一种硅片生产加工用视觉检测器的制作方法

技术特征：
1.一种硅片生产加工用视觉检测器，包括防尘仓(1)，其特征在于：所述防尘仓(1)内底面固定设置有两个支座(2)，两个所述支座(2)之间固定设置有放置盘(3)，所述放置盘(3)上设置有反馈基板(4)，所述放置盘(3)外的两相对侧均设置有滚动带(5)，两个所述滚动带(5)之间固定设置有可对反馈基板(4)的上表面进行周期性清洁的清洁刷(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述放置盘(3)的两相对侧均转动贯穿设置有转轴(7)，所述转轴(7)的两端分别与两个支座(2)贯穿转动连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述转轴(7)的两端部且位于支座(2)与放置盘(3)之间的部分同轴固定连接有滚轮(8)，所述滚动带(5)张紧套设在同侧对应的两个滚轮(8)上设置。4.根据权利要求1所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述防尘仓(1)内顶面且对应反馈基板(4)的上方设置有光学检测器(9)，所述光学检测器(9)与反馈基板(4)之间可形成完整的硅片视觉检测体系。5.根据权利要求1所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述防尘仓(1)的两相对侧均设有用于硅片输送的开口(10)，两个所述开口(10)内分别固定设置有用于硅片输送的第一输送组件与第二输送组件，且所述第一输送组件与第二输送组件之间保有一定间隙设置。6.根据权利要求5所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述第一输送组件包括输送轮(11)与输送带(12)，所述输送轮(11)同轴固定连接有输送轴(13)，所述输送轴(13)与其中一个转轴(7)之间依次通过斜齿轮机构与带轮传动机构相互联动。7.根据权利要求6所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述斜齿轮机构包括防尘仓(1)内侧壁固定设置的悬座(14)，所述悬座(14)内贯穿转动设置的传动轴(15)，所述传动轴(15)一端同轴固定连接有从动锥齿轮(16)，所述输送轴(13)靠近传动轴(15)的端部同轴固定连接有主动锥齿轮(17)，所述主动锥齿轮(17)与从动锥齿轮(16)啮合连接。8.根据权利要求7所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述带轮传动机构包括传动轴(15)远离从动锥齿轮(16)的一端同轴固定连接的第一传动轮(18)，其中一个所述转轴(7)靠近第一输送组件的端部同轴固定连接有第二传动轮(19)，所述第一传动轮(18)与第二传动轮(19)上张紧套设有皮带(20)。9.根据权利要求1所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述防尘仓(1)内底面设有除尘口(21)，所述除尘口(21)内转动设置有用于收集灰尘的托盘(22)。10.根据权利要求9所述的一种硅片生产加工用视觉检测器，其特征在于：所述除尘口(21)内的两相对侧均设有凹槽(23)，所述凹槽(23)内固定设置有弹簧(24)，所述弹簧(24)靠近托盘(22)的端部固定设置有可在凹槽(23)内活动的弹头卡块(25)，所述托盘(22)外两相对侧设有与弹头卡块(25)相匹配的卡槽(26)。

技术总结
本实用新型公开了一种硅片生产加工用视觉检测器，包括防尘仓，所述防尘仓内底面固定设置有两个支座，两个所述支座之间固定设置有放置盘，所述放置盘上设置有反馈基板，所述放置盘外的两相对侧均设置有滚动带，两个所述滚动带之间固定设置有可对反馈基板的上表面进行周期性清洁的清洁刷。本实用新型通过设置固定于滚动带上的清洁刷，使得清洁刷在滚动带的带动下发生环绕放置盘上下侧的周期性滚动，进而实现了，既在清洁刷滚动经过放置盘下侧时，不妨碍硅片的视觉检测要求，也在清洁刷滚动经过放置盘上侧时，对反馈基板的上表面进行清洁，保证硅片视觉检测的准确性，代替了人工将反馈基板取出而进行清洁的麻烦操作。反馈基板取出而进行清洁的麻烦操作。反馈基板取出而进行清洁的麻烦操作。


技术研发人员：李跃
受保护的技术使用者：东方日升（安徽）新能源有限公司
技术研发日：2021.11.09
技术公布日：2022/3/22