一种全自动双面数字光刻方法与流程

1.本发明涉及光刻机领域，特别涉及一种pcb板的全自动双面数字光刻方法。


背景技术：

2.光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
3.为了适应电子产品智能化和小型化的发展，电子电路不再只是在基件的单面进行曝光处理，而通常需要对基件的双面进行电子电路的曝光处理。
4.然而，目前对基件进行双面处理时，通常需要两台曝光机，这种双面曝光的方式虽然实现了双面曝光的自动化，但是整个自动化系统占用空间大，需要两个曝光系统分别曝光。


技术实现要素：

5.本发明的主要目的在于提出一种全自动双面数字光刻方法，旨在解决上述背景技术中所提出的技术问题。
6.为实现上述目的，本发明提出一种全自动双面数字光刻方法，包括：将线路板从上料工位转移至第一输送线上，并通过所述第一输送线将其输送至第一拍板工位，所述线路板在所述第一拍板工位上进行定位；待所述线路板完成定位后，将该线路板从第一拍板工位转移至第一光刻平台，并控制所述第一光刻平台转移至光刻机的下方；所述第一光刻平台移动至所述光刻机的下方后，控制所述光刻机启动以对所述第一光刻平台上的线路板进行数字光刻，光刻完成后，控制所述光刻机停止并控制所述第一光刻平台从所光刻机的下方移出；待所述第一光刻平台移出后，将所述第一光刻平台上的线路板转移至第二输送线上，并通过所述第二输送线将其输送至翻面工位，所述线路板在翻面工位处进行翻转；所述线路板完成翻转后，通过所述第二输送线将其输送至分流工位，所述线路板在所述分流工位上进行分流，以使得所述线路板转移至第三输送线上；所述线路板通过所述第三输送线输送至第二拍板工位，所述线路板在所述第二拍板工位上进行定位；待所述线路板完成定位后，将该线路板从第二拍板工位转移至第二光刻平台，并控制所述第二光刻平台转移至所述光刻机的下方；所述第二光刻平台移动至所述光刻机的下方后，控制所述光刻机启动以对所述第二光刻平台上的线路板进行数字光刻，光刻完成后，控制所述光刻机停止并控制所述第二光刻平台从所光刻机的下方移出；待所述第二光刻平台移出后，将所述第二光刻平台上的线路板转移至第二输送线上，并通过所述第二输送线将所述线路板转移至收料工位。
7.在一些实施例中，所述线路板在所述第一拍板工位上进行定位包括：控制两个相对设置的第一夹持机构分别朝向所述线路板移动，以使得所述线路板被所述两个第一夹持机构夹持移动至中间位置。
8.在一些实施例中，所述线路板在所述第一拍板工位上进行定位还包括：在控制所述两个第一夹持机构分别朝向所述线路板移动之前，控制第一升降机构朝向所述线路板移动，以使得所述线路板向上移动。
9.在一些实施例中，所述线路板通过第一进料移载机构将其从所述第一拍板工位转移至所述第一光刻平台上，所述线路板通过第一出料移载机构将其从所述第一光刻平台转移至所述第二输送线上。
10.在一些实施例中，所述线路板通过第二进料移载机构将其从所述第二拍板工位转移至所述第二光刻平台上，所述线路板通过第二出料移载机构将其从所述第二光刻平台转移至所述第二输送线上。
11.在一些实施例中，所述线路板在所述第二拍板工位上进行定位包括：控制两个相对设置的第二夹持机构分别朝向所述线路板移动，以使得所述线路板被所述两个第二夹持机构夹持移动至中间位置。
12.在一些实施例中，所述线路板在所述第二拍板工位上进行定位还包括：在控制所述两个第二夹持机构分别朝向所述线路板移动之前，控制第二升降机构朝向所述线路板移动，以使得所述线路板向上移动。
13.在一些实施例中，所述线路板在所述分流工位上进行分流包括：在将线路板从所述第二输送线转移至所述第三输送线之前，控制止挡机构向上移动，以使得所述线路板被止挡于预设位置。
14.本发明所提出的技术方案中，其通过一个曝光机可对线路板的两面进行数字光刻，相较于现有的采用两个曝光机对线路板进行双面数字光刻，其能够大大减小全自动双面数字光刻机的体积，降低全自动双面数字光刻机的空间占用以及制造成本。
附图说明
15.图1为本发明全自动双面数字光刻方法第一实施例的流程图；图2为本发明全自动双面数字光刻方法的控制原理图；图3为本发明全自动双面数字光刻方法第二实施例的流程图；图4为本发明全自动双面数字光刻方法第三实施例的流程图；图5为本发明全自动双面数字光刻方法第四实施例的流程图；图6为本发明全自动双面数字光刻方法第五实施例的流程图；图7为本发明全自动双面数字光刻方法第六实施例的流程图。
具体实施方式
16.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实
施例，都属于本发明保护的范围。
17.需要说明，本发明实施例中所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后
……
）仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
18.还需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件上时，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接另一个元件或者可能同时存在居中元件。
19.另外，在本发明中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
20.请参见图1-2，本发明提出一种全自动双面数字光刻方法，应用于pcb板的光刻中；其包括以下步骤：s10，将线路板从上料工位转移至第一输送线上，并通过第一输送线将其输送至第一拍板工位，线路板在第一拍板工位上进行定位；s20，待线路板完成定位后，将该线路板从第一拍板工位转移至第一光刻平台，并控制第一光刻平台转移至光刻机的下方；s30，第一光刻平台移动至光刻机的下方后，控制光刻机启动以对第一光刻平台上的线路板进行数字光刻，光刻完成后，控制光刻机停止并控制第一光刻平台从所光刻机的下方移出；s40，待第一光刻平台移出后，将第一光刻平台上的线路板转移至第二输送线上，并通过第二输送线将其输送至翻面工位，线路板在翻面工位处进行翻转；s50，线路板完成翻转后，通过第二输送线将其输送至分流工位，线路板在分流工位上进行分流，以使得线路板转移至第三输送线上；s60，线路板通过第三输送线输送至第二拍板工位，线路板在第二拍板工位上进行定位；s70，待线路板完成定位后，将该线路板从第二拍板工位转移至第二光刻平台，并控制第二光刻平台转移至光刻机的下方；s80，第二光刻平台移动至光刻机的下方后，控制光刻机启动以对第二光刻平台上的线路板进行数字光刻，光刻完成后，控制光刻机停止并控制第二光刻平台从所光刻机的下方移出；s90，待第二光刻平台移出后，将第二光刻平台上的线路板转移至第二输送线上，并通过第二输送线将线路板转移至收料工位。
21.本实施例所提出的全自动双面数字光刻方法，应用于全自动双面数字光刻机，该全自动双面数字光刻机包括第一输送线、第二输送线、第三输送线、第一光刻平台、第二光刻平台和光刻机。具体的，第一输送线和第三输送线分别设于第二输送线的两端并与其呈相交设置，第一光刻平台和第二光刻平台分别设置在第一输送线和第三输送线之间，光刻
机设置在第一光刻平台与第二光刻平台之间。
22.待加工的线路板放置于上料工位处，加工时，先将线路板从上料工位转移至第一输送线上，线路板转移至第一输送线上后，通过第一输送线对该线路板进行输送，以使得线路板被输送至第一拍板工位处。线路板转移至第一拍板工位后，通过设置在第一拍板工位处的机构对线路板进行定位，使得线路板处于预设位置。而后，将定位完成的线路板从第一拍板工位上转移至第一光刻平台上，第一光刻平台承载线路板后将移动至光刻机的下方。待第一光刻平台移动至光刻机的下方后，控制光刻机启动，以对第一光刻平台上的线路板进行数字光刻。光刻完成后，再控制光刻机停止，并控制第一光刻平台从光刻机的下方移出。移出后，再将该线路板从第一光刻平台上转移至第二输送线上，通过第二输送线将其输送至翻面工位。
23.线路板到达翻面工位后，通过翻面工位处的翻面机构对线路板进行翻转，使得线路板180度翻转。而后再通过第二输送线将其输送至分流工位，在分流工位处设置有分板机构，通过分板机构将线路板转移至第三输送线上。线路板到达第三输送线上后，再通过第第三输送线将其输送至第二拍板工位，以使得线路板在第二拍板工位处进行拍中。待线路板拍中完成后，再将此线路板从第二拍板工位转移至第二光刻平台上，第二光刻平台在承载线路板后，控制第二光刻平台移动至光刻机的下方。待第二光刻平台移动至光刻机的下方后，控制光刻机启动以对第二光刻平台上的线路板进行数字光刻，待光刻完成后，再控制第二光刻平台从光刻机的下方移出。移出后，再将该线路板从第二光刻平台转移至第二输送线上，以由第二输送线将其输送至收料工位处，如此循环往复。
24.在一些实施例中，请参见图3，线路板在第一拍板工位上进行定位包括：s11，控制两个相对设置的第一夹持机构分别朝向线路板移动，以使得线路板被两个第一夹持机构夹持移动至中间位置。
25.本实施例中，在第一拍板工位处设置有两个第一夹持机构，两个第一夹持机构相对设置且能够相互靠近或远离。两个第一夹持机构相互靠近时，第一夹持机构逐渐靠近线路板并与其抵持，而后再夹持线路板移动至中间位置，从而实现对于线路板的定位。待工件定位完成后，控制两个第一夹持机构相互远离以进行复位，使得两个第一夹持机构分别与线路板的两相对边脱离。
26.在一些实施例中，请参见图4，线路板在第一拍板工位上进行定位还包括：s12，在控制两个第一夹持机构分别朝向线路板移动之前，控制第一升降机构朝向线路板移动，以使得线路板向上移动。
27.本实施例中，第一输送线采用转动杆和辊轮的方式实现对于线路板的输送，转动杆上设置有多个间隔分布的辊轮，线路板放置于辊轮上进行输送。由于辊轮与线路板之间为点接触，因此容易对线路板的表面造成损伤，为此，本实施例在第一拍板工位处设置有第一升降机构。具体的，在控制两个第一夹持机构分别朝向线路板移动之前，控制第一升降机构朝向线路板移动，以使得线路板向上移动，从而是的线路板与辊轮脱离，也就不会发生因辊轮与线路板之间的点接触而导致的损伤。
28.在一些实施例中，本发明所提出的线路板通过第一进料移载机构将其从第一拍板工位转移至第一光刻平台上，线路板通过第一出料移载机构将其从第一光刻平台转移至第二输送线上。
29.本实施例中，在第一拍板工位、第一光刻平台和第二输送线之间分别设置有第一进料移载机构和第一出料移载机构，通过第一进料移载机构和第一出料移载机构分别完成工件的进料和出料。具体的，当工件位于第一拍板工位时，控制第一进料移载机构将位于第一拍板工位上的工件转移至第一光刻平台上，当工件加工完成后，控制第一出料移载机构将工件从第一光刻平台上转移至第二输送线上。
30.在一些实施例中，本发明所提出的线路板通过第二进料移载机构将其从第二拍板工位转移至第二光刻平台上，线路板通过第二出料移载机构将其从第二光刻平台转移至第二输送线上。
31.本实施例中，在第二拍板工位、第二光刻平台和第二输送线之间分别设置有第二进料移载机构和第二出料移载机构，通过第二进料移载机构和第二出料移载机构分别完成工件的进料和出料。具体的，当工件位于第二拍板工位时，控制第二进料移载机构将位于第一拍板工位上的工件转移至第二光刻平台上，当工件加工完成后，控制第二出料移载机构将工件从第二光刻平台上转移至第二输送线上。
32.在一些实施例中，请参见图5，线路板在第二拍板工位上进行定位包括：s61，控制两个相对设置的第二夹持机构分别朝向线路板移动，以使得线路板被两个第二夹持机构夹持移动至中间位置。
33.本实施例中，在第二拍板工位处设置有两个第二夹持机构，两个第二夹持机构相对设置且能够相互靠近或远离。两个第二夹持机构相互靠近时，第二夹持机构逐渐靠近线路板并与其抵持，而后再夹持线路板移动至中间位置，从而实现对于线路板的定位。待工件定位完成后，控制两个第二夹持机构相互远离以进行复位，使得两个第二夹持机构分别与线路板的两相对边脱离。
34.在一些实施例中，请参见图6，线路板在第二拍板工位上进行定位还包括：s62，在控制两个第二夹持机构分别朝向线路板移动之前，控制第二升降机构朝向线路板移动，以使得线路板向上移动。
35.本实施例中，第三输送线采用转动杆和辊轮的方式实现对于线路板的输送，转动杆上设置有多个间隔分布的辊轮，线路板放置于辊轮上进行输送。由于辊轮与线路板之间为点接触，因此容易对线路板的表面造成损伤，为此，本实施例在第二拍板工位处设置有第二升降机构。具体的，在控制两个第二夹持机构分别朝向线路板移动之前，控制第二升降机构朝向线路板移动，以使得线路板向上移动，从而是的线路板与辊轮脱离，也就不会发生因辊轮与线路板之间的点接触而导致的损伤。
36.在一些实施例中，请参见图7，线路板在所述分流工位上进行分流包括：s51，在将线路板从第二输送线转移至第三输送线之前，控制止挡机构向上移动，以使得线路板被止挡于预设位置。
37.本实施例中，在分流工位处设置有止挡机构，通过该止挡机构将工件止挡于预设位置，避免工件被输送至分流工位之外的区域。具体的，当工件被第二输送线输送时，止挡机构向上移动至预设位置，待工件移动至该预设位置后，其将被止挡机构止挡于此，从而达到限位的目的。
38.以上的仅为本发明的部分或优选实施例，无论是文字还是附图都不能因此限制本发明保护的范围，凡是在与本发明一个整体的构思下，利用本发明说明书及附图内容所作
的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明保护的范围内。