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一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构的制作方法

2022-03-31 06:24:04 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构,其特征在于,包括舟体,所述舟体内设有倾斜放置的槽体,所述的槽体包括位于舟体内上方的上槽体和位于舟体内下方的下槽体,所述上槽体的底部和下槽体的底部均为光滑结构,所述的上槽体设有防止金属液体飞溅的盖子。2.根据权利要求1所述的一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构,其特征在于,上槽体的底部和下槽体的底部均由多个均匀排列的导液槽构成,导液槽与导液槽之间形成导液壁,且上槽体的导液槽与下槽体的导液槽相互导通。3.根据权利要求2所述的一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构,其特征在于,所述的上槽体包括导液区和防溅区,导液区一端与舟体内壁贴合,导液区另一端与防溅区固定连接,所述防溅区的导液壁由多个凸起构成,凸起与凸起之间形成凹槽,每个凹槽均与上槽体的导液槽相互导通,可将铝丝蒸发后形成的液体从凹槽依次分散流向上槽体的导液槽和下槽体的导液槽。4.根据权利要求1所述的一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构,其特征在于,所述盖子的顶端设有一通孔,以便金属丝通过该通孔触碰上槽体内部。5.根据权利要求3所述的一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构,其特征在于,所述凹槽的宽度为1-3mm。6.根据权利要求1所述的一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构,其特征在于,防溅区所占上槽体面积为导液区所占上槽体面积的6-7倍。7.根据权利要求1所述的一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构,其特征在于,所述的上槽体占舟体面积小于所述的下槽体占舟体的面积。8.根据权利要求1所述的一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构,其特征在于,倾斜放置的槽体最低处与槽体的最高处垂直距离为1-5mm,且槽体的长度范围是100-200mm,宽度范围在30-60mm。

技术总结
本实用新型公开了一种用于防止金属液体飞溅的蒸发源结构,涉及蒸镀领域,包括舟体,所述舟体内设有倾斜放置的槽体,所述的槽体包括位于舟体内上方的上槽体和位于舟体内下方的下槽体,所述上槽体的底部和下槽体的底部均为光滑结构,所述的上槽体设有防止金属液体飞溅的盖子,且盖子的正上方设有一通孔,以便金属丝通过该通孔触碰上槽体内部。通过结构的改进,可以防止铝液飞溅到其他设备表面,给其他设备表面造成污染,改善膜面孔洞情况,提高成品质量,而且本实用新型结构简单,实用性强,可以广泛推广。以广泛推广。以广泛推广。


技术研发人员:王俊 杨俊 王喜本 臧世伟
受保护的技术使用者:重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日:2021.06.29
技术公布日:2022/3/29
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