振荡电路以及传感器器件的制作方法

技术特征：
1.一种振荡电路，其特征在于，包括：驱动电路，振子输出信号从振子的一端输入所述驱动电路，所述驱动电路输出将所述振子输出信号反相后的驱动信号；以及限幅电路，设置于所述驱动电路的输出节点与所述振子的另一端之间，所述限幅电路向所述振子的所述另一端输出将所述驱动信号的振幅减小后的限幅驱动信号。2.根据权利要求1所述的振荡电路，其特征在于，所述振荡电路包括第一电容器，所述第一电容器设置于所述驱动电路的所述输出节点与第一节点之间，所述限幅电路与所述第一节点连接。3.根据权利要求2所述的振荡电路，其特征在于，所述限幅电路包括：第一二极管，设置于所述第一节点与偏置节点之间，并以从所述第一节点朝向所述偏置节点的方向为正向；以及第二二极管，设置于所述第一节点与所述偏置节点之间，并以从所述偏置节点朝向所述第一节点的方向为正向。4.根据权利要求2或3所述的振荡电路，其特征在于，所述振荡电路包括用于限制电流的第一电阻，所述第一电阻设置于所述驱动电路的所述输出节点与所述第一节点之间，并与所述第一电容器串联连接。5.根据权利要求2所述的振荡电路，其特征在于，所述振荡电路包括第二电阻，所述第二电阻设置于所述第一节点与所述振子的所述另一端之间。6.根据权利要求1所述的振荡电路，其特征在于，所述驱动电路包括：第一放大器电路，所述振子输出信号被输入所述第一放大器电路；第二放大器电路，所述第一放大器电路的输出信号被输入所述第二放大器电路；以及第一耦合电容器，设置于所述第一放大器电路的第一放大器输出节点与所述第二放大器电路的第二放大器输入节点之间。7.根据权利要求6所述的振荡电路，其特征在于，所述第一放大器电路包括：第一反相器；以及第一反馈电阻，设置于所述第一反相器的第一反相器输出节点与第一反相器输入节点之间，所述第二放大器电路包括：第二反相器；第二反馈电阻，设置于所述第二反相器的第二反相器输出节点与第二反相器输入节点之间；以及第一输入电阻，设置于所述第二放大器输入节点与所述第二反相器输入节点之间。8.根据权利要求7所述的振荡电路，其特征在于，所述驱动电路包括：第三放大器电路，所述第二放大器电路的输出信号被输入所述第三放大器电路；以及
第二耦合电容器，设置于所述第二放大器电路的第二放大器输出节点与所述第三放大器电路的第三放大器输入节点之间，所述第三放大器电路包括：第三反相器；第三反馈电阻，设置于所述第三反相器的第三反相器输出节点与第三反相器输入节点之间；以及第二输入电阻，设置于所述第三放大器输入节点与所述第三反相器输入节点之间。9.根据权利要求6所述的振荡电路，其特征在于，所述第一放大器电路和所述第二放大器电路中的至少一方包括：运算放大器；反馈电阻，设置于所述运算放大器的运算放大器输入节点与运算放大器输出节点之间；以及反馈电容器，设置于所述运算放大器输入节点与所述运算放大器输出节点之间。10.根据权利要求1所述的振荡电路，其特征在于，所述驱动电路的增益是可变的。11.根据权利要求1所述的振荡电路，其特征在于，所述振子是双音叉型水晶振子。12.一种传感器器件，其特征在于，包括：权利要求1至11中任一项所述的振荡电路；以及所述振子。13.根据权利要求12所述的传感器器件，其特征在于，所述传感器器件包括检测电路，所述检测电路基于所述振子的振荡频率的变化来检测物理量。

技术总结
本申请涉及振荡电路以及传感器器件。振荡电路包括驱动电路和限幅电路。驱动电路从振子的一端被输入振子输出信号，并输出将振子输出信号反相后的驱动信号。限幅电路设置于驱动电路的输出节点与振子的另一端之间，并向振子的另一端输出将驱动信号的振幅减小后的限幅驱动信号。动信号。动信号。


技术研发人员：渡边润
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：2021.09.08
技术公布日：2022/3/11