微型流体输送装置的制作方法

技术特征：
1.一种微型流体输送装置，包含：一汇流组件，包含多个承载区、多个汇流沟渠、多个汇流槽、一汇流中央槽、一连通槽一汇流侧槽，其中该多个承载区与该多个汇流沟渠一一对应连通，且该汇流沟渠中设有一凸部件，该多个汇流槽通过该连通槽与该汇流中央槽相连通，且该汇流中央槽中间也设有一汇流凸部，该汇流中央槽一侧延伸连通该汇流侧槽；一阀组件，叠合于该汇流组件，包含多个沟渠阀区、多个汇流槽阀区、一汇流中央槽阀区及一贯穿侧槽，其中该多个沟渠阀区、该多个汇流槽阀区及该汇流中央槽阀区的表面低于该阀组件的表面，以及该多个沟渠阀区分别与该多个汇流沟渠一一对应，且该多个沟渠阀区皆设有一阀孔，对应到该多个汇流沟渠的该凸部件相互抵触，该多个汇流槽阀区与该多个汇流槽一一对应，该汇流中央槽阀区对应到该汇流中央槽，且该汇流中央槽阀区设有一通孔，对应到该汇流中央槽的该汇流凸部相互抵触，以及该贯穿侧槽对应该汇流侧槽；一出口板，结合该汇流组件上，并使该阀组件定位于该汇流组件与该出口板之间，而该出口板包含多个引流槽、多个泄压槽、一汇流出口槽、一泄压连通槽及一集流通道，其中该多个引流槽分别与该多个沟渠阀区一一对应，而该多个引流槽相连之间设有一阻隔导流块予以隔离，且该阻隔导流块对应到该贯穿侧槽，又该多个泄压槽分别一一对应到该多个汇流槽阀区，该汇流出口槽对应到该汇流中央槽阀区，且该多个泄压槽通过该泄压连通槽与该汇流出口槽相连通，以及该多个泄压槽皆设有一泄压凸部件，且该泄压凸部件中心设有一泄压孔，而该泄压凸部件与该汇流槽阀区抵触封闭该泄压孔，而该汇流出口槽连通该集流通道；以及多个致动流体输送组件，每一个致动流体输送组件封盖于该汇流组件的该承载区上，供以致动传输一流体；其中，每一个致动流体输送组件致动传输该流体导入该汇流组件的每一该汇流沟渠中，用以推动该阀组件的每一该沟渠阀区，令该沟渠阀区的该阀孔脱离该汇流沟渠的该凸部件而开启，致使该流体分别进入该出口板的每一该引流槽中，并借由该阻隔导流块引导该流体进入该贯穿侧槽中，再通过回到该汇流侧槽而进入该汇流组件的该汇流中央槽集中汇流，并推动该汇流中央槽阀区的该通孔脱离该汇流中央槽的汇流凸部而开启，同时该汇流中央槽的该流体也通过该连通槽流入每一该汇流槽中而顶推每一该汇流槽阀区封闭该出口板的该泄压孔，如此汇流导入于该汇流出口槽中的该流体得以集中通过该集流通道排出。2.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，汇流组件包含有一汇流组件第一表面及一汇流组件第二表面，该汇流组件第一表面与该汇流组件第二表面相对设置，而该多个承载区自该汇流组件第一表面凹设，该多个汇流沟渠贯通于该汇流组件第一表面及该汇流组件第二表面之间，该多个汇流槽、该汇流中央槽、该连通槽、该汇流侧槽自该汇流组件第二表面凹设。3.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该出口板包含有一出口板第一表面及一出口板第二表面，该出口板第一表面与该出口板第二表面相对设置，而该多个引流槽、该多个泄压槽、该汇流出口槽、该泄压连通槽自该出口板第一表面凹设，该集流通道、该泄压孔贯穿于该出口板第一表面及该出口板第二表面之间，且该集流通道凸于该出口板第二表面上。
4.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该多个致动流体输送组件未致动传输该流体时，此时汇流于该集流通道的流体，迫使推动该汇流中央槽阀区的该通孔抵处该汇流中央槽的该汇流凸部而关闭，此时流体通过该泄压连通槽而分别导入该多个泄压槽中，迫使推动该汇流槽阀区脱离与该泄压凸部件的抵触，进而开启该泄压孔，流体即可由该多个泄压孔排出完成泄压作业。5.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该阻隔导流块为一三角柱朝垂直向的导流件。6.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该阻隔导流块为一三角柱朝水平向的导流件。7.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该泄压凸部件周边具有一消波结构。8.如权利要求7所述的微型流体输送装置，其特征在于，该消波结构是一圆环消波结构。9.如权利要求7所述的微型流体输送装置，其特征在于，该消波结构是一缺口消波结构。10.如权利要求7所述的微型流体输送装置，其特征在于，该消波结构是一旋导消波结构。11.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该多个致动流体输送组件可分别为一微型泵，该微型泵包含：一进流板，具有至少一进流孔、至少一汇流排槽及一汇流腔室，其中该进流孔供导入流体，该进流孔对应贯通该汇流排槽，且该汇流排槽汇流到该汇流腔室，使该进流孔所导入流体得以汇流至该汇流腔室中；一共振片，接合于该进流板上，具有一中空孔、一可动部及一固定部，该中空孔位于该共振片中心处，并与该进流板的该汇流腔室对应，而该可动部设置于该中空孔周围且与该汇流腔室相对的区域，而该固定部设置于该共振片的外周缘部分而贴固于该进流板上；以及一压电致动器，接合于该共振片上相对应设置；其中，该共振片与该压电致动器之间具有一腔室空间，以使该压电致动器受驱动时，使流体由该进流板的该进流孔导入，经该汇流排槽汇集至该汇流腔室中，再流经该共振片的该中空孔，由该压电致动器与该共振片的该可动部产生共振传输流体。12.如权利要求11所述的微型流体输送装置，其特征在于，该压电致动器包含：一悬浮板，为一正方形形态，可弯曲振动；一外框，环绕设置于该悬浮板的外侧；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供该悬浮板弹性支撑；以及一压电元件，该压电元件贴附于该悬浮板的一表面上，用以接受电压以驱动该悬浮板弯曲振动。13.如权利要求11所述的微型流体输送装置，其特征在于，该微型泵包括一第一绝缘片、一导电片及一第二绝缘片，其中该进流板、该共振片、该压电致动器、该第一绝缘片、该导电片及该第二绝缘片依序堆叠结合设置。
14.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该致动流体输送组件为一鼓风型泵，该鼓风型泵包含：一喷气孔片，包含一悬浮片及一中空孔洞，该悬浮片可弯曲振动，而该中空孔洞形成于该悬浮片的中心位置；一腔体框架，承载叠置于该悬浮片上；一致动体，承载叠置于该腔体框架上，包含一压电载板、一调整共振板及一压电板，该压电载板承载叠置于该腔体框架上，该调整共振板承载叠置于该压电载板上，以及该压电板承载叠置于该调整共振板上，以接受电压而驱动该压电载板及该调整共振板产生往复式地弯曲振动；一绝缘框架，承载叠置于该致动体上；以及一导电框架，承载叠设置于该绝缘框架上；其中，该喷气孔片固设该承载区的一定位凸块支撑定位，促使该喷气孔片外部定义出一空隙环绕，供该流体流通，且该喷气孔片与该承载区底部间形成一气流腔室，而该致动体、该腔体框架及该悬浮片之间形成一共振腔室，通过驱动该致动体以带动该喷气孔片产生共振，使该喷气孔片的该悬浮片产生往复式地振动位移，以吸引该流体通过该空隙进入该气流腔室再排出，实现该流体的传输流动。15.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该致动流体输送组件为一微机电微型泵，该微机电微型泵包含：一进气基座，以一硅基材蚀刻制程制出至少一进气孔；一第三氧化层，以沉积制程生成叠加于该进气基座上，并以蚀刻制程制出多个汇流通道以及一汇流室，多个该汇流通道连通该汇流室及该进气基座的该进气孔之间；一共振层，以一硅基材沉积制程生成叠加于该第三氧化层上，并以蚀刻制程制出一中心穿孔、一振动区段及一固定区段，其中该中心穿孔形成位于该共振层的中心，该振动区段形成位于该中心穿孔的周边区域，该固定区段形成位于该共振层的周缘区域；一第四氧化层，以沉积制程生成叠加于该共振层上，并部分蚀刻去除形成一压缩腔区段；一振动层，以一硅基材沉积制程生成叠加于该第四氧化层，并以蚀刻制程制出一致动区段、一外缘区段以及多个气孔，其中该致动区段形成位于中心部分，该外缘区段形成环绕于该致动区段的外围，多个该气孔分别形成于该致动区段与该外缘区段之间，又该振动层与该第四氧化层的该压缩腔区段定义出一压缩腔室；以及一第二压电组件，以沉积制程生成叠加于该振动层的该致动区段上，包含有一第二下电极层、一第二压电层、一第二绝缘层及一第二上电极层，其中该第二下电极层以沉积制程生成叠加于该振动层的该致动区段上，该第二压电层以沉积制程生成叠加于该第二下电极层的部分表面上，该第二绝缘层以沉积制程生成叠加于该第二压电层的部分表面，该第二上电极层以沉积制程生成叠加于该第二绝缘层的表面上及该第二压电层未设有该第二绝缘层的表面上，用以与该第二压电层电性连接；其中，通过驱动该第二压电组件带动该振动层及该共振层产生共振位移，导入该流体由该进气孔进入，经该汇流通道汇集至该汇流室中，通过该共振层的该中心穿孔，再由该振动层的多个该气孔排出，实现该流体的传输流动。
16.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该致动流体输送组件为一微机电鼓风型泵，该微机电鼓风型泵包含：一出气基座，以一硅基材蚀刻制程制出一出气腔室、一贯穿孔及一压缩腔室，该贯穿孔连通该压缩腔室及该出气腔室；一第一氧化层，以沉积制程生成叠加于该出气基座上，并对应该压缩腔室部分予以蚀刻去除；一喷气共振层，以一硅基材沉积制程生成叠加于该第一氧化层，并对应该压缩腔室部分蚀刻去除形成多个进气孔洞，以及对应该压缩腔室中心部分蚀刻去除形成一喷气孔，促使该进气孔洞与该喷气孔之间形成可位移振动的一悬浮区段；一第二氧化层，以沉积制程生成叠加于该喷气共振层的该悬浮区段上，该第二氧化层并部分蚀刻去除形成一共振腔区段，并与该喷气孔连通；一共振腔层，以一硅基材蚀刻制程制出一共振腔，并对应接合叠加于该第二氧化层上，促使该共振腔对应到该第二氧化层的该共振腔区段；一第一压电组件，以沉积制程生成叠加于该共振腔层上，包含有一第一下电极层、一第一压电层、一第一绝缘层及一第一上电极层，其中该第一下电极层以沉积制程生成叠加于该共振腔层上，该第一压电层以沉积制程生成叠加于该第一下电极层的部分表面上，该第一绝缘层以沉积制程生成叠加于该第一压电层的部分表面，该第一上电极层以沉积制程生成叠加于该第一绝缘层的表面上及该第一压电层未设有该第一绝缘层的表面上，用以与该第一压电层电性连接；其中，通过驱动该第一压电组件带动该喷气共振层产生共振，促使该喷气共振层的该悬浮区段产生往复式地振动位移，以吸引该流体通过该多个进气孔洞进入该压缩腔室，并通过该喷气孔再导入该共振腔，再由该共振腔排出集中该流体导入该压缩腔室，并经过该贯穿孔再导入该出气腔室形成高压排出，实现该流体的传输流动。17.如权利要求1所述的微型流体输送装置，其特征在于，该微型流体输送装置长度介于16～32mm之间、宽度介于8～16mm之间、厚度介于1.7～3.5mm之间。

技术总结
一种微型流体输送装置，包含一汇流组件、一阀组件、一出口板及多个致动流体输送组件，该多个致动流体输送组件设置于该汇流组件，以将流体导送至该汇流组件，该汇流组件将各致动流体输送组件传输的流体通过该阀组件分别导送至该出口板，该出口板将由阻隔导流件将各分流的流体分别导回该汇流组件，由该汇流组件的汇流中央槽汇聚，最后由出口板的集流通道导出，可有效避免各致动流体输送组件在汇流时彼此干扰的问题。此干扰的问题。此干扰的问题。


技术研发人员：莫皓然 高中伟 陈世昌 杨启章 张钧俋 黄启峰 韩永隆 蔡长谚 李伟铭
受保护的技术使用者：研能科技股份有限公司
技术研发日：2020.09.25
技术公布日：2022/3/29