一种挡水装置及供液系统的制作方法

1.本技术涉及硅片抛光技术领域，尤其涉及一种挡水装置及供液系统。


背景技术：

2.在抛光工序，机台加工过程中需要供液系统提供稳定流量的抛光液来满足工艺加工要求。稳定的供液系统是抛光工序的基础。
3.机台当站供液系统的液位控制一般是靠液位传感器来实现，供液系统内通常设有最高液位传感器，供液系统正常工作时，液位不会达到最高液位传感器的位置；而如果最高液位传感器感应到液体时，供液系统会判断补液出现异常，系统停止工作，影响到抛光设备的正常生产。
4.供液系统工作时，箱体内顶部会产生一些冷凝水，当冷凝水滑落在最高液位传感器的感应位置时，会触发最高液位传感器信号，供液系统会判断补液出现异常，致使供液系统停止工作，影响到抛光设备的正常生产。这种情况属于系统偶发性误报警，需要改进结构避免此类报警。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本技术实施例提供一种挡水装置及供液系统，至少部分解决现有技术中存在的问题。
6.第一方面，本技术实施例提供一种挡水装置，设置在供液箱体内的液位传感器感应位的上方，所述挡水装置包括挡水块和气体输送组件，所述挡水块包括底壁和与所述底壁相连接的两个侧壁，所述气体输送组件设置在所述挡水块的至少一个所述侧壁上；所述挡水块无底壁的一侧朝下的设置于所述液位传感器感应位上方，所述气体输送组件朝向所述液位传感器感应位并输出气体对所述液位传感器感应位进行风干。
7.根据本技术实施例的一种具体实现方式，所述气体输送组件包括气体输入管路、气体输出管路和转换件，所述气体输入管路通过所述转换件与所述气体输出管路相连接；
8.所述气体输出管路贯穿所述挡水块的一个侧壁，所述气体输出管路位于所述挡水块的侧壁内侧的一端朝向所述液位传感器感应位，所述气体输出管路位于所述挡水块的侧壁外侧的一端与所述转换件连接；
9.所述气体输入管路的一端与所述转换件连接，另一端与外部供应气体的管路连接。
10.根据本技术实施例的一种具体实现方式，所述气体输出管路位于所述挡水块侧壁外侧的一端通过锁紧螺母进行固定。
11.根据本技术实施例的一种具体实现方式，所述转换件为快插接头，所述快插接头的一端连接所述气体输入管路，另一端连接气体输出管路。
12.根据本技术实施例的一种具体实现方式，所述气体输送组件分别设置在所述挡水块的两个所述侧壁上，且所述气体输送组件相对设置。
13.根据本技术实施例的一种具体实现方式，所述挡水块为u型挡水块或弧形挡水块，所述u型挡水块和弧形挡水块均包括底壁和与所述底壁相连接的两个侧壁。
14.第二方面、本技术实施例提供一种供液系统，所述供液系统包括供液箱体、液位传感器和如前述第一方面任一实施例所述的挡水装置，所述挡水装置包括挡水块和气体输送组件，所述液位传感器与所述挡水块设置于所述供液箱体的同一侧壁上，所述液位传感器固定连接于所述供液箱体侧壁外侧，所述供液箱体侧壁内侧设有与所述液位传感器相对应的液位传感器感应位，所述挡水块设置于所述液位传感器感应位的上方并固定连接在所述供液箱体侧壁内侧。
15.根据本技术实施例的一种具体实现方式，所述液位传感器包括最高液位传感器、高液位传感器、低液位传感器和最低液位传感器，所述最高液位传感器、高液位传感器、低液位传感器和最低液位传感器在所述供液箱体侧壁外侧从上到下依次设置，所述供液箱体侧壁内侧设有与各个所述液位传感器相对应的液位传感器感应位。
16.根据本技术实施例的一种具体实现方式，所述挡水块无底壁的一侧朝下的设置于所述供液箱体侧壁内侧的所述最高液位传感器感应位的上方。
17.根据本技术实施例的一种具体实现方式，所述液位传感器通过传感器固定架固定于所述供液箱体侧壁外侧。
18.有益效果
19.本技术实施例中的一种挡水装置及供液系统，挡水装置包括挡水块和设置在挡水块上的气体输送组件，通过设置挡水块，可将供液系统的箱体内形成的冷凝水挡在液位传感器感应位外侧，避免触发液位传感器导致误报警；配合气体输送组件可对液位传感器感应位起到局部风干的效果，不会凝结冷凝水，可进一步避免冷凝水引起的误报警现象，保证供液系统的正常工作，进而保证抛光设备的正常生产，提高生产效率。
附图说明
20.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
21.图1为现有技术的供液系统；
22.图2为根据本实用新型一实施例的挡水装置的主视图；
23.图3为根据本实用新型一实施例的挡水装置的侧视图；
24.图4为根据本实用新型一实施例的挡水装置的主视图；
25.图5为根据本实用新型一实施例的供液系统的主视图；
26.图6为根据本实用新型一实施例的供液系统的局部侧视图。
27.图中：1、供液箱体；2、最高液位传感器；3、高液位传感器；4、低液位传感器；5、最低液位传感器；6、冷凝水；7、传感器固定架；8、u型挡水块；9、气体输送组件；91、气体输出管路；92、气体输入管路；93、快插接头；94、锁紧螺母。
具体实施方式
28.下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
29.以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
30.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本技术，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
31.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
32.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
33.在抛光工序中，抛光液的供液系统的液位控制一般是靠液位传感器来实现，在最低液位、低液位、高液位和最高液位分别设置四个感应传感器，参照图1所示。供液系统自动工作状态：当液体低于低液位传感器4时，触发供液系统补液功能，向供液箱体1内补液；当液体高于高液位传感器3时，触发供液系统停止补液功能；实现供液箱体1内的液体自动补液功能。供液系统正常工作时，液位是不会达到最高液位传感器的位置。但如果最高液位传感器2感应到液体时，供液系统会判断补液出现异常，系统停止工作，影响到抛光设备的正常生产。
34.生产过程中，供液箱体1内顶部会产生一些冷凝水6，当冷凝水6滑落在最高液位传感器2的感应位置时，会触发最高液位传感器2信号，供液系统会判断补液出现异常，供液系统停止工作，影响到抛光设备的正常生产。
35.第一方面，本技术实施例提供了一种挡水装置，设置在供液箱体1内的液位传感器感应位的上方，用于阻挡供液箱体1内产生的冷凝水6滑落到液位传感器感应位。具体的，挡水装置包括挡水块和气体输送组件9，挡水块包括一个底壁和两个侧壁，挡水块用于将滴落的冷凝水6阻挡在液位传感器感应位的外侧，因此，挡水块可设置为u型挡水块8或弧形挡水块，即挡水块为有一侧为开口的形状，将挡水块开口一侧也即无底壁的一侧朝向下的设置在液位传感器感应位上方用于对其挡水，并且挡水块的开口处为非收紧的形状，以免滑落的冷凝水6滴落在其他液位传感器感应位上。
36.在本实施例中，挡水块设置为u型挡水块8，参照图2所示，u型挡水块8包括一个底壁和两个侧壁，气体输送组件9设置在u型挡水块的一个侧壁上；参照图5-6，u型挡水块8倒
置的设置于供液箱体1侧壁上的液位传感器感应位上方，也即开口朝下的设置，将液位传感器感应位包覆在u型挡水块8形成的内腔中，气体输送组件9朝向液位传感器感应位并输出气体对液位传感器感应位进行风干。
37.进一步的，气体输送组件9包括气体输入管路92、气体输出管路91和转换件，具体结构参照图2，本实施例中，气体输送组件9设置为一个，气体输入管路92通过转换件与气体输出管路91相连接，气体输出管路91贯穿u型挡水块8的一个侧壁，气体输出管路91位于u型挡水块8的侧壁内侧的一端朝向液位传感器感应位，气体输出管路91位于u型挡水块8的侧壁外侧的一端与转换件连接；气体输入管路92的一端与转换件连接，另一端与外部供应气体的管路连接，转换件主要起到连接的作用。具体的，外部供应的气体可以是氮气、氦气或氩气等，在本实施例中并不进行特殊限定。
38.在一个优选的实施例中，转换件为快插接头93，快插接头93的一端连接气体输入管路92，另一端连接气体输出管路91。
39.根据实际需求，转换件还可以设置为气体流量调节件，如气体输入管路92输入的是压缩气体时，可通过气体流量调节件将气体调节到合适的流量，再从气体输出管路91输出。
40.进一步的，气体输出管路91位于u型挡水块8侧壁外侧的一端通过锁紧螺母94进行固定。
41.在另一个实施例中，气体输送组件设置为两个，参照图4，气体输送组件9分别设置在u型挡水块8的两个侧壁上，且气体输送组件9相对设置，气体输送组件9在u型挡水块8的侧壁上的具体安装高度可根据u型挡水块8安装到液压传感器感应位上方时气体输出管路91能够正对液压传感器感应位为依据。
42.第二方面，本技术实施例还提供一种供液系统，供液系统包括供液箱体1、液位传感器和如前述第一方面任一实施例的挡水装置，参照图5-6，挡水装置包括挡水块和位于挡水块上的气体输送组件9，液位传感器与挡水块设置于供液箱体1的同一侧壁上，液位传感器固定连接于供液箱体1侧壁外侧，供液箱体1侧壁内侧设有与液位传感器相对应的液位传感器感应位，挡水块设置于液位传感器感应位的外周并固定连接在供液箱体1侧壁内侧。
43.在本实施例中，挡水块为u型挡水块8，倒置的设置于液位传感器感应位上方，u型挡水块8与供液箱体1侧壁平行，可通过焊接的方式固定在供液箱体1侧壁内侧，因此，u型挡水块8形成的内腔部分将液位传感器感应位包覆在内，对液位传感器感应位进行挡水，气体输送组件9朝向液位传感器感应位并输出气体对液位传感器感应位进行吹气，起到风干的效果。
44.进一步的，液位传感器包括最高液位传感器2、高液位传感器3、低液位传感器4和最低液位传感器5，最高液位传感器2、高液位传感器3、低液位传感器4和最低液位传感器5在供液箱体1侧壁外侧从上到下依次设置，供液箱体1侧壁内侧设有与各个液位传感器相对应的液位传感器感应位，也即在供液箱体1侧壁的内侧从上到下依次设有最高液位传感器感应位、高液位传感器感应位、低液位传感器感应位和最低液位传感器感应位。因此，u型挡水块8倒置的设置于供液箱体1侧壁内侧的最高液位传感器感应位的上方，避免冷凝水6滴落在最高液位传感器感应位，从而实现避免冷凝水6引起的最高液位误报警现象。
45.进一步的，液位传感器通过传感器固定架7固定于供液箱体1侧壁外侧。也即最高
液位传感器2、高液位传感器3、低液位传感器4和最低液位传感器5可通过传感器固定架7进行固定，保证系统的稳定性。
46.本实用新型提供的实施例，针对抛光液供液箱体内产生的冷凝水对液位传感器产生误报警的问题，发明了一种挡水装置，设置在最高液位传感器感应位的上方，可挡住冷凝水避免水滴滴落至最高液位传感器感应位，产生误报警；并通过气体输送组件可对液位传感器感应位进行吹气，具有风干的效果，可使内侧面区域干燥，避免凝结冷凝水，进一步降低了最高液位传感器误报警的可能性，提高了供液系统的可靠性。
47.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。