一种晶圆贴膜机的收料机构的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆贴膜机的技术领域，特别是涉及一种晶圆贴膜机的收料机构。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆；现有的晶圆贴膜机贴膜完成后，收料效果较差，不方便将贴膜完成的晶圆取出。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种便于将贴膜完成后的晶圆取出，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性的晶圆贴膜机的收料机构。
4.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，包括设备箱、贴膜箱、控制面板、风机、放置槽、安装架、第一转辊、移动架、第二转辊、第一电机、传动机构、动力机构和贴膜机构，贴膜箱安装在设备箱上，控制面板安装在贴膜箱上，设备箱内部设置有腔室，风机安装在设备箱腔室内，放置槽安装在风机上，放置槽上设置有若干组风口，贴膜机构安装在贴膜箱上并位于放置槽的上方，安装架安装在设备箱上，第一转辊安装在安装架上并相对转动，移动架安装在设备箱上并相对滑动，第二转辊安装在移动架上并相对转动，第一电机安装在移动架上，第一电机的输出端与第二转辊的输入端连接，动力机构安装在设备箱腔室内，动力机构的输出端与传动机构的输入端连接，传动机构安装在设备箱腔室内，移动架与传动机构连接。
5.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述传动机构包括螺母座、丝杠、主动轮、皮带和从动轮，所述设备箱上设置有滑槽，移动架与滑槽滑动连接，移动架安装在螺母座上，螺母座通过螺纹与丝杠连接，丝杠安装在设备箱腔室内并相对转动，主动轮安装在丝杠上，主动轮通过皮带与从动轮带传动，从动轮安装在动力机构的输出端。
6.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述动力机构包括减速机和第二电机，从动轮安装在减速机上，减速机和第二电机均安装在设备箱腔室内，第二电机的输出端与减速机的输入端连接。
7.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述贴膜机构包括气缸和贴膜装置，气缸安装在贴膜箱上，气缸的输出端设置有活塞杆，贴膜装置安装在活塞杆上。
8.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，还包括压板，压板安装在活塞杆上。
9.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，还包括检修板和螺栓，检修板安装在设备箱上，螺栓安装在检修板上并与设备箱连接。
10.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述检修板上设置有若干组散热风口。
11.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，所述贴膜箱上设置有密封门。
12.与现有技术相比本实用新型的有益效果为：
13.膜收卷在第一转辊上，晶圆放置在放置槽内，打开风机，风机通过风口进行抽风，对晶圆进行固定，动力机构通过传动机构带动移动架移动，移动架通过第二转辊对膜进行拖拽，使膜覆盖在晶圆上方，贴膜机构对晶圆进行贴膜，膜切割完成后，打开第一电机，第一电机对切割后的膜进行收卷，收卷的同时移动架带动第二转辊向第一转辊方向移动，便于将贴膜完成后的晶圆取出，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性。
附图说明
14.图1是本实用新型的结构示意图；
15.图2是本实用新型的放置槽俯视结构示意图；
16.图3是本实用新型的前视结构示意图；
17.图4是本实用新型的a的局部放大结构示意图；
18.附图中标记：1、设备箱；2、贴膜箱；3、控制面板；4、风机；5、放置槽；6、风口；7、安装架；8、第一转辊；9、移动架；10、第二转辊；11、第一电机；12、滑槽；13、螺母座；14、丝杠；15、主动轮；16、皮带；17、从动轮；18、减速机；19、第二电机；20、气缸；21、活塞杆；22、贴膜装置；23、压板；24、检修板；25、螺栓；26、散热风口。
具体实施方式
19.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
20.如图1至图4所示，本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，包括设备箱1、贴膜箱2、控制面板3、风机4、放置槽5、安装架7、第一转辊8、移动架9、第二转辊10、第一电机11、传动机构、动力机构和贴膜机构，贴膜箱2安装在设备箱1上，控制面板3安装在贴膜箱2上，设备箱1内部设置有腔室，风机4安装在设备箱1腔室内，放置槽5安装在风机4上，放置槽5上设置有若干组风口6，贴膜机构安装在贴膜箱2上并位于放置槽5的上方，安装架7安装在设备箱1上，第一转辊8安装在安装架7上并相对转动，移动架9安装在设备箱1上并相对滑动，第二转辊10安装在移动架9上并相对转动，第一电机11安装在移动架9上，第一电机11的输出端与第二转辊10的输入端连接，动力机构安装在设备箱1腔室内，动力机构的输出端与传动机构的输入端连接，传动机构安装在设备箱1腔室内，移动架9与传动机构连接；膜收卷在第一转辊8上，晶圆放置在放置槽5内，打开风机4，风机4通过风口6进行抽风，对晶圆进行固定，动力机构通过传动机构带动移动架9移动，移动架9通过第二转辊10对膜进行拖拽，使膜覆盖在晶圆上方，贴膜机构对晶圆进行贴膜，膜切割完成后，打开第一电机11，第一电机11对切割后的膜进行收卷，收卷的同时移动架9带动第二转辊10向第一转辊8方向移动，便于将贴膜完成后的晶圆取出，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性。
21.作为上述实施例的优选，所述传动机构包括螺母座13、丝杠14、主动轮15、皮带16和从动轮17，所述设备箱1上设置有滑槽12，移动架9与滑槽12滑动连接，移动架9安装在螺母座13上，螺母座13通过螺纹与丝杠14连接，丝杠14安装在设备箱1腔室内并相对转动，主动轮15安装在丝杠14上，主动轮15通过皮带16与从动轮17带传动，从动轮17安装在动力机
构的输出端；动力机构带动从动轮17旋转，从动轮17通过皮带16带动主动轮15旋转，主动轮15通过丝杠14带动螺母座13移动，螺母座13带动移动架9移动，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性。
22.作为上述实施例的优选，所述动力机构包括减速机18和第二电机19，从动轮17安装在减速机18上，减速机18和第二电机19均安装在设备箱1腔室内，第二电机19的输出端与减速机18的输入端连接；通过以上设置，打开第二电机19，第二电机19通过减速机18带动从动轮17旋转，从动轮17通过皮带16带动主动轮15旋转，主动轮15通过丝杠14带动螺母座13移动，螺母座13带动移动架9移动，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性。
23.作为上述实施例的优选，所述贴膜机构包括气缸20和贴膜装置22，气缸20安装在贴膜箱2上，气缸20的输出端设置有活塞杆21，贴膜装置22安装在活塞杆21上；通过以上设置，打开气缸20，气缸20通过活塞杆21带动贴膜装置22竖直移动，贴膜装置22将膜贴附在晶圆上，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性。
24.作为上述实施例的优选，还包括压板23，压板23安装在活塞杆21上；通过以上设置，活塞杆21带动压板23竖直移动，压板23对膜进行按压，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性。
25.作为上述实施例的优选，还包括检修板24和螺栓25，检修板24安装在设备箱1上，螺栓25安装在检修板24上并与设备箱1连接；通过以上设置，便于对设备箱1腔室内的设备进行检修，增加便利性，提高实用性。
26.作为上述实施例的优选，所述检修板24上设置有若干组散热风口26；通过以上设置，增加腔室内的散热和换气效果，提高实用性。
27.作为上述实施例的优选，所述贴膜箱2上设置有密封门；通过以上设置，为晶圆贴膜提供无尘的环境，增加晶圆贴膜的效果，提高实用性。
28.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，其在工作时，膜收卷在第一转辊8上，晶圆放置在放置槽5内，打开风机4，风机4通过风口6进行抽风，对晶圆进行固定，打开第二电机19，第二电机19通过减速机18带动从动轮17旋转，从动轮17通过皮带16带动主动轮15旋转，主动轮15通过丝杠14带动螺母座13移动，螺母座13带动移动架9移动，移动架9通过第二转辊10对膜进行拖拽，使膜覆盖在晶圆上方，贴膜机构对晶圆进行贴膜，膜切割完成后，打开第一电机11，第一电机11对切割后的膜进行收卷，收卷的同时移动架9带动第二转辊10向第一转辊8方向移动。
29.本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；本实用新型的一种晶圆贴膜机的收料机构的控制面板3、风机4、第一电机11、减速机18、第二电机19和贴膜装置22为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可。
30.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。