一种晶圆加工固定装置的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆加工固定装置，包括工作箱(1)、工作台(9)、固定圆环(6)以及固定块(12)，其特征在于：所述工作箱(1)上端设置有工作台(9)，所述工作箱(1)内部左侧以及右侧均固定有两个电动伸缩杆(2)，左侧与右侧的两个所述电动伸缩杆(2)上之间固定有连接板，所述连接板上安装有电动旋转盘(3)，所述电动旋转盘(3)上设置有安装板(4)，所述安装板(4)上设置有两个连接臂(5)，所述固定圆环(6)固定在四个连接臂(5)上，所述固定圆环(6)内固定有多个均匀设置的伸缩套筒一(7)，所述伸缩套筒一(7)内部滑动设置有连接推杆一(10)，所述连接推杆一(10)的下端置于伸缩套筒一(7)外侧，所述固定块(12)设置有四个，四个所述固定块(12)的上端均与连接推杆一(10)连接，每个所述固定块(12)上端表面以及下端表面各滑动设置有一个上挡板(13)与下挡板(14)，伸缩套筒二(8)设置有多个，多个所述伸缩套筒二(8)固定在固定圆环(6)上，所述固定圆环(6)内部滑动设置有连接推杆二(15)，每个所述上挡板(13)与下挡板(14)上均连接有两个连接推杆二(15)。2.如权利要求1所述的一种晶圆加工固定装置，其特征在于：所述连接推杆一(10)上的活塞下端连接有复位弹簧一(11)，所述复位弹簧一(11)的另一端固定在伸缩套筒一(7)底端。3.如权利要求1所述的一种晶圆加工固定装置，其特征在于：所述连接推杆二(15)上的活塞下端连接有复位弹簧二(16)，所述复位弹簧二(16)的另一端固定在伸缩套筒二(8)底端。4.如权利要求1所述的一种晶圆加工固定装置，其特征在于：所述固定块(12)上端表面以及下端表面均开设有两个t字型滑槽，所述上挡板(13)与下挡板(14)均设置有两个t字型滑块。5.如权利要求1所述的一种晶圆加工固定装置，其特征在于：所述两个电动旋转盘(3)、两个安装板(4)、四个连接臂(5)以及一个固定圆环(6)构成一个旋转机构，该旋转机构的旋转角度为零到一百八十度。6.如权利要求1所述的一种晶圆加工固定装置，其特征在于：所述工作台(9)是一种圆台，所述工作台(9)与固定圆环(6)同轴设置。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆加工固定装置，包括工作箱、工作台、固定圆环以及固定块，所述工作箱上端设置有工作台，所述电动旋转盘上设置有安装板，所述安装板上设置有两个连接壁，所述固定圆环固定在四个连接臂上，所述固定圆环内固定有多个均匀设置的伸缩套筒一，所述伸缩套筒一内部滑动设置有连接推杆一，所述固定块设置有四个，四个所述固定块的上端均与连接推杆一连接，每个所述固定块上端表面以及下端表面各滑动设置有一个上挡板与下挡板；与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：能够快速的对晶圆进行固定，且固定效果好，能够对固定圆环进行翻转，从而便于对晶圆的双面进行加工，提高了加工效率。提高了加工效率。提高了加工效率。


技术研发人员：陈爱军 杨天生 俞斌
受保护的技术使用者：苏州芯汇晶成半导体科技有限公司
技术研发日：2021.08.18
技术公布日：2022/3/15