衬底处理装置及衬底处理方法与流程

技术特征：
1.一种衬底处理装置，具备：第1衬底处理部，包含：第1衬底保持部，构成为能在第1高度位置保持第1衬底；及第2衬底保持部，构成为能在低于所述第1高度位置的第2高度位置保持第2衬底；衬底搬送部，包含：第1搬送保持部，构成为能保持所述第1衬底；及第2搬送保持部，构成为能在比所述第1搬送保持部下方保持所述第2衬底；及搬送控制部，进行如下般控制所述衬底搬送部的第1控制：由所述第1搬送保持部进行对所述第1衬底保持部移交或接收所述第1衬底，由所述第2搬送保持部进行对所述第2衬底保持部接收或移交所述第2衬底。2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，还具备第1衬底支撑部，构成为能支撑所述第1衬底，同时在所述第1衬底的下方支撑第3衬底，所述衬底搬送部还包含第3搬送保持部，构成为能在比所述第1搬送保持部下方保持所述第3衬底，所述搬送控制部在进行所述第1控制之前，进行如下般控制所述衬底搬送部的第2控制：在将所述第1衬底及所述第3衬底支撑在所述第1衬底支撑部的状态下，由所述第1搬送保持部接收支撑在所述第1衬底支撑部的所述第1衬底，同时由所述第3搬送保持部接收支撑在所述第1衬底支撑部的所述第3衬底。3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，还具备第2衬底支撑部，构成为能支撑所述第2衬底，所述搬送控制部在以由所述第2搬送保持部接收所述第2衬底的方式进行所述第1控制后，进行以将由所述第2搬送保持部接收的所述第2衬底移交给所述第2衬底支撑部的方式，控制所述衬底搬送部的第3控制。4.根据权利要求1所述的衬底处理装置，还具备第2衬底处理部，包含：第3衬底保持部，构成为能在第3高度位置保持第3衬底；及第4衬底保持部，构成为能在低于所述第3高度位置的第4高度位置保持第4衬底，所述衬底搬送部还包含：第3搬送保持部，构成为能在比所述第1搬送保持部下方保持所述第3衬底；及第4搬送保持部，构成为能在比所述第3搬送保持部下方保持所述第4衬底，所述搬送控制部进行如下般控制所述衬底搬送部的第4控制：由所述第3搬送保持部进行对所述第3衬底保持部移交或接收所述第3衬底，由所述第4搬送保持部进行对所述第4衬底保持部接收或移交所述第4衬底。5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，还具备第1衬底支撑部，构成为能支撑所述第1衬底，同时在所述第1衬底的下方支撑所述第3衬底，所述搬送控制部在进行所述第1及第4控制之前，进行如下般控制所述衬底搬送部的第5控制：在将所述第1衬底及所述第3衬底支撑在所述第1衬底支撑部的状态下，由所述第1搬送保持部接收支撑在所述第1衬底支撑部的所述第1衬底，同时由所述第3搬送保持部接收支撑在所述第1衬底支撑部的所述第3衬底。6.根据权利要求5所述的衬底处理装置，还具备第2衬底支撑部，构成为能支撑所述第2
衬底同时能在所述第2衬底的下方支撑所述第4衬底，所述搬送控制部在以由所述第2搬送保持部接收所述第2衬底的方式进行所述第1控制后，进行以将由所述第2搬送保持部接收的所述第2衬底移交给所述第2衬底支撑部的方式，控制所述衬底搬送部的第6控制，且在以由所述第4搬送保持部接收所述第4衬底的方式进行所述第4控制后，进行以将由所述第4搬送保持部接收的所述第4衬底移交给所述第2衬底支撑部的方式，控制所述衬底搬送部的第7控制。7.根据权利要求1到6的任一权利要求所述的衬底处理装置，其中所述第1高度位置和所述第2高度位置间的距离，与所述第1搬送保持部中保持所述第1衬底的部分，与所述第2搬送保持部中保持所述第2衬底的部分之间在上下方向的距离相等或大致相等。8.根据权利要求1到6的任一权利要求所述的衬底处理装置，其中所述第1衬底保持部构成为能通过与所述第1衬底的外周端部的多个部分抵接而保持所述第1衬底，所述第2衬底保持部构成为能通过吸附所述第2衬底的下表面中央部而保持所述第2衬底，所述第1衬底处理部还包含：清洗部，构成为能清洗由所述第1衬底保持部保持的所述第1衬底的所述下表面中央部，且能清洗包围由所述第2衬底保持部保持的所述第2衬底的所述下表面中央部的下表面外侧区域。9.一种衬底处理方法，包含以下步骤：由包含在衬底搬送部中且构成为能保持第1衬底的第1搬送保持部，进行对包含在第1衬底处理部中且构成为能在第1高度位置保持所述第1衬底的第1衬底保持部移交或接收所述第1衬底的第1动作；由包含在所述衬底搬送部中且构成为能在比所述第1搬送保持部下方保持第2衬底的第2搬送保持部，进行对包含在所述第1衬底处理部中且构成为能在低于所述第1高度位置的第2高度位置保持所述第2衬底的第2衬底保持部接收或移交所述第2衬底的第2动作。10.根据权利要求9所述的衬底处理方法，还包含以下步骤：在进行所述第1及第2动作之前，在将所述第1衬底及所述第3衬底支撑在构成为能支撑所述第1衬底同时在所述第1衬底的下方支撑第3衬底的第1衬底支撑部的状态下，由所述第1搬送保持部接收支撑在所述第1衬底支撑部的所述第1衬底，同时由构成为能在比所述第1搬送保持部下方保持所述第3衬底的第3搬送保持部，接收支撑在所述第1衬底支撑部的所述第3衬底。11.根据权利要求9或10所述的衬底处理方法，还包含以下步骤：以由所述第2搬送保持部接收所述第2衬底的方式进行所述第1及第2动作后，将由所述第2搬送保持部接收的所述第2衬底移交给构成为能支撑所述第2衬底的第2衬底支撑部。12.根据权利要求9所述的衬底处理方法，还包含以下步骤：由包含在所述衬底搬送部中且构成为能在比所述第1搬送保持部下方保持第3衬底的第3搬送保持部，进行对包含在第2衬底处理部中且构成为能在第3高度位置保持所述第3衬底的第3衬底保持部移交或接收所述第3衬底的第3动作；由包含在所述衬底搬送部中且构成为能在比所述第3搬送保持部下方保持第4衬底的
第4搬送保持部，进行对包含在所述第2衬底处理部中且构成为能在比所述第3高度位置低的第4高度位置保持所述第4衬底的第4衬底保持部接收或移交所述第4衬底的第4动作。13.根据权利要求12所述的衬底处理方法，还包含以下步骤：在进行所述第1～第4动作之前，在将所述第1衬底及所述第3衬底支撑在构成为能支撑所述第1衬底同时在所述第1衬底的下方支撑所述第3衬底的第1衬底支撑部的状态下，由所述第1搬送保持部接收支撑在所述第1衬底支撑部的所述第1衬底，同时由所述第3搬送保持部接收支撑在所述第1衬底支撑部的所述第3衬底。14.根据权利要求13所述的衬底处理方法，还包含以下步骤：以由所述第2搬送保持部接收所述第2衬底的方式进行所述第1及第2动作之后，将由所述第2搬送保持部接收的所述第2衬底移交给构成为能支撑所述第2衬底同时能在所述第2衬底的下方支撑所述第4衬底的第2衬底支撑部；以由所述第4搬送保持部接收所述第4衬底的方式进行所述第3及第4动作之后，将由所述第4搬送保持部接收的所述第4衬底移交给所述第2衬底支撑部。

技术总结
本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。衬底处理装置包含衬底处理部与衬底搬送部。衬底处理部包含构成为能保持衬底的上侧保持装置及下侧保持装置。衬底处理部中，下侧保持装置设置在上侧保持装置的下方。因此，能由上侧保持装置保持衬底的高度位置，与能由下侧保持装置保持衬底的高度位置不同。衬底搬送部具有保持衬底的第1及第2手。第2手位于比第1手下方。由第1手进行对上侧保持装置移交或接收衬底。由第2手进行对下侧保持装置接收或移交衬底。衬底。衬底。


技术研发人员：筱原智之 冈田吉文 冲田展彬
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2021.09.07
技术公布日：2022/3/18