一种硅棒隐裂快速检测系统的制作方法

1.本发明涉及检测设备技术领域，具体为一种硅棒隐裂快速检测系统。


背景技术：

2.硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，而硅棒是硅原子按籽晶的晶格排列方向，重新排列的硅单晶体棒，其通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的。
3.在硅棒的生产过程中，可能会出现硅棒隐裂的情况发生，因此需对硅棒进行隐裂检测，现如今都是通过隐裂检测仪进行隐裂检测，然而现有的隐裂检测仪需要人工手持进行检测，增加了检测人员的劳动力，使用时较为麻烦。
4.因此，需要设计一种硅棒隐裂快速检测系统来解决上述背景技术中的问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种硅棒隐裂快速检测系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
7.一种硅棒隐裂快速检测系统,包括底座，所述底座的顶部四个拐角处固定有支撑架，所述支撑架的顶部高度有检测台，所述检测台上设置有第一调节结构，所述第一调节结构包括第一电机、第一皮带轮、第二皮带轮、传动皮带、螺纹杆以及螺纹块，所述螺纹块的顶部固定有立板，所述立板的顶部一侧设置有第二调节结构，所述第二调节结构包括第二电机、丝杆以及丝杆螺母,所述丝杆螺母的一侧连接有连接架，所述连接架的底部固定有转动件，所述转动件的内部转动连接有连接件，所述转动件的一侧连接有第三电机，所述连接件的底部连接有检测仪主体,所述检测台的顶部设置有对硅棒进行固定的夹持结构。
8.作为本发明优选的方案，所述第一电机的输出端连接于第一皮带轮，所述第一皮带轮的一侧连接位于一侧的螺纹杆，所述第二皮带轮的一侧连接位于另一侧的螺纹杆，所述第一皮带轮和第二皮带轮之间通过传动皮带进行传动连接。
9.作为本发明优选的方案，所述螺纹块通过内侧螺纹连接螺纹杆的外侧，且两根所述螺纹杆杆的整体长度一致。
10.作为本发明优选的方案，所述第二电机的输出端连接于丝杆的一侧，所述丝杆螺母通过内侧螺纹连接于丝杆的外侧，所述丝杆螺母的一侧连接于连接架。
11.作为本发明优选的方案，所述连接件整体呈倒t字型，所述连接件的上部分和转动件的内部转动连接，所述连接件的下部分和检测仪主体的顶部固定连接。
12.作为本发明优选的方案，所述夹持结构包括第四电机、第一转动套、第一支撑架、第二支撑架、第二转动套以及轴承件，所述第四电机的输出端连接于第一转动套，所述第二
转动套的右侧转动连接于轴承件内部，所述第一转动套和第二转动套整体尺寸和硅棒的尺寸匹配。
13.作为本发明优选的方案，所述检测仪主体的内部设置有图像采集模块、数据输入模块以及处理模块，所述检测仪主体还连接有外侧的显示装置。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
15.本发明中，通过设置的第一调节结构和第二调节结构可以对该检测仪主体进行横向以及纵向的调节，与此同时，通过第三电机可以带动转动件转动，由于检测仪主体是连接在转动件上，因此可以对检测仪主体的检测角度进行调节，提高了灵活性，另外，通过设置的夹持结构可以对硅棒进行夹持，同时通过第四电机带动第一转动套进行转动，进而带动硅棒、第二转动套同步转动，进而可以对硅棒进行旋转，使得该装置可以针对硅棒任意位置进行检测，减少了人工劳动力，在检测时，通过图像采集模块进行硅棒表面的图像采集，并通过数据输入模块获取采集的图像数据并进行转化，通过处理模块进行处理，最后在显示装置上进行显示即可完成检测，提高了检测效率，使得设备使用时更加的高效。
附图说明
16.图1为本发明的整体结构示意图；
17.图2为本发明的第一调节结构示意图；
18.图3为本发明的第三电机和检测仪主体连接结构示意图；
19.图4为本发明的夹持结构示意图；
20.图5为本发明的连接框图；
21.图中：1、底座；101、支撑架；102、检测台；103、第一调节结构；1031、第一电机；1032、第一皮带轮；1033、第二皮带轮；1034、传动皮带；1035、螺纹杆；1036、螺纹块；104、立板；105、第二调节结构；1051、第二电机；1052、丝杆；1053、丝杆螺母；2、检测仪主体；201、连接架；202、转动件；203、连接件；204、第三电机；205、图像采集模块；206、数据输入模块；207、处理模块；208、显示装置；3、夹持结构；301、第四电机；302、第一转动套；303、第一支撑架；304、第二支撑架；305、第二转动套；306、轴承件。
具体实施方式
22.下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
23.请参阅图1-5本发明提供一种技术方案：
24.一种硅棒隐裂快速检测系统,包括底座1，底座1的顶部四个拐角处固定有支撑架101，支撑架101的顶部高度有检测台102，检测台102上设置有第一调节结构103，第一调节结构103包括第一电机1031、第一皮带轮1032、第二皮带轮1033、传动皮带1034、螺纹杆1035以及螺纹块1036，螺纹块1036的顶部固定有立板104，立板104的顶部一侧设置有第二调节结构105，第二调节结构105包括第二电机1051、丝杆1052以及丝杆螺母1053,丝杆螺母1053的一侧连接有连接架201，连接架201的底部固定有转动件202，转动件202的内部转动连接
有连接件203，转动件202的一侧连接有第三电机204，连接件203的底部连接有检测仪主体2,检测台102的顶部设置有对硅棒进行固定的夹持结构3，本发明通过设置的第一调节结构103和第二调节结构105可以对该检测仪主体2进行横向以及纵向的调节,通过第三电机204可以带动检测仪主体2的进行旋转，提高了灵活性，通过设置的夹持结构3可以对硅棒进行夹持同时带动硅棒进行旋转，达到可以针对硅棒任意位置进行检测，减少了人工劳动力。
25.实施例，请参照图1、图2和图3，第一电机1031的输出端连接于第一皮带轮1032，第一皮带轮1032的一侧连接位于一侧的螺纹杆1035，第二皮带轮1033的一侧连接位于另一侧的螺纹杆1035，第一皮带轮1032和第二皮带轮1033之间通过传动皮带1034进行传动连接，螺纹块1036通过内侧螺纹连接螺纹杆1035的外侧，且两根螺纹杆杆1035的整体长度一致，第二电机1051的输出端连接于丝杆1052的一侧，丝杆螺母1053通过内侧螺纹连接于丝杆1052的外侧，丝杆螺母1053的一侧连接于连接架201，连接件203整体呈倒t字型，连接件203的上部分和转动件202的内部转动连接，连接件203的下部分和检测仪主体2的顶部固定连接，通过设置的第一调节结构103和第二调节结构105可以对该检测仪主体2进行横向以及纵向的调节，与此同时，通过第三电机204可以带动转动件202转动，由于检测仪主体2是连接在转动件202上，因此可以对检测仪主体2的检测角度进行调节，提高了灵活性。
26.实施例，请参照图1和图4，夹持结构3包括第四电机301、第一转动套302、第一支撑架303、第二支撑架304、第二转动套305以及轴承件306，第四电机301的输出端连接于第一转动套302，第二转动套305的右侧转动连接于轴承件306内部，第一转动套302和第二转动套305整体尺寸和硅棒的尺寸匹配，通过设置的夹持结构3可以对硅棒进行夹持，同时通过第四电机301带动第一转动套302进行转动，进而带动硅棒、第二转动套305同步转动，进而可以对硅棒进行旋转，使得该装置可以针对硅棒任意位置进行检测，减少了人工劳动力。
27.实施例，请参照图1和图5，检测仪主体2的内部设置有图像采集模块205、数据输入模块206以及处理模块207，检测仪主体2还连接有外侧的显示装置208，在检测时，通过图像采集模块205进行硅棒表面的图像采集，并通过数据输入模块206获取采集的图像数据并进行转化，通过处理模块207进行处理，最后在显示装置208上进行显示即可完成检测，提高了检测效率。
28.工作原理：使用时，通过设置的夹持结构3可以对硅棒进行夹持，同时通过第四电机301带动第一转动套302进行转动，进而带动硅棒、第二转动套305同步转动，进而可以对硅棒进行旋转，通过设置的第一调节结构103和第二调节结构105可以对该检测仪主体2进行横向以及纵向的调节，与此同时，通过第三电机204可以带动转动件202转动，由于检测仪主体2是连接在转动件202上，因此可以对检测仪主体2的检测角度进行调节，提高了灵活性，使得该装置可以针对硅棒任意位置进行检测，在检测时，通过图像采集模块205进行硅棒表面的图像采集，并通过数据输入模块206获取采集的图像数据并进行转化，通过处理模块207进行处理，最后在显示装置208上进行显示即可完成检测，提高了检测效率，有一定的推广价值。
29.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。