一种硅片生产加工用视觉检测器的制作方法

1.本实用新型涉及硅片生产加工技术领域，具体为一种硅片生产加工用视觉检测器。


背景技术：

2.硅片在正式投入加工使用前，需要进行表面缺陷的视觉检测，现有的视觉检测器基本上已经能够满足硅片生产加工的使用需求，但仍有一些不足之处需要改进。
3.专利文件cn111293051a提出的一种硅片自动检测机构及检测方法，该硅片自动检测机构包括：输送机构、归整机构、监测拍照机构、图像分析装置、六轴机械手以及若干硅片收集装置；输送机构一端与烧结炉主体机相衔接，另一端设置有若干硅片收集装置，归整机构设于输送机构两侧，监测拍照机构设于输送机构上方，用于拍摄硅片的外观；六轴机械手设于输送机构一侧，用于将输送机构上的硅片分别抓放至相应的硅片收集装置中；图像分析装置分别与检测拍照机构、六轴机械手电性连接。本发明采用全自动化生产，依靠红外短波摄像机以及光电传感器相结合的检测方案，不仅可以避免人工检测长时间工作带来的视觉疲劳和误差，还可以大大提高生产效率，减少人工成本。
4.视觉检测器通常为光学仪器配合光学反馈基板共同作用，其中，若有灰尘沾附在光学反馈基板上，则会直接影响检测的准确性，为了避免灰尘带来的影响，则需要对光学反馈基板进行定时清洁，而传统的清洁方式，往往需要人工将光学反馈基板取出后再进行清洁，较为费时费力，因此亟需一种具备清洁结构的硅片生产加工用视觉检测器解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种硅片生产加工用视觉检测器，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片生产加工用视觉检测器，包括防尘仓，所述防尘仓内底面固定设置有两个支座，两个所述支座之间固定设置有放置盘，所述放置盘上设置有反馈基板，所述放置盘外的两相对侧均设置有滚动带，两个所述滚动带之间固定设置有可对反馈基板的上表面进行周期性清洁的清洁刷。
7.优选的，所述放置盘的两相对侧均转动贯穿设置有转轴，所述转轴的两端分别与两个支座贯穿转动连接。
8.优选的，所述转轴的两端部且位于支座与放置盘之间的部分同轴固定连接有滚轮，所述滚动带张紧套设在同侧对应的两个滚轮上设置。
9.优选的，所述防尘仓内顶面且对应反馈基板的上方设置有光学检测器，所述光学检测器与反馈基板之间可形成完整的硅片视觉检测体系。
10.优选的，所述防尘仓的两相对侧均设有用于硅片输送的开口，两个所述开口内分别固定设置有用于硅片输送的第一输送组件与第二输送组件，且所述第一输送组件与第二
输送组件之间保有一定间隙设置。
11.优选的，所述第一输送组件包括输送轮与输送带，所述输送轮同轴固定连接有输送轴，所述输送轴与其中一个转轴之间依次通过斜齿轮机构与带轮传动机构相互联动。
12.优选的，所述斜齿轮机构包括防尘仓内侧壁固定设置的悬座，所述悬座内贯穿转动设置的传动轴，所述传动轴一端同轴固定连接有从动锥齿轮，所述输送轴靠近传动轴的端部同轴固定连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮与从动锥齿轮啮合连接。
13.优选的，所述带轮传动机构包括传动轴远离从动锥齿轮的一端同轴固定连接的第一传动轮，其中一个所述转轴靠近第一输送组件的端部同轴固定连接有第二传动轮，所述第一传动轮与第二传动轮上张紧套设有皮带。
14.优选的，所述防尘仓内底面设有除尘口，所述除尘口内转动设置有用于收集灰尘的托盘。
15.优选的，所述除尘口内的两相对侧均设有凹槽，所述凹槽内固定设置有弹簧，所述弹簧靠近托盘的端部固定设置有可在凹槽内活动的弹头卡块，所述托盘外两相对侧设有与弹头卡块相匹配的卡槽。
16.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
17.该硅片生产加工用视觉检测器通过设置固定于滚动带上的清洁刷，使得清洁刷在滚动带的带动下发生环绕放置盘上下侧的周期性滚动，进而实现了，既在清洁刷滚动经过放置盘下侧时，不妨碍硅片的视觉检测要求，也在清洁刷滚动经过放置盘上侧时，对反馈基板的上表面进行清洁，保证硅片视觉检测的准确性，代替了人工将反馈基板取出而进行清洁的麻烦操作。
附图说明
18.图1为本实用新型的整体内部结构示意图；
19.图2为本实用新型的整体底部结构示意图；
20.图3为本实用新型的正视剖面结构示意图；
21.图4为本实用新型的侧视剖面结构示意图；
22.图5为本实用新型的另一侧视剖面结构示意图；
23.图6为本实用新型的俯视剖面结构示意图；
24.图7为本实用新型的图4中a处的放大结构示意图。
25.图中：1、防尘仓；2、支座；3、放置盘；4、反馈基板；5、滚动带；6、清洁刷；7、转轴；8、滚轮；9、光学检测器；10、开口；11、输送轮；12、输送带；13、输送轴；14、悬座；15、传动轴；16、从动锥齿轮；17、主动锥齿轮；18、第一传动轮；19、第二传动轮；20、皮带；21、除尘口；22、托盘；23、凹槽；24、弹簧；25、弹头卡块；26、卡槽。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.请参阅图1-7，本实用新型实施例提供的一种硅片生产加工用视觉检测器，包括防尘仓1，防尘仓1内底面固定设置有两个支座2，两个支座2之间固定设置有放置盘3，放置盘3上设置有反馈基板4，放置盘3外的两相对侧均设置有滚动带5，两个滚动带5之间固定设置有可对反馈基板4的上表面进行周期性清洁的清洁刷6。
28.具体的，防尘仓1为矩形盒装结构，用于防止外界灰尘大量侵入并影响其内部的视觉检测体系，大大提高硅片视觉检测的准确性，防尘仓1下端设有支撑支脚，使得其底面悬空，两个支座2相互平行设置，放置盘3包括两个分别与两个支座2邻近的圆角矩形板以及连接在两个圆角矩形板上侧用于放置反馈基板4的凹面板，反馈基板4表面涂色处理，用于硅片视觉检测体系中对比并反馈硅片的视觉检测图像，滚动带5设置于支座2与放置盘3之间，滚动带5的滚动范围大小不小于放置盘3上的圆角矩形板大小，清洁刷6的两端均通过弹性橡胶与两个滚动带5连接，清洁刷6在滚动带5的带动下围绕放置盘3的上下侧进行循环滚动，且清洁刷6在放置盘3上侧移动时，其下端可挂刷到反馈基板4上表面，清洁刷6的长度不小于反馈基板4的长度。当有硅片进入防尘仓1并进行视觉检测时，滚动带5带动清洁刷6在放置盘3下侧移动，不会妨碍硅片的视觉检测；当硅片的视觉检测结束后，且两个相继进行检测的硅片之间具有一定间隔，此时，滚动带5带动清洁刷6在放置盘3上侧移动，清洁刷6便可对反馈基板4的上表面进行刮刷以实现清洁作用，保证硅片视觉检测的准确性，且代替了人工将反馈基板4取出而进行清洁的麻烦操作。
29.与现有技术相比，本实用新型提出的一种硅片生产加工用视觉检测器通过设置固定于滚动带5上的清洁刷6，使得清洁刷6在滚动带5的带动下发生环绕放置盘3上下侧的周期性滚动，进而实现了，既在清洁刷6滚动经过放置盘3下侧时，不妨碍硅片的视觉检测要求，也在清洁刷6滚动经过放置盘3上侧时，对反馈基板4的上表面进行清洁，保证硅片视觉检测的准确性，代替了人工将反馈基板4取出而进行清洁的麻烦操作。
30.作为本实施例的优选技术方案，放置盘3的两相对侧均转动贯穿设置有转轴7，转轴7的两端分别与两个支座2贯穿转动连接，具体的，转轴7的长度不小于两个支座2外侧的最大间距，转轴7通过转动贯穿放置盘3而实现对放置盘3的支撑作用，同时，放置盘3还受到两个支座2的限位，进而保证放置盘3上放置的反馈基板4的位置稳定，即保证硅片视觉检测的稳定。
31.作为本实施例的优选技术方案，转轴7的两端部且位于支座2与放置盘3之间的部分同轴固定连接有滚轮8，滚动带5张紧套设在同侧对应的两个滚轮8上设置，具体的，通过将两侧滚动带5连接的滚轮8固定于同一转轴7上，使得两侧滚动带5可同步滚动，即保证了清洁刷6的稳定移动。
32.本发明提出另一个实施例中，防尘仓1内顶面且对应反馈基板4的上方设置有光学检测器9，光学检测器9与反馈基板4之间可形成完整的硅片视觉检测体系，具体的，该光学检测器9为依据光学原理制成的硅片表面缺陷检测设备，需配合反馈基板4使用，为现有技术，如利珀科技lp-solar系列晶硅电池视觉检测器，因而在此不加赘述。
33.本发明提出再一个实施例中，防尘仓1的两相对侧均设有用于硅片输送的开口10，两个开口10内分别固定设置有用于硅片输送的第一输送组件与第二输送组件，且第一输送组件与第二输送组件之间保有一定间隙设置，具体的，待检测硅片由第一输送组件承载驱动，并经过对应开口10而进入防尘仓1内，接着，待检测硅片随着第一输送组件的驱动而移
动至第一输送组件与第二输送组件之间保有的间隙位置，此时，光学检测器9可在不受第一输送组件或第二输送组件遮挡的条件下，完全透过硅片而与反馈基板4共同作用，实现对硅片表面缺陷的全面检测。
34.作为本实施例的优选技术方案，第一输送组件包括输送轮11与输送带12，输送轮11同轴固定连接有输送轴13，输送轴13与其中一个转轴7之间依次通过斜齿轮机构与带轮传动机构相互联动，具体的，输送轴13通过斜齿轮机构与带轮传动机构而与其中一个转轴7联动，使得输送轴13所驱动的输送轮11的转动、输送带12的滚动以及输送带12上承载的硅片的移动，而与转轴7所连接的滚轮8转动、滚动带5的滚动以及清洁刷6的移动相互联动，进而实现了，在硅片受输送带12带动而向检测位置靠近，但并未进行检测时，清洁刷6则处于放置盘3上侧移动，进而对反馈基板4的上表面进行清洁，而当硅片受输送带12带动而进入检测位置，并进行视觉检测时，清洁刷6则处于放置盘3下侧移动，从而不妨碍硅片视觉检测进行。
35.作为本实施例的进一步优选技术方案，斜齿轮机构包括防尘仓1内侧壁固定设置的悬座14，悬座14内贯穿转动设置的传动轴15，传动轴15一端同轴固定连接有从动锥齿轮16，输送轴13靠近传动轴15的端部同轴固定连接有主动锥齿轮17，主动锥齿轮17与从动锥齿轮16啮合连接，具体的，硅片在输送时，传动轴15转动，并通过主动锥齿轮17带动从动锥齿轮16转动，从动锥齿轮16再带动传动轴15转动，实现输送轴13与传动轴15的联动。
36.作为本实施例进一步优选的技术方案，带轮传动机构包括传动轴15远离从动锥齿轮16的一端同轴固定连接的第一传动轮18，其中一个转轴7靠近第一输送组件的端部同轴固定连接有第二传动轮19，第一传动轮18与第二传动轮19上张紧套设有皮带20，具体的，传动轴15的转动时，会带动第一传动轮18转动，第一传动轮18再通过皮带20带动第二传动轮19转动，第二传动轮19即可带动与之连接的转轴7转动，转轴7再带动与之连接的滚轮8及滚动带5滚动，滚动带5便可带动清洁刷6围绕放置盘3上下侧循环滚动，实现了传动轴15与清洁刷6的联动，即实现了输送轴13与清洁刷6的联动，进一步的，实现了硅片输送与清洁刷6的联动。
37.本发明提出的又一实施例中，防尘仓1内底面设有除尘口21，除尘口21内转动设置有用于收集灰尘的托盘22，具体的，除尘口21设置在靠近清洁刷6于放置盘3上侧移动时的结束位置处，除尘口21侧壁呈阶梯状设置，且阶梯的上侧内壁宽度小于阶梯的下侧内壁宽度，阶梯的下侧内壁宽度与托盘22外侧壁宽度相等，托盘22下侧设有把手。使用时，清洁刷6刮刷下来的灰尘可顺利向下落入除尘口21内的托盘22内，实现对灰尘的收集，避免灰尘直接向外排出而可能造成的二次污染问题，且在该视觉检测器使用一端时间后，可向下拉动打开托盘22，而将灰尘集中排出。
38.作为本实施例优选的技术方案，除尘口21内的两相对侧均设有凹槽23，凹槽23内固定设置有弹簧24，弹簧24靠近托盘22的端部固定设置有可在凹槽23内活动的弹头卡块25，托盘22外两相对侧设有与弹头卡块25相匹配的卡槽26，具体的，弹头卡块25远离弹簧24的端部表面呈圆弧状设置，卡槽26设置为圆形，且卡槽26的内径小于弹头卡块25的外径。使用时，弹簧24在不受外力的条件下，保持推动弹头卡块25向凹槽23外伸出，当托盘22收入在除尘口21内时，卡槽26便可与弹头卡块25对应，于是，弹头卡块25远离弹簧24的端部便会保持嵌入卡槽26内，从而使托盘22固定在除尘口21内；而当托盘22受到向下的拉力时，由于弹
头卡块25以圆弧状端部嵌入卡槽26内，且弹头卡块25外径大于卡槽26内径，于是，弹头卡块25就会受到托盘22侧壁的挤压作用而向凹槽23内收入，同时，弹簧24受力发生弹性形变压缩，最后，托盘22便可向下转动而使除尘口21打开，便可将托盘22内收集的灰尘集中处理。
39.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。