一种液氮补给控制装置的制作方法

技术特征：
1.一种液氮补给控制装置，其特征在于，包括：工控机、液氮罐、液氮泵加热棒、液氮泵控制器、补液管、第一杜瓦罐和第二杜瓦罐；所述液氮泵控制器，与所述工控机连接，被配置为基于所述工控机的补液指令控制所述液氮泵加热棒加热所述液氮罐，以提高所述液氮罐的内部压力；所述补液管，其一端接入所述液氮罐内，另一端接入所述第一杜瓦罐内，以在补液过程中，在所述液氮罐的内部压力的作用下，将所述液氮罐内的液氮导入所述第一杜瓦罐中；所述第一杜瓦罐，其与所述第二杜瓦罐之间设置有连通器，以在补液过程中通过所述连通器保持所述第一杜瓦罐的液面高度与所述第二杜瓦罐的液面高度一致；所述第二杜瓦罐，不封口，其内设置有用于进行芯片测试的测试平台，其通过所述连通器与所述第一杜瓦罐连接，以在补液过程中，保持所述第二杜瓦罐的液面维持在目标高度。2.如权利要求1所述的液氮补给控制装置，其特征在于，所述补液管，其一端伸入所述液氮罐的底部，另一端伸入所述第一杜瓦罐的底部。3.如权利要求1所述的液氮补给控制装置，其特征在于，所述液氮泵加热棒，设置在所述液氮罐内，其靠近所述液氮罐底部的一端设置有第一温度传感器，其远离所述液氮罐底部的一端设置有压力传感器；所述液氮泵控制器，还被配置为基于获取所述第一温度传感器的温度值和所述压力传感器的压力值，在获取的压力值超过第一预设压力阈值的情况下，控制停止所述液氮泵加热棒，在获取的压力值低于第二预设压力阈值的情况下，控制启动所述液氮泵加热棒，以及在获取的温度值超过第一预设温度阈值的情况下，进行液氮罐低液位报警。4.如权利要求1所述的液氮补给控制装置，其特征在于，还包括：电磁阀，设置在所述补液管的管路上，根据所述液氮泵控制器的指令完成打开或关闭，以执行补液或停止补液。5.如权利要求4所述的液氮补给控制装置，其特征在于，还包括第二温度传感器，液位计和数据采集模块：所述第二温度传感器和所述液位计均设置在所述第一杜瓦罐内；所述数据采集模块，用于基于所述第二温度传感器和所述液位计采集所述第一杜瓦罐的温度和液位，并上传至所述工控机；所述工控机，还被配置为在获取的所述第一杜瓦罐的液位低于第一液位阈值的情况下，向所述液氮泵控制器发出补液指令，在获取的所述第一杜瓦罐的液位高于第二液位阈值的情况下，向所述液氮泵控制器发出停止补液指令。6.如权利要求5所述的液氮补给控制装置，其特征在于，所述工控机，还被配置为在获取的所述第一杜瓦罐的温度低于第二预设温度阈值的情况下，发出所述第一杜瓦罐的溢液报警。

技术总结
本发明公开了一种液氮补给控制装置，包括：工控机、液氮罐、液氮泵加热棒、液氮泵控制器、补液管、第一杜瓦罐和第二杜瓦罐；液氮泵控制器，与工控机连接，被配置为基于工控机的补液指令控制液氮泵加热棒加热液氮罐，以提高液氮罐的内部压力；补液管，其一端接入液氮罐内，另一端接入第一杜瓦罐内，以在补液过程中，在液氮罐的内部压力的作用下，将液氮罐内的液氮导入第一杜瓦罐中；第一杜瓦罐，其与第二杜瓦罐之间设置有连通器，以在补液过程中通过连通器保持第一杜瓦罐的液面高度与第二杜瓦罐的液面高度一致。本公开的液氮补给控制装置，可以替代人工加注液氮，保证执行测试操作的杜瓦罐内的液氮始终浸没芯片，提高芯片测试的准确性。性。性。


技术研发人员：艾博 许向阳 贾月明 刘路宽
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
技术研发日：2021.12.24
技术公布日：2022/4/1