一种防倒灌的半导体尾气的处理装置的制作方法

1.本发明涉及尾气处理技术领域，具体涉及一种防倒灌的半导体尾气的处理装置。


背景技术：

2.半导体，是指常温下导电性能介于导体和绝缘体之间的材料，在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明等领域均有应用，在科技发展和经济发展中具有非常重要的作用，常见的半导体材料有硅、锗和砷化镓等，其中硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
3.半导体材料在制造生产的过程中会产生大量对空气具有污染性的尾气，这种尾气需要经过处理后才能进行排放以避免对环形造成污染，其中，尾气中含有强酸或者强碱性气体，一般通过热水洗或者等离子水洗等水洗方式直接将尾气直接通入水洗液中进行清洗除去尾气中含有的强酸或者强碱性气体，但通过此种方式处理尾气时，由于尾气直接通入水洗液中与水洗液整体接触，通入的尾气只与周侧部分的水洗液进行接触，导致不同深度和距离尾气不同距离的水洗液不能完全与尾气接触反应，且尾气通入位置周侧的水洗液长时间对尾气进行水洗导致水洗效果下降，从而使得后续通入的尾气不能得到有效的清洗，水洗液未得到完全有效的使用，不仅对尾气的处理效果产生影响，且造成水洗液的浪费，因此，需要设计一种防倒灌的半导体尾气的处理装置。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种防倒灌的半导体尾气的处理装置，解决了现有的半导体尾气在水洗处理时通入位置固定导致水洗液未得到完全有效使用以及影响尾气处理效果的问题。
5.为解决上述技术问题，本发明具体提供下述技术方案：
6.一种防倒灌的半导体尾气的处理装置，包括：
7.尾气管道，用于排出尾气；
8.尾气水洗机构，设置在所述尾气管道内部，并用于对尾气水洗处理；
9.所述尾气水洗机构包括多工位进气装置、多工位水洗装置和升降装置，所述多工位进气装置设置在所述尾气管道内，所述升降装置设置在所述多工位进气装置上，所述多工位水洗装置设置在所述升降装置沿升降方向的端部；
10.其中，所述多工位进气装置用于提供多通道供尾气通过并进入所述多工位水洗装置内，所述多工位水洗装置用于填充水洗液并分隔成多工位对尾气进行水洗，所述升降装置用于控制所述多工位水洗装置规律靠近所述多工位进气装置。
11.作为本发明的一种优选方案，所述多工位进气装置包括与所述尾气管道连接的扩展管道，所述扩展管道的内壁上设置有与水平面平行的封闭板，所述封闭板上沿直线方向等间距设置有多个通槽，每个所述通槽内均连接有供尾气通过至所述多工位水洗装置内的尾气通道，每个所述尾气通道内部均设置有自动打开或者封闭所述尾气通道的第一密封
板。
12.作为本发明的一种优选方案，所述尾气通道包括封闭管体、侧面连通管道和单向通道，所述封闭管体与所述通槽连通，所述侧面连通管道设置有多个并设置在所述封闭管体的周侧，所述单向通道设置有多个并设置有多个所述侧面连通管道上；
13.其中，所述侧面连通管道呈封闭状态并用于供尾气通过所述单向通道进入所述多工位水洗装置内。
14.作为本发明的一种优选方案，所述单向通道包括设置在所述侧面连通管道内顶壁上的连接槽，所述连接槽的内侧壁上设置有环形槽，所述环形槽上设置有多个与所述侧面连通管道外部连通的通孔，所述环形槽内与所述通孔相对的一侧设置有环形引水槽，所述连接槽的内底部插设有沿竖直方向滑动的滑动柱，所述滑动柱的端部设置有与所述环形槽内壁相抵的第二密封板，所述第二密封板一侧与所述滑动柱滑动套接并与所述连接槽内底壁相抵的复位弹簧，所述第二密封板的周侧设置有多个穿过对应所述通孔至外侧的密封柱，每个所述密封柱的端部均设置有用于封闭所述通孔的第三密封板，且在所述第二密封板封闭或者打开所述连接槽时所述第三密封板同步封闭或者打开所述通孔。
15.作为本发明的一种优选方案，所述第二密封板包括板体、环形引流板和锐状引流凸起，所述板体设置在所述滑动柱的端部，且所述板体上与所述滑动柱连接的一侧为球状面，所述环形引流板设置在所述板体的周侧，所述锐状引流凸起设置有多个且设置在所述环形引流板上靠近所述侧面连通管道内部的一侧；
16.其中，所述环形引流板的内径大于所述环形引水槽的内径，且所述锐状引流凸起的端部与所述板体之间的间距小于所述环形引水槽的深度。
17.作为本发明的一种优选方案，所述环形引水槽的内底部设置有聚水孔，所述聚水孔连通设置有连接管并沿竖直方向向下延伸至所述侧面连通管道的外部，多个所述连接管共同连接与所述侧面连通管道外壁连接的储水盒，且所述储水盒通过单向阀释放液体至外部。
18.作为本发明的一种优选方案，所述多工位水洗装置包括设置在所述升降装置端部的水洗箱，所述水洗箱内设置有多个水洗室，每个所述水洗室内均设置有电加热装置，且所述电加热装置用于加热所述水洗室内填充的水洗液对尾气进行水洗。
19.作为本发明的一种优选方案，所述水洗箱包括凵型承载板、条形箱体和水平位移组件，所述凵型承载板设置在所述升降装置的端部，所述条形箱体滑动连接在所述凵型承载板的内壁上并沿水平直线方向运动，所述水平位移组件设置在所述凵型承载板的内底部并用于驱动所述条形箱体沿水平直线运动；
20.其中，所述水洗室设置在所述条形箱体内，且所述水平位移组件用于带动所述条形箱体间歇往复运动调整所述水洗室的位置交替对尾气进行持续水洗。
21.作为本发明的一种优选方案，所述凵型承载板的内底部设置有用于定位所述条形箱体位置的定位组件，所述定位组件包括设置在所述凵型承载板上的柱形槽，所述柱形槽的内底部设置有第一电磁铁，所述柱形槽的内壁滑动连接有与所述第一电磁铁磁极方向相反的磁性限位柱，所述条形箱体的外底部沿运动方向等间距设置有多个限位孔，每个所述限位孔的内底部均设置有与所述磁性限位柱的磁极方向相同的第二电磁铁。
22.作为本发明的一种优选方案，所述条形箱体的内侧壁上沿水平直线方向等间距设
置有多个与气泵连通的气孔，且多个所述气孔用于吹扫限制水洗液表面的杂质颗粒至一侧。
23.本发明与现有技术相比较具有如下有益效果：
24.本发明利用多工位水洗装置将水洗液分成多份填充在多工位中，并通过多工位进气装置将尾气分割成多份通入多工位水洗装置内部对应的区域，使得水洗液与尾气完全且有效接触，既避免了水洗液发生浪费，且保证了尾气的处理效果，其次通过升降装置调整多工位进气装置和多工位水洗装置之间的相对位置，调整多工位进气装置通入的尾气在水洗液中的深度以避免接触过尾气的水洗液，进一步提高了对水洗液使用的完全性以及尾气的处理效果。
附图说明
25.为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
26.图1为本发明实施例提供一种防倒灌的半导体尾气的处理装置的结构示意图；
27.图2为本发明实施例提供尾气水洗机构的部分结构示意图；
28.图3为本发明实施例提供多工位进气装置的部分结构示意图。
29.图中的标号分别表示如下：
30.1-尾气管道；2-尾气水洗机构；
31.201-多工位进气装置；202-多工位水洗装置；203-升降装置；204-扩展管道；205-封闭板；206-通槽；207-尾气通道；208-第一密封板；209-封闭管体；210-侧面连通管道；211-单向通道；212-连接槽；213-环形槽；214-通孔；215-环形引水槽；216-滑动柱；217-第二密封板；218-复位弹簧；219-密封柱；220-第三密封板；221-板体；222-环形引流板；223-锐状引流凸起；224-聚水孔；225-连接管；226-储水盒；227-水洗箱；228-水洗室；229-凵型承载板；230-条形箱体；231-水平位移组件；232-定位组件；233-柱形槽；234-第一电磁铁；235-磁性限位柱；236-限位孔；237-第二电磁铁；238-气孔。
具体实施方式
32.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
33.如图1至图3所示，本发明提供了一种防倒灌的半导体尾气的处理装置，包括：
34.尾气管道1，用于排出尾气；
35.尾气水洗机构2，设置在尾气管道1内部，并用于对尾气水洗处理；
36.尾气水洗机构2包括多工位进气装置201、多工位水洗装置202和升降装置203，多工位进气装置201设置在尾气管道1内，升降装置203设置在多工位进气装置201上，多工位水洗装置202设置在升降装置203沿升降方向的端部；
37.其中，多工位进气装置201用于提供多通道供尾气通过并进入多工位水洗装置202内，多工位水洗装置202用于填充水洗液并分隔成多工位对尾气进行水洗，升降装置203用于控制多工位水洗装置202规律靠近多工位进气装置201。
38.本发明在使用时，尾气通过尾气管道1通入多工位进气装置201内，并由多工位进气装置201分割成多份通入多工位水洗装置202内对应的工位内部进行水洗，使得水洗液与尾气完全且有效接触，既避免了水洗液发生浪费，且保证了尾气的处理效果，其次通过升降装置203调整多工位进气装置201和多工位水洗装置202之间的相对位置，调整多工位进气装置201通入的尾气在水洗液中的深度以避免接触过尾气的水洗液，使得通入的尾气逐渐与不同深度的水洗液接触，进一步提高了对水洗液使用的完全性以及尾气的处理效果。
39.经过多工位水洗装置202水洗处理的尾气被收集进行下一步的处理。
40.多工位进气装置201包括与尾气管道1连接的扩展管道204，扩展管道204的内壁上设置有与水平面平行的封闭板205，封闭板205上沿直线方向等间距设置有多个通槽206，每个通槽206内均连接有供尾气通过至多工位水洗装置202内的尾气通道207，每个尾气通道207内部均设置有自动打开或者封闭尾气通道207的第一密封板208。
41.多工位进气装置201在使用时，尾气管道1内的尾气通入扩展管道204内，并由封闭板205限制尾气排出扩展管道204。
42.同时尾气通过多个通槽206分隔成多份并进入不同的尾气通道207内，并通过尾气通道207进入多工位水洗装置202内对应的工位中进行水洗，提高水洗液与尾气的接触程度，从而提高对尾气的处理效果。
43.通过第一密封板208控制尾气通道207的打开或者关闭来控制尾气的分割份数，可根据尾气的量的大小控制尾气分割份数通入多工位水洗装置202内的工位内部进行水洗，避免尾气量较少与水洗液接触不完全造成水洗液的浪费，在保证对尾气水洗效果的同时避免产生水洗液的浪费，同时通过第一密封板208限制尾气的排放。
44.尾气通道207包括封闭管体209、侧面连通管道210和单向通道211，封闭管体209与通槽206连通，侧面连通管道210设置有多个并设置在封闭管体209的周侧，单向通道211设置有多个并设置有多个侧面连通管道210上；
45.其中，侧面连通管道210呈封闭状态并用于供尾气通过单向通道211进入多工位水洗装置202内。
46.尾气通过封闭管体209进入多个侧面连通管道210，并通过侧面连通管道210上的单向通道211排出至多工位水洗装置202内进行水洗，通过侧面连通管道210箱封闭管体209周侧的延伸，使得尾气均匀排放至封边罐体209周侧的水洗液中，既保证水洗液充分对尾气水洗并充分使用，且避免相同区域水洗液长时间与尾气接触造成后续尾气水洗效果下降的问题。
47.单向管道211用于排出尾气并限制水洗液进入侧面连通管道210导致侧面连通管道210内部堆积较多水洗液影响尾气的正常排放和水洗处理。
48.单向通道211包括设置在侧面连通管道210内顶壁上的连接槽212，连接槽212的内侧壁上设置有环形槽213，环形槽213上设置有多个与侧面连通管道210外部连通的通孔214，环形槽213内与通孔214相对的一侧设置有环形引水槽215，连接槽212的内底部插设有沿竖直方向滑动的滑动柱216，滑动柱216的端部设置有与环形槽213内壁相抵的第二密封
板217，第二密封板217一侧与滑动柱216滑动套接并与连接槽212内底壁相抵的复位弹簧218，第二密封板217的周侧设置有多个穿过对应通孔214至外侧的密封柱219，每个密封柱219的端部均设置有用于封闭通孔214的第三密封板220，且在第二密封板217封闭或者打开连接槽212时第三密封板220同步封闭或者打开通孔214。
49.尾气在通过单向通道211时，尾气在封闭管道209和侧面连通管道210内储存并积蓄压力，当尾气压力增大至一定程度时，第二密封板217受到尾气压力的作用推动滑动柱216沿竖直方向同步运动，复位弹簧218被压缩，第二密封板217通过密封柱219同步带动多个第三密封板220运动，连接槽212和通孔214同步被打开，尾气通过连接槽212、环形槽213和通孔214排出至水洗液中进行清洗。
50.其次，复位弹簧218在第二密封板217封闭连接槽212时处于压缩状态，且复位弹簧218的弹力大于水洗液的压力作用，以保证尾气通过通孔214时限制水洗液进入侧面连通管道210内部。
51.通过设置的环形引水槽215，避免尾气对水洗液的作用力不均导致水洗液通过通孔214时限制水洗液进入侧面连通管道210内部，水洗液通过通过与第二密封板217接触并流入环形引水槽215内，进一步限制水洗液进入侧面连通管道210内部。
52.第二密封板217包括板体221、环形引流板222和锐状引流凸起223，板体221设置在滑动柱216的端部，且板体221上与滑动柱216连接的一侧为球状面，环形引流板222设置在板体221的周侧，锐状引流凸起223设置有多个且设置在环形引流板222上靠近侧面连通管道210内部的一侧；
53.其中，环形引流板222的内径大于环形引水槽215的内径，且锐状引流凸起223的端部与板体221之间的间距小于环形引水槽215的深度。
54.水洗液在通过通孔214时，水洗液滴落至板体221上，并通过板体221上的球状面滑落至周侧的环形引流板222表面，水洗液在重力作用下沿环形引流板222表面滑动，锐状引流凸起223用于引导环形引流板222上的水洗液滴落至环形引水槽215内，限制水洗液进入侧面连通管道210内部。
55.其次，锐状引流凸起223应避免与环形引水槽215的内底部相接触，避免对第二密封板217的密封效果产生影响，即锐状引流凸起223的端部与板体221之间的间距小于环形引水槽215的深度。
56.其次，环形引流板222的内径大于环形引水槽215的内径，进一步限制水洗液滑落至侧面连通管道210内部。
57.环形引水槽215的内底部设置有聚水孔224，聚水孔224连通设置有连接管225并沿竖直方向向下延伸至侧面连通管道210的外部，多个连接管225共同连接与侧面连通管道210外壁连接的储水盒226，且储水盒226通过单向阀释放液体至外部。
58.通过设置的聚水孔224引导环形引水槽225内部的水洗液至连接管225内部，并通过连接管225引导至储水盒226同一储存，避免环形引水槽215内水洗液移出进入侧面连通管道210内部。
59.多工位水洗装置202包括设置在升降装置203端部的水洗箱227，水洗箱227内设置有多个水洗室228，每个水洗室228内均设置有电加热装置，且电加热装置用于加热水洗室228内填充的水洗液对尾气进行水洗。
60.多工位水洗装置202在使用时，尾气通道207插设至水洗箱227内对应的水洗室228内，保证通入的尾气与水洗液充分接触，并通过电加热装置加热水洗液对尾气进行水洗，通过设置的多个水洗室将水洗液分成多份，使得水洗液充分与尾气接触，避免了水洗液的浪费，且避免了水洗液统一填充导致水洗区域的水洗液经过较长时间对尾气水洗导致水洗效果下降且较远距离水洗液未得到接触的问题，进一步提高了对尾气的水洗处理效果。
61.水洗箱227包括凵型承载板229、条形箱体230和水平位移组件231，凵型承载板229设置在升降装置203的端部，条形箱体230滑动连接在凵型承载板229的内壁上并沿水平直线方向运动，水平位移组件231设置在凵型承载板229的内底部并用于驱动条形箱体230沿水平直线运动；
62.其中，水洗室228设置在条形箱体230内，且水平位移组件231用于带动条形箱体230间歇往复运动调整水洗室228的位置交替对尾气进行持续水洗。
63.考虑到水洗液在对尾气处理一段时间后需要更换以便对尾气进行持续处理，通过水平位移组件231驱动条形箱体230运动，当条形箱体230此部分的水洗室228内的水洗液需要更换时，通过升降装置203调整凵型承载板229的高度使得尾气通道207与水洗室228脱离，此时水平位移组件231驱动条形箱体230运动，使得含有已与尾气接触的水洗液的水洗室228运动至一侧进行水洗液的更换，条形箱体230内含有未与尾气接触的水洗液的水洗室228位于对应的尾气通道207处，升降装置203带动水洗箱228与对应的尾气通道228连接，保证了尾气的持续性清理，且避免了更换水洗液对尾气处理效率的影响。
64.在尾气通道207与水洗液脱离接触时封闭面205封闭尾气通道避免尾气的泄漏。
65.凵型承载板229的内底部设置有用于定位条形箱体230位置的定位组件232，定位组件232包括设置在凵型承载板229上的柱形槽233，柱形槽233的内底部设置有第一电磁铁234，柱形槽233的内壁滑动连接有与第一电磁铁234磁极方向相反的磁性限位柱235，条形箱体230的外底部沿运动方向等间距设置有多个限位孔236，每个限位孔236的内底部均设置有与磁性限位柱235的磁极方向相同的第二电磁铁237。
66.定位组件232用于对条形箱体230的位置进行限制，避免在水平位移组件231的带动下产生位置偏差导致尾气通道207与水洗室228之间配合不正确即尾气通道207不能正常进入对应的水洗室228内，其次保证条形箱体230的水洗过程中位置的稳定性。
67.定位组件232使用时，当条形箱体230运动至对应的位置时，第一电磁铁234通电与磁性限位柱235之间产生互斥作用，磁性限位柱235在磁力的作用下沿柱形槽233运动至对应的限位孔236中，同时第二电磁铁237通电与磁性限位柱235的端部吸合，保证磁性限位柱235与限位孔236配合的稳定性。
68.在本实施例中，磁性限位柱235为两端设置有磁铁的柱体，柱体一端的磁铁与第一电磁铁234相互排斥，柱体另一端的磁铁与第二电磁铁237相互吸合。
69.条形箱体230的内侧壁上沿水平直线方向等间距设置有多个与气泵连通的气孔238，且多个气孔238用于吹扫限制水洗液表面的杂质颗粒至一侧。
70.由于尾气中含有一定量的颗粒杂质使得尾气通过水洗液后留在水洗液中并漂浮在水洗液的表面，当颗粒杂质较多时尾气水洗后有可能带走一部分导致尾气的处理效果变差，通过设置的气孔238对水洗液表面进行吹扫，使得水洗液表面的颗粒杂质在气流的限制下位于水洗液表面的一侧，降低尾气与颗粒杂质的接触机会，提高对尾气的水洗处理效果。
71.该装置的大致工作过程：尾气经由尾气管道1排出至扩展管道204内，并由封闭板205封闭扩展管道204限制尾气扩散至扩展管道204外部。
72.尾气通过多个通槽206分隔成多份并依次经过封边管体209、侧面连通管道210至与单向通道211内部一侧接触，并在侧面连通管道210内部蓄积，当侧面连通管道210内部尾气压力积蓄一定大小时，尾气挤压第二密封板217沿连接槽212滑动并压缩复位弹簧218，第二密封板217通过密封柱219带动多个第三密封板220同步运动从而使得连接槽212和通孔214连通，尾气通过单向通道211依次进入连接槽212、环形槽213和通孔后排出至对应水洗室228内的水洗液中进行水洗。
73.尾气通过侧面连通管道210延伸释放范围，使得尾气在水洗液中释放的面积范围增大。
74.在尾气通过单向通道211的过程中时，部分水洗液滴落至板体221上，并滑落至环形引流板的表面，最终滑落至环形引水槽215内收集，环形引水槽215内收集的水洗液经由聚水孔224释放至储水盒226内部存储。
75.同时启动电加热装置对水洗箱227内的水洗液进行加热。
76.当水洗液需要更换时，升降装置203带动凵型承载板229下降高度使得尾气通道207与水洗室228分离，同时第一密封板208封闭尾气通道207，再通过水平位移组件231带动条形箱体230运动，使得已与尾气接触的水洗液的水洗室228运动至一侧进行水洗液的更换，条形箱体230内含有未与尾气接触的水洗液的水洗室228位于对应的尾气通道207处，并通过定位组件232对条形箱体230的位置进行定位，并通过升降装置203带动凵型承载板229调整高度复位，从而使得尾气通道207重新插入对应的水洗室228内部继续进行尾气的水洗。
77.以上实施例仅为本技术的示例性实施例，不用于限制本技术，本技术的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本技术的实质和保护范围内，对本技术做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本技术的保护范围内。