一种压可变电容的制作方法

1.本发明涉及电子领域，具体地说涉及一种压可变电容。


背景技术：

2.市场上的可变电容主要是通过微机电系统(mems)实现电容量大小的控制，但是mems制作工艺复杂，成本比较高。
3.另一方面，可变电容在电容值变化时，没有办法实现主动控制；即，通过软件或者其他控制手段直接控制不同时刻的电容值大小，从而作出更好的应用。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种压可变电容，所述压可变电容主要解决现有技术中的问题。
5.本发明公开的一种压可变电容，包括：
6.彼此相对的两片衬底，分别为第一衬底和第二衬底，所述第一衬底与所述第二衬底之间具有空隙；
7.设置于所述第二衬底朝向所述第一衬底的敏感层，所述敏感层为导电多孔弹性薄膜，所述第二衬底上设置有电极布线，所述电极布线与所述敏感层导通，所述导电多孔弹性薄膜位于所述空隙内；
8.设置于所述第一衬底上并背向所述第二衬底一侧的第一导电薄膜；
9.设置于所述第二衬底上并背向所述第一衬底一侧的绝缘阻隔层；
10.设置于所述绝缘阻隔层上并背向所述第二衬底的第二导电薄膜；
11.所述导电多孔弹性薄膜由弹性材料、发泡材料和导电材料混合加热后固化获得。
12.其中，所述空隙内填充有电解液。
13.其中，所述第一衬底和所述第一导电薄膜彼此绝缘。
14.其中，所述第一导电薄膜和/或所述第二导电薄膜包括多个彼此独立绝缘的导电单元，每个所述导电单元单独设置引线。
15.其中，所述第二衬底上设置有引线，所述第二衬底上的引线与所述第一导电薄膜和所述第二导电薄膜彼此不导通。
16.在本实施方式中所述压可变电容当受力时，使得第一衬底和第二衬底之间的间距距离变化，此时设置在第一衬底上的第一导电膜和设置在第二衬底上的第二导电膜之间的间距发生改变，从而实现电容值大小的变化；同时，当第二衬底和第一衬底距离变化时，敏感层的形状被挤压改变，改变的敏感层的形状从而到达改变敏感层的电阻值。此时，一方面，导电的第二衬底和第一衬底之间的距离变化，实现电容变化，另一方面电阻值变化的第二衬底和敏感层，在输出电压变化，可以作为敏感元器件使用，例如压力传感器。
17.本发明的可变电容不采用mems能够降低成本。当对第一导电薄膜或第二导电薄膜分割出多个绝缘的导电单元后，通过将多个导电单元连接至不同电位的电源端，在形变产
生后，每个导电单元输出不同的电压，从而实现了电容值的区分调节，当将多个引线分别连接至可编程的软件程序系统中，例如eda软件、单片机系统内，能够通过程序控制电容值和输出的变化。
附图说明
18.图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
19.下面结合具体实施例和说明书附图对本发明做进一步阐述和说明:
20.在本发明具体实施之前需要说明的是，以下所记述的各个模块和系统仅是通过相应的功能划分，并不排除各个功能模块是现有技术的可能。应该清楚的是，尽管各功能模块可能是现有技术的直接应用，但是由各个现有的功能模块的组合成的整个系统为一种组合发明，结合应用场景以及各模块组合方式来说，整个系统还是具有新颖性和创造性的。
21.另外，在本发明中数据、信号的发送和接收均是通过现有的通信协议以及控制方式来实现，相应的模块能够实现数据的记录、信号的发送和接收即可，并不需要对相应模块内的协议、控制方式以及可能涉及到的软件方法提出改进。
22.请参考图1，本发明公开了一种压可变电容，包括：
23.彼此相对的两片衬底10，分别为第一衬底10a和第二衬底10b，所述第一衬底10a与所述第二衬底之间具有空隙11；设置于所述第二衬底10b朝向所述第一衬底的敏感层12，所述敏感层12为导电多孔弹性薄膜，所述第二衬底10b上设置有电极布线，所述电极布线与所述敏感层12导通，所述导电多孔弹性薄膜位于所述空隙11内；设置于所述第一衬底10a上并背向所述第二衬底10b一侧的第一导电薄膜13；设置于所述第二衬底10b上并背向所述第一衬底10a一侧的绝缘阻隔层14；设置于所述绝缘阻隔层14上并背向所述第二衬底10b的第二导电薄膜15；所述导电多孔弹性薄膜由弹性材料、发泡材料和导电材料混合加热后固化获得。
24.其中，所述空隙内填充有电解液。
25.在本实施方式中，所述压可变电容当受力时，使得第一衬底10a和第二衬底10b之间的间距距离变化，此时设置在第一衬底10a上的第一导电膜13和设置在第二衬底10b上的第二导电膜15之间的间距发生改变，从而实现电容值大小的变化；同时，当第二衬底10b和第一衬底13距离变化时，敏感层12的形状被挤压改变，改变的敏感层12的形状从而到达改变敏感层12的电阻值。此时，一方面，导电的第二衬底10b和第一衬底10a之间的距离变化，实现电容变化，另一方面电阻值变化的第二衬底10b和敏感层12，在输出电压变化，可以作为敏感元器件使用，例如压力传感器。
26.在本实施方式中，衬底为半导体衬底，所述弹性材料为聚二甲基硅氧烷、卷纸或铂催化硅胶材料的混合物；所述发泡材料为甲苯磺酰氨和碳酸氢钠，氧化双肋的混合物，所述导电材料为石墨烯、炭黑、金属纳米管。
27.其中，所述第一衬底10a和所述第一导电薄13膜彼此绝缘。
28.其中，所述第一导电薄膜13和/或所述第二导电薄膜15包括多个彼此独立绝缘的导电单元d，每个所述导电单元d单独设置引线。
29.其中，所述第二衬底10b上设置有引线x，所述第二衬底10b上的引线x与所述第一导电薄膜13和所述第二导电薄膜15彼此不导通。
30.本发明的可变电容不采用mems能够降低成本。当对第一导电薄膜13或第二导电薄膜15分割出多个绝缘的导电单元d后，通过将多个导电单元d连接至不同电位的电源端，在形变产生后，每个导电单元d输出不同的电压，从而实现了电容值的区分调节，当将多个引线分别连接至可编程的软件程序系统中，例如eda软件、单片机系统内，能够通过程序控制电容值和输出的变化。
31.最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细地说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。


技术特征：
1.一种压可变电容，其特征在于，所述压可变电容包括：彼此相对的两片衬底，分别为第一衬底和第二衬底，所述第一衬底与所述第二衬底之间具有空隙；设置于所述第二衬底朝向所述第一衬底的敏感层，所述敏感层为导电多孔弹性薄膜，所述第二衬底上设置有电极布线，所述电极布线与所述敏感层导通，所述导电多孔弹性薄膜位于所述空隙内；设置于所述第一衬底上并背向所述第二衬底一侧的第一导电薄膜；设置于所述第二衬底上并背向所述第一衬底一侧的绝缘阻隔层；设置于所述绝缘阻隔层上并背向所述第二衬底的第二导电薄膜；所述导电多孔弹性薄膜由弹性材料、发泡材料和导电材料混合加热后固化获得。2.如权利要求1所述的压可变电容，其特征在于，所述空隙内填充有电解液。3.如权利要求1所述的压可变电容，其特征在于，所述第一衬底和所述第一导电薄膜彼此绝缘。4.如权利要求1所述的压可变电容，其特征在于，所述第一导电薄膜和/或所述第二导电薄膜包括多个彼此独立绝缘的导电单元，每个所述导电单元单独设置引线。5.如权利要求1所述的压可变电容，其特征在于，所述第二衬底上设置有引线，所述第二衬底上的引线与所述第一导电薄膜和所述第二导电薄膜彼此不导通。

技术总结
本发明公开本发明公开的一种压可变电容，包括：彼此相对的两片衬底，分别为第一衬底和第二衬底以及之间的空隙；设置于所述第二衬底朝向所述第一衬底的敏感层，所述敏感层为导电多孔弹性薄膜，所述导电多孔弹性薄膜位于所述空隙内；设置于所述第一衬底上并背向所述第二衬底一侧的第一导电薄膜；设置于所述第二衬底上并背向所述第一衬底一侧的绝缘阻隔层；设置于所述绝缘阻隔层上并背向所述第二衬底的第二导电薄膜；所述导电多孔弹性薄膜由弹性材料、发泡材料和导电材料混合加热后固化获得。本发明的压可变电容解决了现有技术中可变电容的成本以及可控性应用性差的技术问题。容的成本以及可控性应用性差的技术问题。容的成本以及可控性应用性差的技术问题。


技术研发人员：袁小庆 胡楼先
受保护的技术使用者：深圳市鑫捷泰电子有限公司
技术研发日：2021.12.14
技术公布日：2022/3/22