一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置的制作方法

1.本发明涉及废气处理技术领域，更具体为一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置。


背景技术：

2.半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。针对废气处理方面，半导体行业酸、碱废气一般采用相应的碱液吸收和酸液吸收进行处理，工艺方法已非常成熟，只要适当优化相关工艺参数，能够满足本标准的要求，需要关注的有机废气的处理。目前处理有机废气的工艺有吸附法、吸收法、直接燃烧法、催化燃烧法、冷凝法等，吸附法采用活性炭直接吸附，净化效果好，但是运营成本会很高；吸收法适合于温度低、中高浓度的废气；直接燃烧法适合于高浓度、小风量废气治理；冷凝法适用于成分相对单一、浓度高、且有一定回收价值的有机废气。对于半导体行业低浓度、大风量、成分复杂的有机废气，吸附法、吸收法、燃烧法、冷凝法均不适用，比较适用的是吸附——催化燃烧法。
3.目前，在现有的半导体废气处理设备中，大部分废气处理都需要自来水吸收、降温等，废气在于水雾接触时产生的生成物和颗粒等会堵塞在喷头周围，使管路堵塞，设备无法正常运行。为此，需要设计一个新的方案给予改进。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，解决了背景技术中所提出的问题，满足实际使用需求。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，包括：安装座和旋转水淋装置，所述安装座的末端固定有法兰盘，所述旋转水淋装置的末端安装有导水管且通过导水管与安装座连接，旋转水淋装置包括固定盖、十字旋转支架和固定座；
6.所述安装座的中部开设有固定孔，所述固定孔内设置有固定机构，所述安装座的内部且位于固定孔的四周设置有注油机构，所述导水管的末端贯穿固定孔且连接有固定件；
7.所述固定件呈管状且固定件的外壁和导水管的外壁上均设置有螺纹结构，所述固定件的内壁和固定孔的内壁末端分别设置有内螺纹，且固定件、固定孔和导水管之间通过螺纹连接。
8.作为本发明的一种优选实施方式，所述十字旋转支架包括旋转盘和固定在旋转盘外壁的导杆，所述导杆共设置有四个且呈环形分布，所述导杆的内部为中空结构且端部开设有出水口。
9.作为本发明的一种优选实施方式，所述固定盖的下端与固定座固定连接，所述旋转盘设置在固定座与固定盖之间且分别与固定座和固定盖转动连接，所述固定座的顶部设
置有自旋转管件，所述自旋转管件表面开设导水孔且导水孔与导杆内部连通。
10.作为本发明的一种优选实施方式，所述固定机构包括两个气囊，所述气囊呈环形结构且固定在固定孔的中段，所述气囊的一侧均设置有充气口，所述安装座的内部开设有与充气口连通的充气流道，所述充气流道末端延伸至法兰盘表面。
11.作为本发明的一种优选实施方式，所述安装座的上端面开设有收纳槽，所述收纳槽包括开设在安装座顶面中部的盘槽和开设在盘槽四周且呈环形分布的杆槽。
12.作为本发明的一种优选实施方式，所述注油机构包括注油嘴、注油器和导油孔，所述注油嘴共设置四个且安装在盘槽的表面靠近边缘处，所述导油孔开设在安装座内部且导油孔的末端延伸至法兰盘表面并形成开口，所述注油器安装在开口处。
13.作为本发明的一种优选实施方式，所述固定座的底面设置有四个与注油嘴对应的注油孔，所述注油孔的上端延伸至旋转盘与固定盖的连接处下端。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
15.(1)本发明，设计了一种依靠循环水自身压力作为动力，喷头控制方向，创新型的旋转水淋装置，本装置特点在于配置的十字型水淋支架，可以旋转喷雾，一直处于旋转的动态状态，没有了静态的水淋环境，废气生成物或颗粒不会凝结在一起，彻底的解决了管路堵塞的问题。
16.(2)本发明，旋转水淋装置固定在安装座上，安装座的内部设置固定机构和注油机构，固定机构可以快速的对旋转水淋装置进行固定和释放，方便安装和拆卸使用，可通过注油机构在每次使用后对旋转水淋装置内部注射润滑油，使十字型支架始终保持最佳旋转状态，同时还能起到一定的抗腐蚀作用。
附图说明
17.图1为本发明所述半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置的内部结构图；
18.图2为本发明所述安装座的俯视图；
19.图3为本发明所述旋转水淋装置的结构图；
20.图4为本发明所述旋转水淋装置内部结构图。
21.图中:1、安装座；2、法兰盘；3、导水管；4、导油孔；5、固定座；6、旋转盘；7、固定盖；8、导杆；9、收纳槽；10、注油嘴；11、气囊；12、注油器；13、固定件；14、固定孔；15、螺纹结构；16、杆槽；17、盘槽；18、自旋转管件；19、出水口。
具体实施方式
22.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
23.实施例一
24.请参阅图1-图4，本发明提供一种技术方案：一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，包括：安装座1和旋转水淋装置，安装座1的末端固定有法兰盘2，通过法兰盘2可以将装置与处理设备连接，安装方便，旋转水淋装置的末端安装有导水管3且通过导水管3
与安装座1连接，旋转水淋装置包括固定盖7、十字旋转支架和固定座5，十字旋转支架受到水压影响后可自旋转，并通过十字旋转支架四周的导杆8来将雾气喷出；
25.安装座1的中部开设有固定孔14，固定孔14内设置有固定机构，通过固定机构可以快速的对导水管3进行固定和释放，方便安装和拆卸，更便于使用完成后将旋转水淋装置收纳，安装座1的内部且位于固定孔14的四周设置有注油机构，注油机构将油液注入到旋转水淋装置内部，起到润滑的效果，导水管3的末端贯穿固定孔14且连接有固定件13，固定件13可以对导水管3进行加固；
26.固定件13呈管状且固定件13的外壁和导水管3的外壁上均设置有螺纹结构15，固定件13的内壁和固定孔14的内壁末端分别设置有内螺纹，且固定件13、固定孔14和导水管3之间通过螺纹连接，通过螺纹连接，方便对其进行安装和拆卸。
27.进一步改进地，如图3-图4所示：十字旋转支架包括旋转盘6和固定在旋转盘6外壁的导杆8，导杆8共设置有四个且呈环形分布，导杆8的内部为中空结构且端部开设有出水口19，通过导杆8来将水雾导出。
28.进一步改进地，如图4所示：固定盖7的下端与固定座5固定连接，旋转盘6设置在固定座5与固定盖7之间且分别与固定座5和固定盖7转动连接，固定座5的顶部设置有自旋转管件18，自旋转管件18表面开设导水孔且导水孔与导杆8内部连通，组旋转管件受到水压冲击后自动转动带动固定盖7和十字旋转支架转动。
29.进一步改进地，如图1所示：固定机构包括两个气囊11，气囊11呈环形结构且固定在固定孔14的中段，气囊11的一侧均设置有充气口，安装座1的内部开设有与充气口连通的充气流道，充气流道末端延伸至法兰盘2表面，气囊11充气后对导水管3进行挤压，从而对导水管3固定。
30.进一步改进地，如图2所示：安装座1的上端面开设有收纳槽9，收纳槽9包括开设在安装座1顶面中部的盘槽17和开设在盘槽17四周且呈环形分布的杆槽16，收纳槽9对旋转水淋装置进行收纳，导杆8收入到杆槽16内部，还能够对出水口19进行保护，避免杂质进入。
31.实施例二
32.进一步改进地，如图1所示：注油机构包括注油嘴10、注油器12和导油孔4，注油嘴10共设置四个且安装在盘槽17的表面靠近边缘处，导油孔4开设在安装座1内部且导油孔4的末端延伸至法兰盘2表面并形成开口，注油器12安装在开口处。固定座5的底面设置有四个与注油嘴10对应的注油孔，注油孔的上端延伸至旋转盘6与固定盖7的连接处下端，在旋转水淋装置正确的收入到收纳槽9内部时，注油嘴10嵌入到注油孔中，此时推动注油器12可对旋转水淋装置进行注油。
33.本发明在使用时，依靠循环水自身压力作为动力，喷头控制方向，创新型的旋转水淋装置，配置的十字型水淋支架，可以旋转喷雾，一直处于旋转的动态状态，没有了静态的水淋环境，废气生成物或颗粒不会凝结在一起，彻底的解决了管路堵塞的问题。旋转水淋装置固定在安装座1上，安装座1的内部设置固定机构和注油机构，固定机构可以快速的对旋转水淋装置进行固定和释放，方便安装和拆卸使用，可通过注油机构在每次使用后对旋转水淋装置内部注射润滑油，使十字型支架始终保持最佳旋转状态，同时还能起到一定的抗腐蚀作用。
34.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。