衬底处理装置及衬底位置调整方法与流程

技术特征：
1.一种衬底处理装置，具备：基座，具有将圆板状衬底以水平姿势保持的保持面；旋转单元，使所述基座绕铅直的旋转轴线旋转；加热单元，加热保持在所述保持面的衬底的周缘部；偏心量测定单元，具有发出光的发光部及接收从所述发光部发出的光的受光部，在保持在所述保持面的衬底的周缘部位于所述发光部与所述受光部间的检测空间内时，测定所述衬底相对于所述旋转轴线的偏心量；定心单元，使所述保持面上的衬底相对于所述基座移动，使得所述衬底的中心部靠近所述旋转轴线；及气氛置换单元，由所述检测空间外的气氛置换存在于所述检测空间内的气氛。2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中所述气氛置换单元包含向所述检测空间供给所述气体的气体供给单元。3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其中所述加热单元包含与保持在所述保持面的衬底的周缘部对向的加热器，所述气体供给单元向保持在所述保持面的衬底的周缘部与所述加热器间的空间喷出气体。4.根据权利要求2或3所述的衬底处理装置，其中所述气体供给单元包含沿所述发光部与所述受光部的对向方向排列的多个气体喷出口。5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中所述气体供给单元包含：各自具有多个所述气体喷出口的多个固定气体喷嘴、及共同安装多个所述固定气体喷嘴的安装板，且所述固定气体喷嘴包含：安装在所述安装板的安装部、及与所述安装部一体形成，设置着所述气体喷出口的喷出部。6.根据权利要求2或3所述的衬底处理装置，其中所述气体供给单元包含移动气体喷嘴头，所述移动气体喷嘴头与所述发光部及所述受光部一起移动，对所述检测空间供给气体，且在保持在所述保持面的衬底的周缘部位于所述检测空间内的检测位置、与保持在所述保持面的衬底的周缘部位于所述检测空间外的退避位置之间移动。7.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的衬底处理装置，还具备收容所述基座的腔室，所述气氛置换单元包含给排气单元，所述给排气单元进行向所述腔室内的空间给气及来自所述腔室内的空间的排气。8.根据权利要求7所述的衬底处理装置，还包含防护件，所述防护件包围保持在所述保持面的衬底，且构成为在所述防护件的上端部位于比所述衬底的上表面上方的上位置、与所述防护件的上端部位于比所述衬底的上表面下方的下位置之间移动；所述给排气单元包含：排气管，将所述腔室内的气氛排气；及气流形成单元，对所述腔室内供给气氛，在所述腔室内形成朝向所述排气管的气流；且所述防护件如下切换所述气流的路径：所述防护件位于所述上位置时，所述气流通过保持在所述保持面的衬底的周缘部与所述防护件间，所述防护件位于所述下位置时，所述气流通过所述防护件的外侧。
9.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的衬底处理装置，其中所述定心单元包含：升降机，构成为抬起保持在所述保持面的衬底，或将所述抬起的衬底载置在所述保持面；及升降机水平移动机构，通过使所述升降机水平移动，而使得所述衬底的中心部靠近所述旋转轴线。10.根据权利要求9所述的衬底处理装置，其中所述升降机设置着多个，多个所述升降机具有从比保持在所述保持面的衬底下方，与所述衬底对向的对向部，所述定心单元还包含升降机铅直移动机构，所述升降机铅直移动机构使所述对向部在比所述保持面上方的第1位置、与比所述保持面下方的第2位置间，在铅直方向移动。11.根据权利要求9所述的衬底处理装置，其中所述升降机设置着多个，多个所述升降机包含：第1升降机，具有从水平方向与保持在所述保持面的衬底的周缘部对向的第1对向面；及第2升降机，具有从与所述第1对向面为相反侧，从水平方向与保持在所述保持面的衬底的周缘部对向的第2对向面；且所述升降机水平移动机构包含：第1升降机水平移动机构，使所述第1升降机及所述第2升降机个别地水平移动；及第2升降机水平移动机构，使所述第1升降机及所述第2升降机一体地水平移动，所述第1对向面及所述第2对向面以随着朝向上方而互相离开的方式，相对于水平方向倾斜。12.一种衬底位置调整方法，包含：衬底保持步骤，以加热器与圆板状衬底的周缘部对向的方式，将所述衬底以水平姿势保持在衬底的保持面；气氛置换步骤，在所述衬底的周缘部位于具有发光部及受光部的传感器的所述发光部及所述受光部之间的空间，也就是检测空间的状态下，由所述检测空气外的气氛置换存在于所述检测空间内的气氛；偏心量测定步骤，在执行所述气氛置换步骤的过程中，一边使所述基座绕铅直的旋转轴线旋转，一边由所述传感器检测所述衬底相对于所述旋转轴线的偏心量；及对位步骤，根据由所述偏心量测定步骤检测出的偏心量，使所述衬底相对于所述基座移动，由此使所述衬底的中心部靠近所述旋转轴线。13.根据权利要求12所述的衬底位置调整方法，其中所述气氛置换步骤包含向所述检测空间供给所述气体的气体供给步骤。14.根据权利要求12或13所述的衬底位置调整方法，其中所述气氛置换步骤包含气流形成步骤，所述气流形成步骤通过将防护件配置在上位置，而在收容所述防护件及所述基座的腔室内，形成通过所述衬底的周缘部与所述防护件间流向排气管的气流，所述防护件包围所述衬底，且构成为在所述防护件的上端部在位于比所述衬底的上表面上方的上位置、与所述防护件的上端部位于比所述衬底的上表面下方的下位置间移动。

技术总结
本发明涉及一种处理衬底的衬底处理装置及衬底位置调整方法。本发明的衬底处理装置具备：基座，具有将圆板状衬底以水平姿势保持的保持面；旋转单元，使所述基座绕铅直的旋转轴线旋转；加热单元，加热保持在所述保持面的衬底的周缘部；偏心量测定单元，具有发出光的发光部及接收从所述发光部发出的光的受光部，在保持在所述保持面的衬底的周缘部位于所述发光部与所述受光部间的检测空间内时，测定所述衬底相对于所述旋转轴线的偏心量；定心单元，使所述保持面上的衬底相对于所述基座移动，使得所述衬底的中心部靠近所述旋转轴线；及气氛置换单元，由所述检测空间外的气氛置换存在于所述检测空间内的气氛。所述检测空间内的气氛。所述检测空间内的气氛。


技术研发人员：安武阳介 菊本宪幸 岩尾通矩 石井弘晃 邓宝铃
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2021.09.09
技术公布日：2022/3/29