一种激光注入窗口的保护防污装置的制作方法

技术特征：
1.一种激光注入窗口的保护防污装置，其特征在于，所述装置包括两个滚动支架和高透过率薄膜，利用两个滚动支架使所述高透过率薄膜连续滚动，并覆盖在激光注入窗的玻璃窗口内侧；利用所述高透过率薄膜遮挡脉冲激光诱导的粒子，防止窗口污染，保证到靶激光的质量；在两个滚动支架轴向的两侧布置两个导向板，利用所述导向板对卷动的薄膜进行导向卷出与卷入，防止在卷平滚动的过程中发生卷曲、褶皱；在滚动支架上还未使用、未受等离子体污染的薄膜卷方向一侧布置有用于阻隔污染的保护挡板，防止薄膜还未使用即发生污染；在所述高透过率薄膜运转过程中，利用滚动支架卷出卷入的方案连续刷新保护薄膜，保护窗口玻璃不受污染，也降低薄膜对入射激光的影响。2.根据权利要求1所述激光注入窗口的保护防污装置，其特征在于，在所述高透过率薄膜运转过程中，两个滚动支架的滚动速率与当前薄膜卷动展平的线速度相关，以保证在污染防护区域的薄膜匀速运动为定量；其中，两个滚动支架中未使用的卷筒一侧的主轴转动速度应逐渐变大，角加速度与薄膜卷筒半径变化对时间的导数相关。3.根据权利要求1所述激光注入窗口的保护防污装置，其特征在于，所述高透过率薄膜卷平滚动的线速度需满足如下约束条件：薄膜的单位时间污染量固定、卷平区域的线速度固定、卷平区域的热积累量不得超过设定的褶皱阈值。4.根据权利要求1所述激光注入窗口的保护防污装置，其特征在于，通过对所述高透过率薄膜进行布局，优化薄膜的光斑直径，保护薄膜不受激光损伤，有效减小薄膜幅宽，将薄膜贴近窗口玻璃一侧布置，能有效阻隔游离的污染粒子通过薄膜与窗口之间的间隙附着在窗口玻璃上。5.根据权利要求1所述激光注入窗口的保护防污装置，其特征在于，所述高透过率薄膜的幅宽应以所需保护激光注入窗口的直径为参考，大于激光入射时所照射范围的一定倍数。6.根据权利要求1所述激光注入窗口的保护防污装置，其特征在于，增加滚动支架上未使用的薄膜卷筒的直径，从而增加薄膜的总体长度，延长薄膜使用时间，减少薄膜卷筒更换的次数。7.根据权利要求1所述激光注入窗口的保护防污装置，其特征在于，所述装置直接嵌入玻璃窗口内侧真空腔体管状结构件的中间，采用易拆卸设计，可整体简易取出，方便检修、更换耗材。

技术总结
本发明公开了一种激光注入窗口的保护防污装置，包括两个滚动支架和高透过率薄膜，利用两个滚动支架使所述高透过率薄膜连续滚动，并覆盖在激光注入窗的玻璃窗口内侧；利用所述高透过率薄膜遮挡脉冲激光诱导的粒子，防止窗口污染，保证到靶激光的质量；在两个滚动支架轴向的两侧布置两个导向板，利用所述导向板对卷动的薄膜进行导向卷出与卷入，防止在卷平滚动的过程中发生卷曲、褶皱；在滚动支架上还未使用、未受等离子体污染的薄膜卷方向一侧布置有用于阻隔污染的保护挡板，防止薄膜还未使用即发生污染。该装置能保证注入激光在沉积过程中不受逐渐被污染的窗口片所影响，保证高质量的薄膜沉积效果。的薄膜沉积效果。的薄膜沉积效果。


技术研发人员：何建国 代守军 王辉 轩新想 刘洋 赵冠雷 谭羽 凡炼文 李琳
受保护的技术使用者：中国科学院空天信息创新研究院
技术研发日：2021.12.16
技术公布日：2022/3/22