面数字光刻系统的制作方法

2022-04-02 06:26:05 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种单面数字光刻系统,其特征在于,包括第一平台、第二平台、位于所述第一平台及所述第二平台之间的光刻主体、设置于所述光刻主体两侧的靶点相机及承载所述第一平台及所述第二平台的传动组件;所述第一平台及所述第二平台均用于承载待光刻线路板,所述待光刻线路板包括一待光刻表面,所述传动组件用于带动所述第一平台或所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动,所述靶点相机用于获取所述待光刻线路板的待光刻表面的图像信息,以实现所述光刻主体根据所述图像信息对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理。2.如权利要求1所述的单面数字光刻机,其特征在于,所述靶点相机位于所述第一平台及所述第二平台的上方,所述靶点相机的数量为多个。3.如权利要求2所述的单面数字光刻机,其特征在于,所述光刻主体的两侧设置有相机平移组件,所述靶点相机固定于所述相机平移组件上,所述相机平移组件用于驱动所述靶点相机进行平移。4.如权利要求1所述的单面数字光刻系统,其特征在于,所述传动组件还用于带动所述第一平台或所述第二平台向远离所述光刻主体的方向移动,以实现进行数字光刻处理后的光刻线路板出料。5.如权利要求1所述的单面数字光刻系统,其特征在于,所述第一平台及所述第二平台的表面设置有吸附件,所述吸附件用于吸附所述待光刻线路板的与待光刻表面的相对的表面。6.如权利要求1所述的单面数字光刻系统,其特征在于,所述第一平台及所述第二平台上设置有压板组件,所述压板组件用于将所述待光刻线路板的边缘压平。7.如权利要求6所述的单面数字光刻系统,其特征在于,所述压板组件包括边缘压板件,所述边缘压板件设置于所述第一平台及所述第二平台的边缘位置。8.如权利要求7所述的单面数字光刻系统,其特征在于,所述压板组件还包括中间压板件,所述中间压板件设置于所述第一平台及所述第二平台的中部位置。9.如权利要求1所述的单面数字光刻系统,其特征在于,所述光刻主体包括曝光镜筒及曝光光源,所述曝光镜筒连接所述曝光光源,所述曝光光源用于为数字光刻处理提供曝光光线;所述曝光光源还连接有液冷管道组件。10.如权利要求9所述的单面数字光刻系统,其特征在于,所述光刻主体还包括曝光头控制单元,所述曝光头控制单元用于控制所述曝光光源进行曝光。

技术总结
本发明提供一种单面数字光刻系统,包括第一平台、第二平台、位于所述第一平台及所述第二平台之间的光刻主体、设置于所述光刻主体两侧的靶点相机及承载所述第一平台及所述第二平台的传动组件;所述第一平台及所述第二平台均用于承载待光刻线路板,所述待光刻线路板包括一待光刻表面,所述传动组件用于带动所述第一平台或所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动,所述靶点相机用于获取所述待光刻线路板的待光刻表面的图像信息,以实现所述光刻主体根据所述图像信息对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理。本发明提供的单面数字光刻系统,提高了光刻效率,提高了光刻精度。提高了光刻精度。提高了光刻精度。


技术研发人员:陈志特 王华 甘泉 龚海峰
受保护的技术使用者:广东科视光学技术股份有限公司
技术研发日:2022.02.07
技术公布日:2022/4/1
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