一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置的制作方法

技术特征：
1.一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，包括：安装座(1)和旋转水淋装置，所述安装座(1)的末端固定有法兰盘(2)，其特征在于：所述旋转水淋装置的末端安装有导水管(3)且通过导水管(3)与安装座(1)连接，旋转水淋装置包括固定盖(7)、十字旋转支架和固定座(5)；所述安装座(1)的中部开设有固定孔(14)，所述固定孔(14)内设置有固定机构，所述安装座(1)的内部且位于固定孔(14)的四周设置有注油机构，所述导水管(3)的末端贯穿固定孔(14)且连接有固定件(13)；所述固定件(13)呈管状且固定件(13)的外壁和导水管(3)的外壁上均设置有螺纹结构(15)，所述固定件(13)的内壁和固定孔(14)的内壁末端分别设置有内螺纹，且固定件(13)、固定孔(14)和导水管(3)之间通过螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，其特征在于：所述十字旋转支架包括旋转盘(6)和固定在旋转盘(6)外壁的导杆(8)，所述导杆(8)共设置有四个且呈环形分布，所述导杆(8)的内部为中空结构且端部开设有出水口(19)。3.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，其特征在于：所述固定盖(7)的下端与固定座(5)固定连接，所述旋转盘(6)设置在固定座(5)与固定盖(7)之间且分别与固定座(5)和固定盖(7)转动连接，所述固定座(5)的顶部设置有自旋转管件(18)，所述自旋转管件(18)表面开设导水孔且导水孔与导杆(8)内部连通。4.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，其特征在于：所述固定机构包括两个气囊(11)，所述气囊(11)呈环形结构且固定在固定孔(14)的中段，所述气囊(11)的一侧均设置有充气口，所述安装座(1)的内部开设有与充气口连通的充气流道，所述充气流道末端延伸至法兰盘(2)表面。5.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，其特征在于：所述安装座(1)的上端面开设有收纳槽(9)，所述收纳槽(9)包括开设在安装座(1)顶面中部的盘槽(17)和开设在盘槽(17)四周且呈环形分布的杆槽(16)。6.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，其特征在于：所述注油机构包括注油嘴(10)、注油器(12)和导油孔(4)，所述注油嘴(10)共设置四个且安装在盘槽(17)的表面靠近边缘处，所述导油孔(4)开设在安装座(1)内部且导油孔(4)的末端延伸至法兰盘(2)表面并形成开口，所述注油器(12)安装在开口处。7.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，其特征在于：所述固定座(5)的底面设置有四个与注油嘴(10)对应的注油孔，所述注油孔的上端延伸至旋转盘(6)与固定盖(7)的连接处下端。

技术总结
本发明公开了一种半导体废气处理设备自旋转喷雾处理装置，包括：安装座和旋转水淋装置，安装座的末端固定有法兰盘，旋转水淋装置的末端安装有导水管且通过导水管与安装座连接，旋转水淋装置包括固定盖、十字旋转支架和固定座。本发明设计了一种依靠循环水自身压力作为动力，喷头控制方向，创新型的旋转水淋装置，本装置特点在于配置的十字型水淋支架，可以旋转喷雾，一直处于旋转的动态状态，没有了静态的水淋环境，废气生成物或颗粒不会凝结在一起，彻底的解决了管路堵塞的问题。彻底的解决了管路堵塞的问题。彻底的解决了管路堵塞的问题。


技术研发人员：崔汉博 崔汉宽
受保护的技术使用者：上海高生集成电路设备有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/3/15