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用于硅片激光切割的吹气设备的制作方法

2022-03-17 08:44:29 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及激光切割技术领域,具体涉及一种用于硅片激光切割的吹气设备。


背景技术:

2.激光切割是利用高功率密度激光束照射被切割材料,使材料很快被加热至汽化温度,蒸发形成孔洞,随着光束对材料的移动,孔洞连续形成宽度很窄的切缝,完成对材料的切割,在进行激光切割的时候,为了保证切口的平整,通常会对切割位置不间断的吹气,用于吹走切割产生的碎渣。
3.但是在实际操作过程中,吹气喷嘴一般都是固定在切割头的端部侧面,在使用时,有时候为了定向吹走碎渣,需要对吹气喷嘴的初期角度进行调节,而现在的激光切割设备其吹气喷嘴大多数都是固定的,不方便进行角度调节,同时吹气喷嘴在使用过程中,也会出现各种故障,例如发生堵塞的情况,而现在大多数都是采用固定式的安装方式,在检修时拆卸也比较麻烦,因此需要提供一种用于硅片激光切割的吹气设备以解决上述问题。


技术实现要素:

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于硅片激光切割的吹气设备,解决了现有激光切割的吹气喷嘴不方便进行角度调节和维修的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:
8.一种用于硅片激光切割的吹气设备,包括;
9.激光切割机,所述激光切割机的上表面设有切割载板,所述激光切割机的顶端固定安装有切割头,所述切割头的外表面活动卡接有固定座;
10.吹气喷嘴,所述吹气喷嘴的顶端固定安装有输气导管,所述吹气喷嘴的侧面固定连接有齿盘,所述固定座的内部转动连接有调节转杆,所述调节转杆的端部设有驱动齿轮,所述驱动齿轮与齿盘相啮合,所述调节转杆的外表面固定套接有限位齿轮,所述限位齿轮与固定座活动卡接。
11.优选的,所述切割头的外表面固定套接有连接套筒,所述固定座活动套接在连接套筒的外表面,所述固定座的内部设有卡接组件,所述卡接组件活动卡接在连接套筒的内部。
12.优选的,所述卡接组件包括拉环、滑动杆、卡块和弹簧,所述拉环固定连接在滑动杆的一端,所述卡块固定连接在滑动杆的另一端,所述弹簧滑动套接在滑动杆的外表面。
13.优选的,所述弹簧活动卡接在固定座的内部,所述连接套筒的外表面开设有卡槽,所述卡块活动卡接在卡槽的内部。
14.优选的,所述固定座的两侧均开设有连接槽,所述齿盘转动连接在连接槽的内部,
所述驱动齿轮转动连接在固定座的内部。
15.优选的,所述驱动齿轮的外表面固定连接有固定套筒,所述调节转杆的端部固定连接有方形杆,所述方形杆活动插接在固定套筒的内部
16.优选的,所述固定座的外表面开设有齿槽,所述限位齿轮滑动卡接在齿槽的内部。
17.有益效果
18.本实用新型提供了一种用于硅片激光切割的吹气设备。与现有技术相比,具备以下有益效果:
19.1、该用于硅片激光切割的吹气设备,通过将调节转杆向外拉动,使得限位齿轮从齿槽的内部脱离,此时旋转调节转杆,使得调节转杆通过方形杆带动驱动齿轮转动,此时驱动齿轮通过齿盘带动吹气喷嘴进行转动,以此调节吹气的角度。
20.2、该用于硅片激光切割的吹气设备,通过将拉环向外拉动,使得卡块从卡槽内部移出,此时将固定座从切割头的外表面取下,方便对吹气喷嘴进行检修。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本实用新型总体结构示意图;
23.图2为本实用新型切割头外表面结构示意图;
24.图3为本实用新型切割头外表面结构爆炸图;
25.图4为本实用新型固定座内部结构爆炸图;
26.图5为本实用新型卡接组件结构示意图。
27.图中:1、激光切割机;2、切割载板;3、切割头;4、固定座;5、吹气喷嘴;6、调节转杆;7、卡接组件;701、拉环;702、滑动杆;703、卡块;704、弹簧;8、连接套筒;9、卡槽;10、齿盘;11、限位齿轮;12、方形杆;13、驱动齿轮;14、固定套筒;15、齿槽;16、输气导管。
具体实施方式
28.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
29.本技术实施例通过提供一种用于硅片激光切割的吹气设备,解决了现有激光切割的吹气喷嘴不方便进行角度调节和维修的问题的问题,实现了硅片在进行激光切割时,可对吹气喷嘴进行转动调节。
30.本技术实施例中的技术方案为解决上述技术问题,总体思路如下:
31.通过对现有的激光切割设备进行观察和了解,发现其吹气喷嘴大多数都是固定的,不方便进行角度调节,同时吹气喷嘴在使用过程中,容易发生堵塞的情况,不方便进行检修等问题。
32.为了更好的理解上述技术方案,下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
33.一种用于硅片激光切割的吹气设备,包括激光切割机1和吹气喷嘴5;
34.如图1所示,激光切割机1的上表面设有切割载板2,激光切割机1的顶端固定安装有切割头3,切割头3的外表面活动卡接有固定座4;
35.如图2-3所示,吹气喷嘴5的顶端固定安装有输气导管16,吹气喷嘴5的侧面固定连接有齿盘10,固定座4的内部转动连接有调节转杆6,调节转杆6的端部设有驱动齿轮13,驱动齿轮13与齿盘10相啮合,调节转杆6的外表面固定套接有限位齿轮11,限位齿轮11与固定座4活动卡接。
36.如图3所示,切割头3的外表面固定套接有连接套筒8,固定座4活动套接在连接套筒8的外表面,固定座4的内部设有卡接组件7,卡接组件7活动卡接在连接套筒8的内部。
37.如图5所示,卡接组件7包括拉环701、滑动杆702、卡块703和弹簧704,拉环701固定连接在滑动杆702的一端,卡块703固定连接在滑动杆702的另一端,弹簧704滑动套接在滑动杆702的外表面。
38.如图3-5所示,弹簧704活动卡接在固定座4的内部,连接套筒8的外表面开设有卡槽9,卡块703活动卡接在卡槽9的内部,当吹气喷嘴5出现堵塞时,通过将拉环701向外拉动,使得滑动杆702带动卡块703从卡槽9内部移出,此时弹簧704被压缩,此时将固定座4从连接套筒8的外表面向下移动,使得固定座4从切割头3的外表面取下。
39.如图4所示,固定座4的两侧均开设有连接槽,齿盘10转动连接在连接槽的内部,驱动齿轮13转动连接在固定座4的内部,驱动齿轮13的外表面固定连接有固定套筒14,调节转杆6的端部固定连接有方形杆12,方形杆12活动插接在固定套筒14的内部,通过将调节转杆6向外拉动,使得方形杆12从固定套筒14的内部向外滑动一段距离,此时旋转调节转杆6,使得调节转杆6通过方形杆12带动驱动齿轮13转动,此时驱动齿轮13通过齿盘10带动吹气喷嘴5进行转动,以此调节吹气的角度。
40.如图4所示,固定座4的外表面开设有齿槽15,限位齿轮11滑动卡接在齿槽15的内部,在完成吹气喷嘴5的调节后,再将调节转杆6向内部推动,使得限位齿轮11进入到齿槽15内部进行卡接固定。
41.工作原理:该装置在使用时,通过将待切割的硅片放置在切割载板2上,然后启动激光切割机1,此时通过切割头3对硅片进行切割,同时该装置在使用时,可通过将调节转杆6向外拉动,使得方形杆12从固定套筒14的内部向外滑动一段距离,此时限位齿轮11从齿槽15的内部脱离,此时旋转调节转杆6,使得调节转杆6通过方形杆12带动驱动齿轮13转动,此时驱动齿轮13通过齿盘10带动吹气喷嘴5进行转动,以此调节吹气的角度,然后再将调节转杆6向内部推动,使得限位齿轮11进入到齿槽15内部进行卡接固定;
42.同时该装置在使用时,当吹气喷嘴5出现堵塞时,通过将拉环701向外拉动,使得滑动杆702带动卡块703从卡槽9内部移出,此时弹簧704被压缩,此时将固定座4从连接套筒8的外表面向下移动,使得固定座4从切割头3的外表面取下,方便对吹气喷嘴5进行检修。
43.综上,与现有技术相比,具备以下有益效果:
44.1、该用于硅片激光切割的吹气设备,通过将调节转杆6向外拉动,使得限位齿轮11从齿槽15的内部脱离,此时旋转调节转杆6,使得调节转杆6通过方形杆12带动驱动齿轮13
转动,此时驱动齿轮13通过齿盘10带动吹气喷嘴5进行转动,以此调节吹气的角度。
45.2、该用于硅片激光切割的吹气设备,通过将拉环701向外拉动,使得卡块703从卡槽9内部移出,此时将固定座4从切割头3的外表面取下,方便对吹气喷嘴5进行检修。
46.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个
……”
限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
47.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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