一种晶圆加工固定装置的制作方法

1.本实用新型属于晶圆加工技术领域，特别涉及一种晶圆加工固定装置。


背景技术：

2.半导体晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，而半导体晶圆在加工过程中需要对其进行固定，防止其偏移。在对晶圆进行打磨时，现有的固定装置在打磨完一面后需要重新进行固定，降低了工作效率。因此，现在亟需一种晶圆加工固定装置来解决这个问题。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种晶圆加工固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.本实用新型通过以下技术方案实现：一种晶圆加工固定装置，包括工作箱、工作台、固定圆环以及固定块，所述工作箱上端设置有工作台，所述工作箱内部左侧以及右侧均固定有两个电动伸缩杆，左侧与右侧的两个所述电动伸缩杆上之间固定有连接板，所述连接板上安装有电动旋转盘，所述电动旋转盘上设置有安装板，所述安装板上设置有两个连接臂，所述固定圆环固定在四个连接臂上，所述固定圆环内固定有多个均匀设置的伸缩套筒一，所述伸缩套筒一内部滑动设置有连接推杆一，所述连接推杆一的下端置于伸缩套筒一外侧，所述固定块设置有四个，四个所述固定块的上端均与连接推杆一连接，每个所述固定块上端表面以及下端表面各滑动设置有一个上挡板与下挡板，伸缩套筒二设置有多个，多个所述伸缩套筒二固定在固定圆环上，所述固定圆环内部滑动设置有连接推杆二，每个所述上挡板与下挡板上均连接有两个连接推杆二。
5.作为一优选的实施方式，复位弹簧一的上端固定在所述连接推杆一上的活塞下端表面，所述复位弹簧一的另一端固定在伸缩套筒一底端。
6.作为一优选的实施方式，复位弹簧二的上端固定在所述连接推杆一上的活塞下端表面，所述复位弹簧二的另一端固定在伸缩套筒二底端。
7.作为一优选的实施方式，t字型滑槽设置有四个，四个t字型滑槽分别开设在所述固定块上端表面以及下端表面，t字型滑块设置有四个，且四个t字型滑块分别设置在所述上挡板与下挡板上。
8.作为一优选的实施方式，所述两个电动旋转盘、两个安装板、四个连接臂以及一个固定圆环构成一旋转角度为零到一百八十度的旋转机构。
9.作为一优选的实施方式，所述工作台是一种圆台，所述工作台与固定圆环同轴设置。
10.采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：通过设置的固定圆环、固定板，能够快速的对晶圆进行固定，且固定效果好，通过设置的上挡板、下挡板以及电动伸缩杆，能够对固定圆环进行翻转，从而便于对晶圆的双面进行加工，提高了加工效率。
附图说明
11.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
12.图1为本实用新型一种晶圆加工固定装置的整体结构示意图。
13.图2为本实用新型一种晶圆加工固定装置的固定圆环的剖面示意图。
14.图3为本实用新型一种晶圆加工固定装置的a处放大示意图。
15.图4为本实用新型一种晶圆加工固定装置的安装板的示意图。
16.图中，1-工作箱、2-电动伸缩杆、3-电动旋转盘、4-安装板、5-连接臂、 6-固定圆环、7-伸缩套筒一、8-伸缩套筒二、9-工作台、10-连接推杆一、11
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复位弹簧一、12-固定块、13-上挡板、14-下挡板、15-连接推杆二、16-复位弹簧二。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆加工固定装置，包括工作箱1、工作台9、固定圆环6以及固定块12，工作箱1上端设置有工作台9，工作箱1内部左侧以及右侧均固定有两个电动伸缩杆2，左侧与右侧的两个电动伸缩杆2上之间固定有连接板，连接板上安装有电动旋转盘3，电动旋转盘3上设置有安装板4，安装板4上设置有两个连接臂5，固定圆环 6固定在四个连接臂5上，固定圆环6内固定有多个均匀设置的伸缩套筒一7，伸缩套筒一7内部滑动设置有连接推杆一10，连接推杆一10的下端置于伸缩套筒一7外侧，固定块12设置有四个，四个固定块12的上端均与连接推杆一10连接，每个固定块12上端表面以及下端表面各滑动设置有一个上挡板 13与下挡板14，伸缩套筒二8设置有多个，多个伸缩套筒二8固定在固定圆环6上，固定圆环6内部滑动设置有连接推杆二15，每个上挡板13与下挡板 14上均连接有两个连接推杆二15。
19.复位弹簧一11的上端固定在连接推杆一10上的活塞下端表面，复位弹簧一11的另一端固定在伸缩套筒一7底端，便于将固定板向上回缩。
20.复位弹簧二16的上端固定在连接推杆一10上的活塞下端表面，复位弹簧二16的另一端固定在伸缩套筒二8底端，便于将上挡板13以及下挡板14 向上回缩，提高工作效率。
21.t字型滑槽设置有四个，四个t字型滑槽分别开设在固定块12上端表面以及下端表面，t字型滑块设置有四个，且四个t字型滑块分别设置在上挡板 13与下挡板14上，便于将上挡板13以及下挡板14安装在固定板上，且对上挡板13以及下挡板14起到导向作用。
22.两个电动旋转盘3、两个安装板4、四个连接臂5以及一个固定圆环6构成一旋转角度为零到一百八十度的旋转机构，便于在对晶圆加工时，对晶圆进行翻转，提高加工效率。
23.工作台9是一种圆台，工作台9与固定圆环6同轴设置。
24.作为本实用新型的一个实施例：在实际使用时，在对晶圆进行固定时，首先对多个
伸缩套筒一7通气，使得多个固定块12同时向里移动，且使得四个固定块12所形成的圆环的内径略大于晶圆的外径，然后接通给下挡板14 上的伸缩套筒二8接通气体，多个下挡板14将会在气压的作用下沿着固定块 12推出，将晶圆放置在下挡板14上以及工作台9，然后继续向伸缩套筒一7 以及伸缩套筒二8通气，并使得固定块12对晶圆进行压紧固定，即可继续打磨作业，当一面打磨完成后，对上挡板13上的伸缩套筒二8接通气体，多个上挡板13将会在气压的作用下沿着固定块12推出，从而对整个晶圆的上端面进行固定，然后接通电动伸缩杆2的电源，电动伸缩杆2带动固定圆环6 向上移动且高度大于固定圆环6的外径，之后电动旋转盘3使得固定圆环6 翻转一百八十度后，电动伸缩杆2向下收缩回到原位，断块下挡板14的气流，下挡板14在复位弹簧的作用下回复原位，从而方便对晶圆的下端面进行打磨。
25.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。