基板收纳容器的制作方法

1.本发明涉及在收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。


背景技术：

2.作为用于收纳由半导体晶片构成的基板并在工厂内的工序中搬运的基板收纳容器，以往已知有具备容器主体以及盖体的构成的基板收纳容器(例如参照专利文献1～专利文献3)。
3.容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳基板。盖体能够相对于开口周缘部拆装，并能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置于壁部。当未通过盖体封闭容器主体开口部时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承基板的边缘部。
4.在盖体的一部分且当封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前部保持构件。当通过盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能够支承基板的边缘部。另外，以与前部保持构件成对的方式在壁部设置有里侧基板支承部。里侧基板支承部能够支承基板的边缘部。当通过盖体封闭容器主体开口部时，里侧基板支承部通过与前部保持构件协同动作来支承基板，在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离的排列的状态下保持基板。
5.专利文献1：日本专利第6431440号公报
6.专利文献2：日本专利第6367153号公报
7.专利文献3：日本特表2018-527752号公报
8.在具有将基板收纳空间与基板收纳容器的外部连通的通气孔即吹扫孔的基板收纳容器中，在取下盖体的状态下，将清洁干燥空气(cda)、氮气(n2)用作吹扫气体，将从基板收纳容器的外部的装载口供给的该吹扫气体从容器主体的下表面(外表面)通过贯通孔向设置于基板收纳容器内表面的气体喷出喷嘴部供给。由此进行气体吹扫。此时，为了通过气体吹扫可靠地进行吹扫气体的置换，要求从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给吹扫气体。


技术实现要素：

9.本发明的目的在于提供一种在基板收纳空间中能够从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给气体的基板收纳容器。
10.本发明涉及一种基板收纳容器，其具备：容器主体，具备筒状的壁部，该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部，且另一端部被封闭的筒状的壁部，由利用所述壁部的内侧的面内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳
空间；盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，且能够封闭所述容器主体开口部；通气路，能够连通所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间；气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气路的气体向所述基板收纳空间供给的多个开口部；以及气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从所述多个开口部流出，所述气体流量均匀化部具有分支路，所述分支路形成在所述通气路与所述开口部之间，使来自所述通气路的气体的流动分支，所述分支路具有：分支开始部，使气体的流动分支为多个，并且使分支后的气体并列地平行流通；以及多个前端侧分支部，使在所述分支开始部中流通的气体分别进一步分支并向所述开口部流通。
11.另外，优选为，气体的流动方向上的所述分支开始部的上游端部从所述上游端部的入口开口朝上方向延伸。
12.另外，优选为，所述上游端部的入口开口位于从上下方向上的所述气体喷出喷嘴部的中央部的位置偏离的位置。
13.另外，优选为，在所述分支开始部分支并与一个所述前端侧分支部连接的所述分支开始部的气体的流路的流路长度为在所述分支开始部分支并与另一个所述前端侧分支部连接的所述分支开始部的气体的流路的流路长度的2倍以上。
14.根据本发明，能够提供一种在基板收纳空间中能够从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给气体的基板收纳容器。
附图说明
15.图1是表示在本发明的实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板w的情况的分解立体图。
16.图2是表示本发明的实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的上方立体图。
17.图3是表示本发明的实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的下方立体图。
18.图4是表示本发明的实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的侧方剖视图。
19.图5是表示本发明的实施方式的基板收纳容器1的突出部8的突出部主体部81的立体图。
20.图6是表示本发明的实施方式的基板收纳容器1的突出部8的突出部主体部81的主视图。
21.附图标记说明：
22.1：基板收纳容器；2：容器主体；3：盖体；8：突出部(气体喷出喷嘴部)；20：壁部；21：容器主体开口部；27：基板收纳空间；28：开口周缘部；210：通气路；802：开口部；8011：分支开始部(气体流量均匀化部、分支路)；8012：入口开口；8015：前端侧分支部(气体流量均匀化部、分支路)；w：基板。
具体实施方式
23.以下，参照附图对本实施方式的基板收纳容器1进行说明。
24.图1是表示在基板收纳容器1中收纳有多个基板w的情况的分解立体图。图2是表示基板收纳容器1的容器主体2的上方立体图。图3是表示基板收纳容器1的容器主体2的下方立体图。图4是表示基板收纳容器1的容器主体2的侧方剖视图。
25.在此，为了说明的方便，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图1中的从右上朝向左下的方向)定义为前方向d11，将其相反的方向定义为后方向d12，将它们合并起来定义为前后方向d1。另外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的上方向)定义为上方向d21，将其相反的方向定义为下方向d22，将它们合并起来定义为上下方向d2。另外，将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(图1中的从右下朝向左上的方向)定义为左方向d31，将其相反的方向定义为右方向d32，将它们合并起来定义为左右方向d3。在主要的附图中图示了表示这些方向的箭头。
26.另外，收纳在基板收纳容器1中的基板w(参照图1)是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等，是在工业上使用的薄的基板。本实施方式的基板w是直径300mm的硅晶片。
27.如图1所示，基板收纳容器1收纳由上述的硅晶片构成的基板w，用作在工厂内的工序中进行搬运的工序内容器，或者用作用于通过陆运方式、空运方式、海运方式等输送方式输送基板的发货容器，基板收纳容器1包括容器主体2以及盖体3。容器主体2具备作为侧方基板支承部的基板支承板状部5以及里侧基板支承部6(参照图2等)，盖体3具备作为盖体侧基板支承部的未图示的前部保持构件。
28.容器主体2具有在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围而形成。在壁部20的一部分且形成基板收纳空间27的部分配置有基板支承板状部5。如图1所示，能够在基板收纳空间27中收纳多个基板w。
29.基板支承板状部5在基板收纳空间27内成对地设置于壁部20。当未通过盖体3封闭容器主体开口部21时，基板支承板状部5与多个基板w的边缘部抵接，由此，能够在使相邻的基板w彼此以规定的间隔分离并排列的状态下，支承多个基板w的边缘部。在基板支承板状部5的后侧，与基板支承板状部5一体成形地设置有里侧基板支承部6。
30.里侧基板支承部6(参照图2等)在基板收纳空间27内与后述的未图示的前部保持构件成对地设置于壁部20。当通过盖体3封闭容器主体开口部21时，里侧基板支承部6与多个基板w的边缘部抵接，由此，能够支承多个基板w的边缘部的后部。
31.盖体3能够相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28(图1等)拆装，并能够封闭容器主体开口部21。未图示的前部保持构件设置于盖体3的一部分且是当通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置的部分。前部保持构件在基板收纳空间27的内部与里侧基板支承部6成对地配置。
32.当通过盖体3封闭容器主体开口部21时，前部保持构件与多个基板w的边缘部抵接，由此能够支承多个基板w的边缘部的前部。当通过盖体3封闭容器主体开口部21时，前部保持构件与里侧基板支承部6协同动作来支承多个基板w，由此，在使相邻的基板w彼此以规定的间隔分离并排列的状态下进行保持。
33.基板收纳容器1由塑料材料等树脂构成，在无特别说明的情况下，作为该材料的树脂，例如可举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物这样的热塑性树脂或它们的合金等。在对这些材料的树脂赋予导电性的情况下，选择性地添加碳纤维、碳粉、碳纳米管、导电性聚合物等导电性物质。此外，为了提高刚性也可以添加玻璃纤维或碳纤维等。
34.以下，对各部分进行详细说明。
35.图5是表示基板收纳容器1的突出部8的突出部主体部81的立体图。图6是表示基板收纳容器1的突出部8的突出部主体部81的主视图。
36.如图1所示，容器主体2的壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25以及第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25以及第二侧壁26由上述材料构成，并构成为一体成形。
37.第一侧壁25与第二侧壁26对置，上壁23与下壁24对置。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端以及第二侧壁26的后端全部与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端以及第二侧壁26的前端构成开口周缘部28，所述开口周缘部28形成呈大致长方形的容器主体开口部21。
38.开口周缘部28设置于容器主体2的一端部，后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱形。壁部20的内表面、即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面以及第二侧壁26的内表面形成由它们包围的基板收纳空间27。形成于开口周缘部28的容器主体开口部21与由壁部20包围且形成在容器主体2的内部的基板收纳空间27连通。在基板收纳空间27中最多能够收纳25片基板w。
39.如图1所示，在上壁2和下壁24的部分且是开口周缘部28附近的部分形成有朝向基板收纳空间27的外侧凹陷的闩锁卡合凹部231a、231b、241a、241b。闩锁卡合凹部231a、231b、241a、241b在上壁23以及下壁24的左右两端部附近各形成有一个，共计形成有四个。
40.如图1所示，在上壁23的外表面，与上壁23一体成形地设置有肋235。肋235提高容器主体2的刚性。另外，在上壁23的中央部固定有顶部凸缘236。顶部凸缘236是在amhs(自动晶片输送系统)、pgv(晶片基板输送台车)等中悬吊基板收纳容器1时成为在基板收纳容器1中被勾挂而悬吊的部分的部件。
41.如图3所示，在下壁24固定有底板244。底板244具有与构成下壁24的外表面的下表面的大致整个面对置配置的大致长方形的板状，固定于下壁24。
42.如图3所示，在下壁24的四角形成有两个种类的贯通孔亦即供气孔242以及排气孔243。在本实施方式中，下壁24的前部的两处贯通孔是用于将容器主体2内部的气体排出的排气孔243，后部的两处贯通孔是用于向容器主体2的内部供给气体的供气孔242。
43.在作为供气孔242的贯通孔中配置有作为附加部件的供气用过滤部80，在作为排气孔243的贯通孔中配置有排气用过滤部90。即，供气用过滤部80以及排气用过滤部90的内部的气体的流路构成能够将基板收纳空间27与容器主体2的外部的空间连通的通气路210(参照图6)的一部分。另外，供气用过滤部80以及排气用过滤部90配置于壁部20，在供气用过滤部80以及排气用过滤部90中，气体能够通过容器主体2的外部的空间与基板收纳空间27之间。供气用过滤部80构成为与气体喷出喷嘴部8的内部空间连通，通过气体喷出喷嘴部8的内部空间供给到供气用过滤部80的作为气体的吹扫气体向基板收纳空间27供给。
44.如图2等所示，基板支承板状部5分别设置于第一侧壁25以及第二侧壁26，在左右方向d3上成对地在基板收纳空间27内设置于容器主体2。具体而言，如图4等所示，基板支承板状部5具有板部51。
45.板部51具有板状的大致弧形形状。板部51在第一侧壁25、第二侧壁26上在上下方向d2上分别各设置25片，共计设置50片。相邻的板部51以在上下方向d2上以10mm～12mm间
隔彼此分离且平行的位置关系配置。
46.另外，设置于第一侧壁25的25片板部51与设置于第二侧壁26的25片板部51具有在左右方向d3上相互对置的位置关系。在板部51的上表面设置有凸部511、512。支承于板部51的基板w仅与凸部511、512的突出端接触，而不与板部51面接触。
47.如此构成的基板支承板状部5能够在将多个基板w中相邻的基板w彼此以规定的间隔分离的状态且形成为相互平行的位置关系的状态下，支承多个基板w的边缘部。
48.如图4所示，里侧基板支承部6具有里侧端缘支承部60。里侧端缘支承部60在基板支承板状部5的板部51的后端部与容器主体2一体成形地构成。
49.里侧端缘支承部60设置有与基板收纳空间27中能够收纳的基板w的每一片基板w对应的个数，具体而言设置有25片。配置于第一侧壁25以及第二侧壁26的里侧端缘支承部60在前后方向d1上具有与后述的前部保持构件成对的位置关系。通过将基板w收纳在基板收纳空间27内并关闭盖体3，里侧端缘支承部60夹持并支承基板w的边缘部的端缘。
50.如图2等所示，后壁22具有作为气体喷出喷嘴部的突出部8。突出部8具有：图5、图6所示的突出部主体部81；以及突出部盖部，覆盖图6所示的突出部主体部的整个面，固定于突出部主体部。如图2所示，这样的突出部8以两个成对，朝向容器主体开口部21肋状地突出，并平行地从后壁22的上端部延伸到下端部。即，突出部8具有中空的柱状。突出部8具有：多个开口部802，将流入能够将基板收纳空间27与容器主体2的外部的空间连通的通气路210的气体向基板收纳空间27供给；以及气体流量均匀化部，能够从多个开口部802以均匀化后的流量流出气体。
51.具体而言，气体流量均匀化部具有：通气路210，能够将基板收纳空间27与容器主体2的外部的空间连通；以及分支路801，形成在通气路210与开口部802之间，使来自该通气路210的气体的流动分支。
52.分支路801具有：分支开始部8011，使气体的流动分支为多个，并且使分支后的气体平行地流通；以及多个前端侧分支部8015，使在分支开始部中流通的气体分别进一步分支并向开口部流通。
53.具体而言，如图6所示，分支开始部8011具有在从能够将基板收纳空间27与容器主体2的外部的空间连通的通气路210向上方向d21延伸的垂直方向延伸部213的上端部分支并向上方向d21平行地延伸的两条流路。流入垂直方向延伸部213的气体流动的方向上的分支开始部8011的上游端部(分支开始部8011的下端部)从该上游端部的入口开口8012向上方向延伸。
54.分支开始部8011的下端部在上下方向d2上位于比从突出部8的下端开始朝向上方向d21的、上下方向d2上的突出部8的长度的三分之一左右的位置稍靠下侧的位置。从该分支开始部8011的下端部开始到在上下方向d2上比从突出部8的下端开始朝向上方向d21的上下方向d2上的突出部8的长度的二分之一左右的位置稍靠下侧的位置为止，平行地延伸有两条流路。因此，流入垂直方向延伸部213的气体流动的方向上的分支开始部8011的上游端部(分支开始部8011的下端部)的入口开口8012位于从上下方向d2上的突出部8的中央部的位置偏离的位置。
55.分支开始部8011的两条流路中的开口部802侧(图6中的左侧)的一条流路向下方向d22弯折，向下方向d22延伸到比分支开始部8011的下端部稍靠下侧的位置，向开口部802
的方向弯折并延伸到开口部的附近。为了便于说明，将该流路设为“下侧的流路8011-2”。
56.另外，分支开始部8011的两条流路中的远离开口部802侧(图6中的右侧)的一条流路直接向上方向d21延伸，在上下方向d2上在比从突出部8的上端开始朝向下方向d22的上下方向d2上的突出部8的长度的五分之一左右的位置靠下侧的位置处向开口部802的方向弯折，并延伸到开口部的附近。为了便于说明，将该流路设为“上侧的流路8011-1”。
57.优选在分支开始部8011分支的上侧的流路8011-1的流路长度为在分支开始部分支的下侧的流路8011-2的流路长度的2倍以上，在本实施方式中约为2倍。这是因为，通过设为2倍以上，能够抑制气体大量地流入上侧的流路8011-1并从突出部8的上侧的开口部802流出，但是如果小于2倍，则难以得到该效果。
58.并且，下侧的流路8011-2向上方向d21、下方向d22分支并延伸，从中途分别以远离开口部802的方式延伸，再次向上方向d21、下方向d22延伸，进而分别向开口部802的方向延伸。然后，该流路进一步分别向上方向d21、下方向d22分支并延伸，从中途分别以远离开口部802的方式延伸，再次向上方向d21、下方向d22延伸，进而分别向开口部802的方向延伸，与开口部前室803连接，在所述开口部前室803形成有由在上下方向上以等间隔地形成的25个狭缝构成的开口部802。
59.另外，上侧的流路8011-1向上方向d21、下方向d22分支并延伸，从中途以分别远离开口部802的方式延伸，再次向上方向d21、下方向d22延伸，进而分别向开口部802的方向延伸。然后，该流路进一步分别向上方向d21、下方向d22分支并延伸，从中途以分别远离开口部802的方式延伸，再次向上方向d21、下方向d22延伸，进而向开口部802的方向延伸，并与开口部前室803连接，在所述开口部前室803形成有由在上下方向上以等间隔形成的25个狭缝构成的开口部802。
60.另外，突出部8具有清洗液流入阻碍部。清洗液流入阻碍部由倾斜檐815构成，倾斜檐815在开口部802的附近、更具体地说在开口部802的上侧以及下侧，分别随着趋向前方向d11而向下方向d22倾斜。倾斜檐815相互平行地以开口部802的上下方向d2上的宽度的2～3倍左右的长度延伸。之所以设为2～3倍左右是因为，如果比2倍短则几乎得不到阻碍清洗液流入开口部802的效果。另外，之所以设为2～3倍左右是因为，即使比3倍长，阻碍清洗液流入开口部802的效果也与3倍的情况基本相同。当清洗容器主体2时，倾斜檐815在开口部802的附近阻止清洗液从开口部802流入通气路210侧。另外，倾斜檐815构成使气体从开口部802向下方向d22流出的下方流出部。
61.如图1所示，盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大致一致的大致长方形状。盖体3能够相对于容器主体2的开口周缘部28拆装，通过将盖体3安装于开口周缘部28，盖体3能够以被开口周缘部28包围的位置关系封闭容器主体开口部21。
62.在盖体3的内表面(图1所示的盖体3的背侧的面)且是与盖体3封闭容器主体开口部21时在紧随开口周缘部28的后方向d12的位置处形成的台阶部分的面(密封面281)对置的面，以围绕盖体3的外周缘部一周的方式安装有环状的密封构件4。密封构件4以围绕盖体3一周的方式配置。密封构件4是能够弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体、氟橡胶制、硅橡胶制等构件。
63.在盖体3安装于开口周缘部28时，密封构件4被容器主体2的密封面281(参照图1)与盖体3的内表面夹持而弹性变形。即，通过将密封构件4夹设在盖体3与容器主体2之间，盖
体3能够在盖体3与开口周缘部28相互不抵接而分离的状态下封闭容器主体开口部21。通过将盖体3从开口周缘部28取下，能够相对于容器主体2内的基板收纳空间27取出或放入基板w。
64.在盖体3设置有闩锁机构。闩锁机构设置于盖体3的左右两端部附近，如图1所示，具备：能够从盖体3的上边朝上方向突出的两个上侧闩锁部32a、32a；以及能够从盖体3的下边朝下方向突出的两个下侧闩锁部32b、32b。两个上侧闩锁部32a、32a配置在盖体3的上边的左右两端附近，两个下侧闩锁部32b、32b配置在盖体3的下边的左右两端附近。
65.在盖体3的外表面设置有操作部33。通过从盖体3的前侧操作操作部33，能够使上侧闩锁部32a、32a、下侧闩锁部32b、32b从盖体3的上边、下边突出，另外，能够使之形成为不从上边、下边突出的状态。通过上侧闩锁部32a、32a从盖体3的上边朝上方向突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部231a、231b卡合，且下侧闩锁部32b、32b从盖体3的下边朝下方向突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部241a、241b卡合，将盖体3固定于容器主体2的开口周缘部28。
66.在盖体3的内侧(图1中的盖体3的后方向d12侧)形成有朝收纳空间27的外侧(前方向d11)凹陷的凹部(未图示)。在凹部(未图示)以及凹部的外侧的盖体3的部分固定设置有前部保持构件(未图示)。
67.前部保持构件(未图示)具有前部保持构件基板承接部(未图示)。前部保持构件基板承接部(未图示)在左右方向上以规定的间隔分离并成对地各配置两个。这样成对地各配置两个的前部保持构件基板承接部以在上下方向上排列有25对的状态设置。通过将基板w收纳在收纳空间27内并关闭盖体3，前部保持构件基板承接部夹持并支承基板w的边缘部的端缘。
68.根据上述构成的本实施方式的基板收纳容器1，能够得到以下这样的效果。
69.如上所述，基板收纳容器1具备能够使气体以均匀化后的流量从多个开口部802流出的气体流量均匀化部，气体流量均匀化部具有分支路801，该分支路801形成在通气路210与开口部802之间，使来自通气路210的气体的流动分支，分支路801具有：分支开始部8011，使气体的流动分支为多个，并且使分支后的气体平行地流通；以及多个前端侧分支部8015，使在分支开始部8011中流通的气体分别进一步分支并向开口部802流通。
70.通过上述构成，能够在基板收纳空间27中从作为气体喷出喷嘴部的突出部8的多个开口部802均匀地供给作为气体的吹扫气体，能够提高基板收纳容器1内的气体置换效率。另外，相对于所收纳的基板w的上下的收纳位置，能够将吹扫气体均匀地从容器主体2的后侧向前方向d11挤出容器主体2内的空气，由此能够用吹扫气体完美地包裹基板w的整个面。另外，即使向基板收纳空间27供给大容量的吹扫气体，也能够使吹扫气体均匀地流动而不论基板收纳空间27的上下的位置，因此能够在短时间内进行气体吹扫。因此能够减少吹扫气体的使用量。另外，能够减少门侧的向下流动的气流的卷入。
71.另外，作为气体的吹扫气体的流动方向上的分支开始部8011的上游端部从该上游端部的入口开口8012向上方向延伸。通过该构成，对于在入口开口8012开口的多个流路，能够使从下侧向上方向d21流过来的吹扫气体直流流向上方向d21并均匀地流入多个流路各自的开口。
72.另外，分支开始部8011的上游端部的入口开口8012位于从上下方向d2上的作为气
体喷出喷嘴部的突出部8的中央部的位置偏离的位置。通过该构成，能够提高分支开始部8011的设计自由度。
73.另外，在分支开始部8011分支的上侧的流路8011-1的流路长度为在分支开始部8011分支的下侧的流路8011-2的流路长度的2倍以上。通过该构成，能够抑制吹扫气体大量地流入上侧的流路8011-1，能够使流入上侧的流路8011-1与下侧的流路8011-2的吹扫气体的量均匀。
74.本发明并不限定于上述的实施方式，能够在权利要求所记载的技术范围内进行变形。
75.例如，容器主体以及盖体的形状、气体喷出喷嘴部的构成、容器主体中能够收纳的基板的个数、尺寸并不限定于本实施方式的容器主体2以及盖体3的形状、突出部8的构成、容器主体2中能够收纳的基板w的个数、尺寸。另外，本实施方式的基板w为直径300mm的硅晶片，但是并不限定于该值。
76.另外，在本实施方式中，里侧基板支承部在基板支承板状部5的板部51的后端部具有与容器主体2一体成形而构成的里侧端缘支承部60，但是并不限定于该构成。例如，里侧基板支承部也可以不与容器主体一体成形地构成，而是分体构成。
77.另外，在本实施方式中，下壁24的前部的两处贯通孔是用于排出容器主体2的内部的气体的排气孔243，后部的两处贯通孔是用于向容器主体2的内部供给气体的供气孔242，但是并不限定于该构成。例如，也可以将下壁的前部的两处贯通孔中的至少一个设为用于向容器主体的内部供给气体的供气孔。