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显示面板的制作方法

2022-03-05 00:33:34 来源:中国专利 TAG:


1.本技术涉及显示领域,具体涉及一种显示面板。


背景技术:

2.近年来,有机发光二极管(organic light-emitting diode,oled)显示屏以其高对比度、广视角、可实现弯折等优势受到了广泛的关注和应用,尤其是其具有的弯折特性吸引了广大消费者的眼球,随着技术方面越来越成熟,柔性显示屏也逐渐出现在各个展台。
3.柔性显示屏在使用过程中需要卷起或者弯曲,甚至频繁弯折,随着弯折次数的不断增加,容易引起走线发生断裂等问题,使得走线电阻变大从而导致显示屏亮度降低,造成显示不良。


技术实现要素:

4.本技术实施例提供一种显示面板,可以解决柔性显示屏在卷起或者弯曲过程中走线与绝缘层等刚性结构发生断裂的技术问题。
5.本技术实施例提供一种显示面板,包括:
6.金属层;
7.弹性导电层,设于所述金属层的表面,所述弹性导电层的抗拉强度大于所述金属层的抗拉强度。
8.可选的,在本技术的一些实施例中,所述弹性导电层的抗拉强度为800牛/ 平方毫米~1500牛/平方毫米。
9.可选的,在本技术的一些实施例中,所述弹性导电层的材料为铍青铜或钛青铜。
10.可选的,在本技术的一些实施例中,所述金属层包括信号线,所述信号线的表面设有所述弹性导电层,所述弹性导电层对应所述信号线的部分沿所述信号线的延伸方向呈凹凸状。
11.可选的,在本技术的一些实施例中,所述显示面板还包括第一衬底、有源层、第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层;
12.所述金属层包括第一金属层和第二金属层;
13.所述有源层设于所述第一衬底上,所述第一绝缘层设于所述有源层上,所述第一金属层设于所述第一绝缘层上,所述第二绝缘层覆盖在所述有源层和所述第一金属层上,所述有源层设于所述第二绝缘层上,所述第三绝缘层覆盖在所述第二金属层和所述第二绝缘层上;
14.所述第一金属层的靠近所述第一绝缘层的一侧的表面、所述第一金属层的背离所述第一绝缘层的一侧的表面、所述第二金属层的靠近所述第二绝缘层的一侧的表面以及所述第二金属层的靠近所述第三绝缘层的一侧的表面中的至少一个表面设有所述弹性导电层。
15.可选的,在本技术的一些实施例中,所述显示面板还包括第一衬底、有源层、第一
绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层;
16.所述金属层包括第一金属层和第二金属层;
17.所述第四绝缘层设于所述第一衬底上,所述第一金属层设于所述第四绝缘层上,所述第一绝缘层覆盖在所述第一金属层上,所述有源层设于所述第一绝缘层上,所述第二绝缘层覆盖在所述有源层上,所述第二金属层设于所述第二绝缘层上,所述第三绝缘层覆盖在所述第二金属层上;
18.所述第一金属层的靠近所述第一绝缘层的一侧的表面、所述第一金属层的靠近所述第四绝缘层的一侧的表面、所述第二金属层的靠近所述第二绝缘层的一侧的表面以及所述第二金属层的靠近所述第三绝缘层的一侧的表面中的至少一个表面设有所述弹性导电层。
19.可选的,在本技术的一些实施例中,所述第一金属层包括栅极和栅线,所述栅极对应所述有源层设置,所述栅极与对应的所述栅线连接;
20.所述第二金属层包括源极、漏极和数据线,所述源极与对应的所述有源层的一端接触,所述漏极与对应的所述有源层的另一端接触,所述源极与对应的所述数据线连接。
21.可选的,在本技术的一些实施例中,所述栅线沿自身的延伸方向呈凹凸状;和/或,
22.所述数据线沿自身的延伸方向呈凹凸状。
23.可选的,在本技术的一些实施例中,所述金属层还包括设于所述第一衬底和所述有源层之间的第三金属层、设于所述第三金属层和所述有源层之间的第四绝缘层以及设于所述第三金属层和所述第一衬底之间的第五绝缘层。
24.可选的,在本技术的一些实施例中,所述金属层还包括设于所述第一衬底和所述第四绝缘层之间的第三金属层以及设于所述第一衬底和所述第三金属层之间的第五绝缘层。
25.可选的,在本技术的一些实施例中,所述第三金属层的靠近所述第四绝缘层的一侧的表面设有所述弹性导电层;和/或,
26.所述第三金属层的靠近所述第五绝缘层的一侧的表面设有所述弹性导电层。
27.可选的,在本技术的一些实施例中,所述第三金属层包括遮光块和时钟信号线,所述遮光块对应所述有源层设置,所述遮光块与所述时钟信号线连接。
28.可选的,在本技术的一些实施例中,所述第三金属层包括时钟信号线。
29.可选的,在本技术的一些实施例中,所述时钟信号线沿自身的延伸方向呈凹凸状。
30.可选的,在本技术的一些实施例中,所述显示面板还包括设于所述金属层的一侧的绝缘层以及设于所述金属层和所述绝缘层之间的弹性支撑层,所述弹性支撑层的弹性模量小于所述绝缘层的弹性模量。
31.可选的,在本技术的一些实施例中,所述弹性支撑层的弹性模量为1兆帕~80兆帕。
32.本技术实施例采用一种显示面板,通过在金属层的表面设置弹性导电层,弹性导电层的抗拉强度大于金属层的抗拉强度,显示面板在卷起或者弯曲过程中,弹性导电层可以对金属层起到保护和缓冲作用,有效避免应力集中而导致金属层断裂的情况发生。
附图说明
33.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
34.图1是本技术实施例提供的第一种显示面板的剖视结构示意图一;
35.图2是本技术实施例提供的第一种显示面板的剖视结构示意图二;
36.图3是本技术实施例提供的第一种显示面板的剖视结构示意图三;
37.图4是本技术实施例提供的第二种显示面板的剖视结构示意图一;
38.图5是本技术实施例提供的第二种显示面板的剖视结构示意图二;
39.图6是本技术实施例提供的第二种显示面板的剖视结构示意图三;
40.图7是本技术实施例提供的显示面板的制作方法的流程示意图。
具体实施方式
41.下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。此外,应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术,并不用于限制本技术。在本技术中,在未作相反说明的情况下,使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下,具体为附图中的图面方向;而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。
42.本技术实施例提供一种显示面板。以下分别进行详细说明。需说明的是,以下实施例的描述顺序不作为对实施例优选顺序的限定。
43.图1至图3所示的第一种显示面板为顶栅式显示面板,顶栅式显示面板指的是薄膜晶体管为顶栅式设计,其中,图1为第一种显示面板对应薄膜晶体管区域的剖视结构示意图,图2为第一种显示面板对应时钟信号线区域的剖视结构示意图,图3为第一种显示面板对应数据线区域的剖视结构示意图;图4至图6 所示的第二种显示面板为底栅式显示面板,底栅式显示面板指的是薄膜晶体管为底栅式设计,其中,图4为第二种显示面板对应薄膜晶体管区域的剖视结构示意图,图5为第二种显示面板对应时钟信号线区域的剖视结构示意图,图6 为第二种显示面板对应数据线区域的剖视结构示意图。
44.请参阅图1至图3,本技术实施例提供一种显示面板,包括金属层110以及设于金属层110的表面的弹性导电层160,弹性导电层160的抗拉强度大于金属层110的抗拉强度。在本实施例中,弹性导电层160可以设于金属层110的上表面或下表面,也可以同时设于上表面和下表面。
45.本技术实施例的显示面板中,通过在金属层110的表面设置弹性导电层160,弹性导电层160的抗拉强度大于金属层110的抗拉强度,显示面板在卷起或者弯曲过程中,弹性导电层160可以对金属层110起到保护和缓冲作用,有效避免应力集中而导致金属层110断裂的情况发生;此外,弹性导电层160的设置还可以减小显示面板的走线的电阻。
46.具体的,如图1至图6所示,显示面板还包括第一衬底141以及设于第一衬底141上
的有源层150,第一衬底141为柔性材料,具体可以但不限于为聚酰亚胺(polyimide,pi);有源层150的材料可以选自铟镓锌氧化物(indium gallium zincoxide,igzo)、铟镓锌钛氧化物(indium gallium zinc ti oxide,igzto)、铟锌氧化物(indium zinc oxide,izo)和锌钛氧化物(zinc ti oxide,zto)等金属氧化物材料中的一种或多种,有源层150的厚度为300埃~500埃。当然,根据实际情况的选择和具体需求,第一衬底141的材料、有源层150的材料和有源层150的厚度可以适当修改,在此不做唯一限定。
47.具体的,金属层110包括信号线140,信号线140的表面设有弹性导电层160,弹性导电层160对应信号线140的部分沿信号线140的延伸方向呈凹凸状,即信号线140的表面设有多个凸出部和多个凹陷部,凸出部和凹陷部沿信号线140 的延伸方向交替设置,从而形成凹凸状。此结构下,显示面板在卷起或者弯曲过程中,由于信号线140的表面设有凹陷部,使得信号线140可以更好地释放应力,避免应力集中而导致信号线140断裂。在此实施例中,凹陷部的截面形状可以但不限于为倒梯形、倒三角形或圆弧形。
48.具体的,如图1至图6所示,显示面板还包括绝缘层130,绝缘层130设于金属层110的一侧,绝缘层130可以防止非同层设置的金属层110之间短接。
49.可选的,显示面板为顶栅式显示面板。如图1至图3所示,金属层110包括第一金属层111和第二金属层112,绝缘层130包括第一绝缘层131、第二绝缘层 132和第三绝缘层133。具体来说,有源层150设于第一衬底141上,第一绝缘层131设于有源层150上,第一金属层111设于第一绝缘层131上,第二绝缘层132 覆盖在有源层150和第一金属层111上,有源层150设于第二绝缘层132上,第三绝缘层133覆盖在第二金属层112和第二绝缘层132上;第一金属层111的靠近第一绝缘层131的一侧的表面、第一金属层111的背离第一绝缘层131的一侧的表面、第二金属层112的靠近第二绝缘层132的一侧的表面以及第二金属层112的靠近第三绝缘层133的一侧的表面中的至少一个表面设有弹性导电层160。
50.可选的,显示面板的也可以为底栅式显示面板,底栅式的显示面板的薄膜晶体管具体包括蚀刻阻挡层(etch stoplayer,esl)型、背沟道蚀刻(backchannel etch,bce)型等多种类型。如图4至图6所示,金属层110包括第一金属层111和第二金属层112;绝缘层130包括第一绝缘层131、第二绝缘层132、第三绝缘层133和第四绝缘层134;第四绝缘层134设于第一衬底141上,第一金属层111设于第四绝缘层134上,第一绝缘层131覆盖在第一金属层111上,有源层150设于第一绝缘层131上,第二绝缘层132覆盖在有源层150上,第二金属层 112设于第二绝缘层132上,第三绝缘层133覆盖在第二金属层112上;第一金属层111的靠近第一绝缘层131的一侧的表面、第一金属层111的靠近第四绝缘层 134的一侧的表面、第二金属层112的靠近第二绝缘层132的一侧的表面以及第二金属层112的靠近第三绝缘层133的一侧的表面中的至少一个表面设有弹性导电层160。
51.具体的,第一金属层111包括栅极1111和栅线1112,栅线1112为第一金属层111的信号线140,栅极1111对应有源层150设置,栅极1111与对应的栅线1112 连接;第二金属层112包括源极1121、漏极1122和数据线1123,数据线1123为第二金属层112的信号线140,源极1121与对应的有源层150的一端接触,漏极 1122与对应的有源层150的另一端接触,源极1121与对应的数据线1123连接。本技术实施例中,多条栅线1112间隔排列,多条数据线1123间隔排列,栅线1112 沿第一方向延伸设置,数据线1123沿第二方向延伸设置,第一方向与第二方向相交,第一方向和第二方向具体可以但不限于为垂直设置,多条栅线1112和多条
数据线1123将显示面板划分为多个像素区;栅极1111、有源层150、源极1121 和漏极1122构成薄膜晶体管,每个像素区设有对应的薄膜晶体管,通过薄膜晶体管可以控制对应像素区的显示与否。
52.进一步的,如图3和图6所示,数据线1123沿自身的延伸方向呈凹凸状,即数据线1123的表面设有多个凸出部和多个凹陷部,凸出部和凹陷部沿数据线 1123的延伸方向交替设置,从而形成凹凸状。此结构下,显示面板在卷起或者弯曲过程中,由于数据线1123的表面设有凹陷部,使得数据线1123可以更好地释放应力,避免应力集中而导致数据线1123断裂。在此实施例中,凹陷部的截面形状可以但不限于为倒梯形、倒三角形或圆弧形。
53.进一步的,如图1、图3、图4和图6所示,栅线1112沿自身的延伸方向呈凹凸状,即栅线1112的表面设有多个凸出部和多个凹陷部,凸出部和凹陷部沿栅线1112的延伸方向交替设置,从而形成凹凸状。此结构下,显示面板在卷起或者弯曲过程中,由于栅线1112的表面设有凹陷部,使得栅线1112可以更好地释放应力,避免应力集中而导致栅线1112断裂。在此实施例中,凹陷部的截面形状可以但不限于为倒梯形、倒三角形或圆弧形。
54.具体的,如图1至图3所示,金属层110还包括设于第一衬底141和有源层150 之间的第三金属层113;绝缘层130还包括设于第三金属层113和有源层150之间的第四绝缘层134以及设于第三金属层113和第一衬底141之间的第五绝缘层 135。在此实施例中,第三金属层113可以用于遮光,避免有源层150受到光照而造成薄膜晶体管的阈值电压偏移。
55.可以理解的是,根据实际情况的选择和具体需求,第三金属层113的具体位置可以做适当调整,如图4至图6所示,金属层110还包括设于第一衬底141 和第四绝缘层134之间的第三金属层113,绝缘层130还包括设于第一衬底141 和第三金属层113之间的第五绝缘层135,其同样也能实现相同的技术效果。
56.本技术实施例的显示面板中,第三金属层113的靠近第四绝缘层134的一侧的表面和/或第三金属层113的靠近第五绝缘层135的一侧的表面设有弹性导电层160,即第三金属层113的上表面或下表面设有弹性导电层160,也可以是第三金属层113的上表面和下表面同时设有弹性导电层160。
57.具体的,弹性导电层160包括第一弹性导电层161和第二弹性导电层162,第一弹性导电层161设于第三金属层113的靠近第五绝缘层135的下表面,第二弹性导电层162设于第二金属层112的靠近第二绝缘层132的下表面。可以理解的是,根据实际情况的选择和具体需求,也可以在第三金属层113的上表面、第一金属层111的上表面、第一金属层111的下表面以及第二金属层112 的上表面设置弹性导电层160,在此不做唯一限定。
58.具体的,如图1至图3所示,第三金属层113包括遮光块1131和时钟信号线 1132,时钟信号线1132为第三金属层113的信号线140,遮光块1131对应有源层 150设置,遮光块1131与时钟信号线1132连接。此结构下,遮光块1131可以防止有源层150受到光照,避免有源层150受到光照而造成薄膜晶体管的阈值电压偏移;此外,通过将遮光块1131和时钟信号线1132同层设置,可以简化显示面板的制程,提高生产效率。在此实施例中,数据线1123可以与遮光块1131连接,时钟信号线1132通过遮光块1131将时钟信号传输至数据线1123。
59.具体的,如图4至图6所示,第三金属层113包括时钟信号线1132,时钟信号线1132为第三金属层113的信号线140,数据线1123与时钟信号线1132连接,使得时钟信号线1132能将时钟信号传输至数据线1123。
60.进一步的,如图1和图4所示,遮光块1131的表面呈凹凸状,即遮光块1131 的表面设有多个凸出部和多个凹陷部,凸出部和凹陷部沿时交替设置,从而形成凹凸状。此结构下,显示面板在卷起或者弯曲过程中,由于遮光块1131的表面设有凹陷部,使得遮光块1131可以更好地释放应力,避免应力集中而导致遮光块1131断裂。在此实施例中,凹陷部的截面形状可以但不限于为倒梯形、倒三角形或圆弧形。
61.进一步的,如图2和图5所示,时钟信号线1132沿自身的延伸方向呈凹凸状,即时钟信号线1132的表面设有多个凸出部和多个凹陷部,凸出部和凹陷部沿时钟信号线1132的延伸方向交替设置,从而形成凹凸状。此结构下,显示面板在卷起或者弯曲过程中,由于时钟信号线1132的表面设有凹陷部,使得时钟信号线1132可以更好地释放应力,避免应力集中而导致时钟信号线1132断裂。在此实施例中,凹陷部的截面形状可以但不限于为倒梯形、倒三角形或圆弧形。
62.具体的,为了保证弹性导电层160(第一弹性导电层161、第二弹性导电层 162)具有缓冲作用,同时避免弹性导电层160的弹性过大,将弹性导电层160的抗拉强度设置为800牛/平方毫米~1500牛/平方毫米。本技术实施例的显示面板中,弹性导电层160的抗拉强度设置为800牛/平方毫米、900牛/平方毫米、1000 牛/平方毫米、1100牛/平方毫米、1200牛/平方毫米、1300牛/平方毫米、1400 牛/平方毫米或1500牛/平方毫米,当然,根据实际情况的选择和具体需求,弹性导电层160的抗拉强度可以做适当调整,在此不做唯一限定。
63.具体的,弹性导电层160(第一弹性导电层161、第二弹性导电层162)由铍青铜、钛青铜等具有弹性的高导电材料制作而成,一方面,可以减小金属层110 的电阻,减小信号延迟;另一方面,可以弹性导电层160可以起到缓冲作用,从而防止金属层110在卷曲或者弯折过程中断裂。可以理解的是,弹性导电层 160也可以由其他导电材料制作而成,在此不做唯一限定。
64.具体的,若弹性导电层160的厚度过大,显示面板在弯曲或卷曲过程中,弹性导电层160的变形量过大,无法很好地起到支撑作用;若弹性导电层160 的厚度过薄,则无法很好地释放弯曲或卷曲应力。因此,将弹性导电层160(第一弹性导电层161、第二弹性导电层162)的厚度设置为1微米~5微米,可以很好地避免上述问题。
65.本技术实施例的显示面板中,弹性导电层160(第一弹性导电层161、第二弹性导电层162)的厚度可以为1微米、1.5微米、2微米、2.5微米、3微米、3.5 微米、4微米、4.5微米或5微米,当然,根据实际情况的选择和具体需求,弹性导电层160的厚度可以做适当调整,在此不做唯一限定。
66.具体的,显示面板还包括设于金属层110和绝缘层130之间的弹性支撑层 120,弹性支撑层120的弹性模量小于绝缘层130的弹性模量。显示面板可以包括多层金属层110、多层绝缘层130以及至少一层弹性支撑层120,每一层金属层110的相对两侧可以设置绝缘层130,至少在其中一层金属层110与对应的绝缘层130之间设置弹性支撑层120。
67.本技术实施例的显示面板中,通过在金属层110和绝缘层130之间设置弹性支撑层120,弹性支撑层120的弹性模量小于绝缘层130的弹性模量,即弹性支撑层120的弹性比绝缘层130的弹性好,显示面板在卷起或者弯曲过程中,弹性支撑层120可以对金属层110起到保护和缓冲作用,不会刮伤金属层110,有效避免金属层110断裂的情况发生。
68.可选的,如图1至图3所示,第一绝缘层131和第一金属层111之间、第一金属层111
和第二绝缘层132之间、第二绝缘层132和第二金属层112之间以及第二金属层112和第三绝缘层133之间的至少一处设有弹性支撑层120。
69.可选的,如图4至图6所示,第四绝缘层134和第一金属层111之间、第一金属层111和第一绝缘层131之间、第二绝缘层132和第二金属层112之间以及第二金属层112和第三绝缘层133之间中的至少一处设有弹性支撑层120,且弹性支撑层120的弹性模量小于对应的绝缘层130的弹性模量。
70.在本技术实施例中,弹性支撑层120包括第一弹性支撑层121,第二金属层 112和第三绝缘层133之间设有第一弹性支撑层121,即在第二金属层112的上方设置了第一弹性支撑层121,第一弹性支撑层121的弹性模量小于第三绝缘层 133的弹性模量。显示面板在卷起或者弯曲过程中,第一弹性支撑层121的弹性模量小于第二绝缘层132的弹性模量,第一弹性支撑层121可以对第二金属层 112起到保护和缓冲作用,防止第三绝缘层133刮伤第二金属层112,有效避免第二金属层112断裂的情况发生。可以理解的是,根据实际情况的选择和具体需求,也可以在第二金属层112的下方、第一金属层111的上方或者第一金属层 111的下方设置弹性支撑层120,在此不做唯一限定。
71.具体的,第三金属层113和第四绝缘层134之间设有弹性支撑层120;和/或者,第三金属层113和第五绝缘层135之间设有弹性支撑层120。通过在第三金属层113的上方和/或下方设置弹性支撑层120,即弹性支撑层120的弹性比对应的绝缘层130的弹性好,显示面板在卷起或者弯曲过程中,弹性支撑层120可以对第三金属层113起到保护和缓冲作用,不会刮伤第三金属层113,有效避免第三金属层113断裂而导致漏光的情况发生。
72.本技术实施例中,弹性支撑层120包括第二弹性支撑层122,第二弹性支撑层122设于第三金属层113和第四绝缘层134之间,即在第三金属层113的上方设置了第二弹性支撑层122,第二弹性支撑层122的弹性模量小于第四绝缘层134 的弹性模量。显示面板在卷起或者弯曲过程中,第二弹性支撑层122的弹性模量小于第四绝缘层134的弹性模量,第二弹性支撑层122可以对第三金属层113 起到保护和缓冲作用,防止第四绝缘层134刮伤第三金属层113,有效避免第三金属层113断裂的情况发生。可以理解的是,根据实际情况的选择和具体需求,也可以在第三金属层113的下方(即第三金属层113和第五绝缘层135之间)设置弹性支撑层120,在此不做唯一限定。
73.具体的,弹性支撑层120的弹性模量对保护和缓冲作用的影响很大,若弹性支撑层120的弹性模量太大,则弹性支撑层120容易刮伤金属层110;若弹性支撑层120的弹性模量过小,则会导致弹性支撑层120无法很好地起到支撑作用,会降低显示面板的可靠性。因此,将弹性支撑层120(第一弹性支撑层121、第二弹性支撑层122)的弹性模量设置为1兆帕~80兆帕,可以很好地避免上述问题。
74.本技术实施例的显示面板中,弹性支撑层120(第一弹性支撑层121、第二弹性支撑层122)的弹性模量可以为1兆帕、5兆帕、10兆帕、15兆帕、20兆帕、25兆帕、30兆帕、35兆帕、40兆帕、45兆帕、50兆帕、55兆帕、60兆帕、65 兆帕、70兆帕、75兆帕或者80兆帕,当然,根据实际情况的选择和具体需求,弹性支撑层120的弹性模量可以做适当调整,在此不做唯一限定。
75.具体的,若弹性支撑层120的厚度过大,显示面板在弯曲或卷曲过程中,弹性支撑层120的变形量过大,无法很好地起到支撑作用;若弹性支撑层120 的厚度过薄,则无法很
好地释放弯曲或卷曲应力。因此,将弹性支撑层120(第一弹性支撑层121、第二弹性支撑层122)的厚度设置为2微米~10微米,可以很好地避免上述问题。
76.本技术实施例的显示面板中,弹性支撑层120(第一弹性支撑层121、第二弹性支撑层122)的厚度可以为2微米、3微米、4微米、5微米、6微米、7微米、 8微米、9微米或10微米,当然,根据实际情况的选择和具体需求,弹性支撑层 120的厚度可以做适当调整,在此不做唯一限定。
77.具体的,第一金属层111和第二金属层112的材料可以选自铜、钼、钛、银以及氧化铟锡等中的一种或多种。可以理解的是,根据实际情况的选择和具体需求,第一金属层111和第二金属层112的材料可以做适当修改,在此不做唯一限定。
78.具体的,第三金属层113的材料选自铜、钼、钛、铝、银等中的一种或多种。可以理解的是,根据实际情况的选择和具体需求,第三金属层113的材料可以做适当修改,在此不做唯一限定。
79.具体的,弹性支撑层120(第一弹性支撑层121、第二弹性支撑层122)的材料为绝缘材料,具体选自聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,pdms)、聚酰亚胺(polyimide,pi)、聚烯烃弹性体(polyolefin elastomer,poe)以及乙烯-醋酸乙烯共聚物(ethylene-vinyl acetate copolymer,eva)中的一种或多种。可以理解的是,根据实际情况的选择和具体需求,弹性支撑层120的材料可以做适当修改,在此不做唯一限定。
80.具体的,第一绝缘层131和第二绝缘层132的材料可以选自氧化硅、氮化硅以及氧氮化硅中的一种或多种,当然,根据实际情况的选择和具体需求,第一绝缘层131和第二绝缘层132的材料可以做适当修改,在此不做唯一限定。
81.具体的,如图1至图6所示,显示面板还包括第一缓冲层143和第二衬底142,第二衬底142为柔性材料,具体可以但不限于为聚酰亚胺;其中,第一缓冲层 143设于第一衬底141上,第二衬底142设于第一缓冲层143上,第五绝缘层135 设于第二衬底142上。
82.具体的,显示面板还包括第二缓冲层144,如图1至图3所示,第二缓冲层 144设于第四绝缘层134和有源层150之间,第二绝缘层132覆盖在第二缓冲层 144上;如图4至图6所示,第二缓冲层144设于第四绝缘层134和第一金属层111 之间,第一绝缘层131覆盖在第二缓冲层144上。
83.具体的,第五绝缘层135、第一缓冲层143和第二缓冲层144的材料可以选自氧化硅、氮化硅、氧氮化硅以及非晶硅中的一种或多种,在此实施例中,第五绝缘层135主要作为缓冲结构层使用,以使得第三金属层113或弹性导电层 160附着在第五绝缘层135上。
84.具体的,显示面板还包括oled发光单元200,oled发光单元200包括第一电极210、像素定义层220、发光功能层230和第二电极240,第一电极210设于第三绝缘层133上,且第一电极210连接于漏极1122;像素定义层220设于第三绝缘层133和第一电极210上,像素定义层220设有像素开口221,像素开口221 裸露第一电极210;发光功能层230设于像素开口221内;第二电极240覆盖于发光功能层230和像素定义层220上。在此实施例中,第一电极210可以为阳极,第二电极240可以为阴极,阳极的材料可以选自氧化铟锡、银和氧化铟锌等导电材料中的一种或多种,阴极的材料可以选自镁和银等导电材料中的一种或多种。当然,根据实际情况的选择和具体需求,第一电极210也可以为阴极,第二电极240也可以为阳极,在此不做唯一限定。
85.具体的,发光功能层230包括由阳极至阴极的方向依次层叠的空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层和电子注入层。
86.请参阅图7,同时结合图1至图3,本技术实施例还提供一种用于制作上述显示面板的制作方法,包括以下步骤:
87.步骤b1、形成第一衬底141;
88.步骤b2、在第一衬底141上形成驱动电路层100,驱动电路层100包括金属层110、弹性支撑层120以及绝缘层130,绝缘层130设于金属层110的一侧,弹性支撑层120设于金属层110和绝缘层130之间,弹性支撑层120的弹性模量小于绝缘层130的弹性模量;
89.步骤b3、在驱动电路层100上形成oled发光单元200。
90.具体的,上述步骤b1的具体方式可以为:在玻璃基板300上通过化学气相沉积法形成牺牲层400,然后通过涂布的方式形成第一衬底141。在此实施例中,牺牲层400具体可以为非晶硅,当制作完显示面板后,可以通过对牺牲层400 进行曝光来使第一衬底141脱离玻璃基板300。
91.具体的,如图1至图3所示,制得的显示面板为顶栅式显示面板,金属层110 包括第三金属层113、第一金属层111和第二金属层112,绝缘层130包括第一绝缘层131、第二绝缘层132、第二绝缘层132、第三绝缘层133、第四绝缘层134 和第五绝缘层135,上述步骤b2可以包括:
92.步骤b21、通过化学气相沉积的方式在第一衬底141上形成第一缓冲层143,对第一缓冲层143进行高温退火;通过涂布的方式在第一缓冲层143上形成第二衬底142;通过化学气相沉积的方式在第二衬底142上形成第五绝缘层135;
93.步骤b22、通过物理气相沉积的方式在第五绝缘层135上形成第一弹性导电层161,通过物理气相沉积的方式在第一弹性导电层161上形成第三金属层113,采用光刻工艺在第三金属层113上形成光刻胶遮光图案,以光刻胶遮光图案为遮挡,采用过氧化氢蚀刻液对第一弹性导电层161和第三金属层113进行蚀刻,得到图案化后的第一弹性导电层161和第三金属层113;
94.步骤b23、通过涂布的方式在第三金属层113和第五绝缘层135上形成第二弹性支撑层122;通过涂布的方式在第二弹性支撑层122上形成第四绝缘层134;通过化学气相沉积的方式在第四绝缘层134上形成第二缓冲层144,对第二缓冲层144进行高温退火;
95.步骤b24、通过物理气相溅射的方式在第二缓冲层144上形成有源层150,采用光刻工艺在有源层150上形成光刻胶遮光图案,以光刻胶遮光图案为遮挡,采用草酸系蚀刻液对有源层150进行蚀刻,得到图案化后的有源层150;
96.步骤b25、通过化学气相沉积的方式在第二缓冲层144和有源层150上形成第一绝缘层131,通过物理气相沉积的方式在第一绝缘层131上形成第一金属层 111,采用光刻工艺在第一金属层111上形成光刻胶遮光图案,以光刻胶遮光图案为遮挡,对第一金属层111和第一绝缘层131进行蚀刻,得到图案化后的第一金属层111和第一绝缘层131;以图案化后的第一金属层111为遮挡,对有源层 150进行导体化处理;
97.步骤b26、通过化学气相沉积的方式在第一绝缘层131和第一金属层111上形成第二绝缘层132;
98.步骤b27、通过物理气相沉积的方式在第二绝缘层132上形成第二弹性导电层162,
通过物理气相沉积的方式在第二弹性导电层162上形成第二金属层 112,采用光刻工艺在第二金属层112上形成光刻胶遮光图案,以光刻胶遮光图案为遮挡,采用过氧化氢蚀刻液对第二弹性导电层162和第二金属层112进行蚀刻,得到图案化后的第二弹性导电层162和第二金属层112;
99.步骤b28、通过涂布的方式在第二金属层112和第二绝缘层132上形成第一弹性支撑层121;通过涂布的方式在第一弹性支撑层121上形成第三绝缘层133。
100.具体的,如图4至图6所示,制得的显示面板为底栅式显示面板,金属层110 包括第三金属层113、第一金属层111和第二金属层112,绝缘层130包括第一绝缘层131、第二绝缘层132、第二绝缘层132、第三绝缘层133、第四绝缘层134 和第五绝缘层135,上述步骤b2可以包括:
101.步骤b21’、通过化学气相沉积的方式在第一衬底141上形成第一缓冲层143,对第一缓冲层143进行高温退火;通过涂布的方式在第一缓冲层143上形成第二衬底142;通过化学气相沉积的方式在第二衬底142上形成第五绝缘层135;
102.步骤b22’、通过物理气相沉积的方式在第五绝缘层135上形成第一弹性导电层161,通过物理气相溅射的方式在第一弹性导电层161上形成第三金属层 113,采用光刻工艺在第三金属层113上形成光刻胶遮光图案,以光刻胶遮光图案为遮挡,采用过氧化氢蚀刻液对第一弹性导电层161和第三金属层113进行蚀刻,得到图案化后的第一弹性导电层161和第三金属层113;
103.步骤b23’、通过涂布的方式在第三金属层113和第五绝缘层135上形成第二弹性支撑层122;通过涂布的方式在第二弹性支撑层122上形成第四绝缘层134;通过化学气相沉积的方式在第四绝缘层134上形成第二缓冲层144,对第二缓冲层144进行高温退火;
104.步骤b24’、通过物理气相沉积的方式在第二缓冲层144上形成第一金属层 111,采用光刻工艺在第一金属层111上形成光刻胶遮光图案,以光刻胶遮光图案为遮挡,对第一金属层111进行蚀刻,得到图案化后的第一金属层111;通过化学气相沉积的方式在第二缓冲层144和第一金属层111上形成第一绝缘层131;
105.步骤b25’、通过物理气相溅射的方式在第一绝缘层131上形成有源层150,采用光刻工艺在有源层150上形成光刻胶遮光图案,以光刻胶遮光图案为遮挡,采用草酸系蚀刻液对有源层150进行蚀刻,得到图案化后的有源层150;对有源层150进行导体化处理;
106.步骤b26’、通过化学气相沉积的方式在第一绝缘层131和有源层150上形成第二绝缘层132;
107.步骤b27’、通过物理气相沉积的方式在第二绝缘层132上形成第二弹性导电层162,通过物理气相沉积的方式在第二弹性导电层162上形成第二金属层 112,采用光刻工艺在第二金属层112上形成光刻胶遮光图案,以光刻胶遮光图案为遮挡,采用过氧化氢蚀刻液对第二弹性导电层162和第二金属层112进行蚀刻,得到图案化后的第二弹性导电层162和第二金属层112;
108.步骤b28’、通过涂布的方式在第二金属层112和第二绝缘层132上形成第一弹性支撑层121;通过涂布的方式在第一弹性支撑层121上形成第三绝缘层133。
109.具体的,第三金属层113包括遮光块1131和时钟信号线1132,遮光块1131 的表面和时钟信号线1132沿自身的延伸方向均呈凹凸状。在上述步骤b21或步骤21’中,在形成第
一缓冲层143后,采用干法蚀刻的方式在第一缓冲层143上制作多个凹槽,凹槽的截面形状可以但不限于为倒梯形、倒三角形或圆弧形,使得后续形成的第一弹性导电层161和第三金属层113在对应凹槽的区域形成凹陷部,相邻两个凹陷部之间形成凸出部,凸出部和凹陷部沿时交替设置,从而使得遮光块1131的表面和时钟信号线1132沿自身的延伸方向均呈凹凸状。在此实施例中,后续制得的第四绝缘层134的上表面平坦,以便于后续制作其他结构层。
110.具体的,第二金属层112包括数据线1123,数据线1123沿自身的延伸方向呈凹凸状。在上述步骤b26或步骤26’中,在形成第二绝缘层132后,采用干法蚀刻的方式在第二绝缘层132上制作多个凹槽,例如采用含氟的氧化性气体对第二绝缘层132进行蚀刻以在第二绝缘层132上制作多个凹槽,凹槽的截面形状可以但不限于为倒梯形、倒三角形或圆弧形,使得后续形成的第二弹性导电层 162和第二金属层112在对应凹槽的区域形成凹陷部,相邻两个凹陷部之间形成凸出部,凸出部和凹陷部沿时交替设置,从而使得数据线1123沿自身的延伸方向呈凹凸状。在此实施例中,后续制得的第三绝缘层133的上表面平坦,以便于后续制作其他结构层。
111.具体的,oled发光单元200包括第一电极210、像素定义层220、发光功能层230和第二电极240,上述步骤b3具体包括:
112.步骤b31、采用蒸镀和/或物理气相沉积的方式在第三绝缘层133上形成第一电极210;
113.步骤b32、采用涂布的方式在第三绝缘层133和第一电极210上像素定义层 220,对像素定义层220进行图案化处理,从而在像素定义层220上设有像素开口221,像素开口221裸露第一电极210;
114.步骤b33、通过蒸镀或喷墨打印的方式在像素开口221内形成发光功能层230,发光功能层230由下至上包括空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层、电子注入层;
115.步骤b34、采用蒸镀的方式在像素定义层220和发光功能层230上形成第二电极240。
116.以上对本技术实施例所提供的一种显示面板进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想;同时,对于本领域的技术人员,依据本技术的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本技术的限制。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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