一种晶圆叉清洗方法及装置与流程

1.本发明涉及设备维护技术领域，尤其涉及一种晶圆叉清洗方法及装置。


背景技术：

2.晶圆叉，用于承载晶圆，实现晶圆的运送、翻转等，如图1a、图1b、图1c所示，在晶圆叉上与晶圆相接触的位置，容易藏污纳垢。
3.晶圆叉需要周期性进行维护，包括清洗等等，以防止晶圆的交叉污染。目前，通常在设备不运转的情况下，以人工直接做清洗。
4.但是，这种清洗方式效率并不高，因此，影响产能。


技术实现要素：

5.鉴于上述问题，提出了本发明以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种晶圆叉清洗方法及装置。
6.第一方面，本发明实施例提供了一种晶圆叉清洗装置，包括：
7.清洗室、设置于清洗室内的喷洒装置和刷子、设置于所述清洗室出入口的气刀；
8.所述喷洒装置，用于喷淋清洗液；
9.所述刷子，用于对待清洗的的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷；
10.所述气刀，用于对所述待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉干燥。
11.进一步地，在所述喷洒装置集成于所述刷子上时，还包括：
12.第一轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述刷子；
13.第一驱动装置，连接所述刷子，用于驱动所述刷子沿着所述第一轨道移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。
14.进一步地，所述刷子包括：刷头和第一支撑杆；
15.所述第一支撑杆一端设置所述刷头，另一端设置于所述第一轨道上；
16.所述刷头上设置有刷毛，且在刷毛的间隙设置有喷淋清洗液的喷淋孔。
17.进一步地，在所述喷洒装置与所述刷子并排设置时，还包括：
18.第二支撑杆；
19.第二轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述第二支撑杆；
20.所述第二支撑杆的一端设置于所述第二轨道，另一端连接横板，所述横板一端设置所述刷子，另一端设置所述喷洒装置；
21.第二驱动装置，连接所述第二支撑杆，用于驱动所述第二支撑杆沿着所述第二轨道移动，以使所述喷洒装置和所述刷子均沿着所述第二轨道移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。
22.进一步地，在所述清洗室的上部、下部以及侧边均固定设置有所述喷洒装置；
23.还包括：
24.第三轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述刷子；
25.第三驱动装置，连接所述刷子，用于驱动所述刷子沿着所述第三轨道移动，以在所述喷洒装置喷淋清洗液的区域进行洗刷。
26.进一步地，还包括：
27.第四驱动装置，所述第四驱动装置连接所述刷子，用于驱动所述刷子旋转，以实现旋转洗刷。
28.进一步地，还包括：
29.第五驱动装置，所述第五驱动装置连接所述第二支撑杆，用于驱动所述第二支撑杆旋转，以使所述横板上的刷子和喷洒装置在旋转过程中实现边喷洒清洗液边洗刷。
30.第二方面，本发明还提供了一种晶圆叉清洗方法，包括：
31.控制将晶圆叉插入清洗室，并控制气刀对待清洗的晶圆叉进行吹扫；
32.控制开启喷洒装置进行喷淋清洗液，并控制刷子对所述待清洗的晶圆叉进行过洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷；
33.控制将所述晶圆叉移出所述清洗室，并控制气刀对清洗后的晶圆叉进行干燥。
34.进一步地，所述在控制气刀对所述晶圆叉进行吹扫之后，还包括：
35.控制关闭所述气刀；
36.所述在控制气刀对所述晶圆叉进行干燥之后，还包括：
37.控制关闭所述气刀。
38.进一步地，所述控制开启喷洒装置进行喷淋清洗液，并控制刷子对所述待清洗的晶圆叉进行洗刷，包括：
39.控制开启喷洒装置；
40.控制所述喷洒装置移动或者调整所述喷洒装置的喷洒朝向，使得所述喷洒装置喷淋的清洗液将所述待清洗的晶圆叉全部覆盖；
41.控制刷子在喷淋清洗液的区域对所述待清洗的晶圆叉进行旋转洗刷。
42.本发明实施例中的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
43.本发明提供了一种晶圆叉清洗装置，包括清洗室，设置于清洗室内的喷洒装置和刷子、设置于清洗室出入口的气刀，该喷洒装置，用于喷淋清洗液，刷子，用于对伸入清洗室内的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷，气刀，用于对待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉进行干燥，进而实现对晶圆叉进行有效、自动地清洗，进而避免晶圆的交叉污染，也提高了产能。
附图说明
44.通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考图形表示相同的部件。在附图中：
45.图1a、图1b、图1c示出了晶圆叉的结构示意图；
46.图2示出了本发明实施例一中晶圆叉清洗装置的结构示意图；
47.图3示出了本发明实施例一中刷子与喷洒装置集成设置的结构示意图；
48.图4示出了本发明实施例一中刷子与喷洒装置并排设置的结构示意图；
49.图5示出了本发明实施例一中刷子与喷洒装置单独设置的结构示意图；
50.图6示出了本发明实施例二中晶圆叉清洗方法的步骤流程示意图。
具体实施方式
51.下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
52.实施例一
53.本发明实施例一提供了一种晶圆叉清洗装置，应用于周期性的设备维护中，对晶圆叉进行清洗。
54.该晶圆叉清洗装置，如图2所示，包括：清洗室101、设置于清洗室101内的喷洒装置102和刷子103、设置于清洗室101出入口的气刀106，该喷洒装置102用于喷淋清洗液；该刷子103，用于对伸入该清洗室101内的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷；气刀106，用于对待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉进行干燥。
55.该喷洒装置102不仅能够喷淋清洗液，而且，在喷淋清洗液的同时，不利用刷子103，仅利用冲力，也可将晶圆叉上的杂质冲掉。
56.在借助刷子103的洗刷时，能够将清洗液无法冲刷的地方进行洗刷。
57.其中，该喷洒装置102和刷子103可集成在一起，也可以单独设置。
58.下面就喷洒装置102和刷子103集成在一起的结构和单独设置的结构进行详细描述。
59.如图3所示，在喷洒装置102集成于刷子103上时，该晶圆叉清洗装置，还包括：
60.第一轨道1041，设置在清洗室101顶端，用于承载刷子103；第一驱动装置1051，连接刷子103，用于驱动刷子沿着第一轨道1041移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。
61.在具体的实施方式中，该刷子103包括刷头1031和第一支撑杆1032，该第一支撑杆1032一端设置刷头1031，另一端设置于第一轨道1041上，该刷头1031不仅设置刷毛10311，而且，在刷毛10311的间隙设置喷淋清洗液的喷洒孔1021，进而能够在第一驱动装置1051驱动刷子103沿着第一轨道1041移动时，实现边喷淋清洗液边洗刷。
62.在一种可选的实施方式中，该晶圆叉清洗装置还包括：第四驱动装置1054，该第四驱动装置1054连接该刷子103，用于驱动该刷子103旋转，以实现旋转洗刷，采用旋转洗刷的方式，洗刷更加干净，且效率更高。
63.如图4所示，该喷洒装置102与刷子103并排设置，该晶圆叉清洗装置，还包括：第二支撑杆107；第二轨道1042，设置在清洗室101顶端，用于承载第二支撑杆107；第二支撑杆107的一端设置于第二轨道1042，另一端连接横板，横板一端设置刷子103，另一端设置喷洒装置102。
64.还包括：第二驱动装置1052，连接第二支撑杆107，用于驱动第二支撑杆沿着第二轨道1041移动，以使喷洒装置102和刷子103均沿着第二轨道1041移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。
65.该晶圆叉清洗装置还包括，第五驱动装置1055，该第五驱动装置1055连接第二支撑杆107，用于驱动该第二支撑杆107旋转，即围绕该第二支撑杆107的轴心旋转，这样，横板
也会随着旋转，横板上的刷子103和喷洒装置102也随之旋转，且在旋转过程中，实现边喷淋清洗液边洗刷的目标，且在旋转的过程中，洗刷地更干净。
66.如图5所示，在清洗室101的上部、下部以及侧边均固定设置有该喷洒装置102，该晶圆叉清洗装置还包括：第三轨道1043，设置在清洗室顶端，用于承载刷子103；第三驱动装置1053，连接刷子103，用于驱动刷子沿着第三轨道1043移动，以在喷洒装置102喷淋清洗液的区域进行洗刷。
67.具体地，该喷洒装置102虽然是固定设置的，但是，设置在上部、下部以及侧边的喷洒装置102均可以实现不同区域的喷淋任务。
68.该喷洒装置102还可以实现喷头的转动，以实现不同区域的喷淋任务。
69.该刷子103设置于第三轨道1043上，可以沿着第三轨道1043移动，在喷洒装置102喷淋清洗液的区域，该刷子103则移动至该区域进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷的目的。
70.在一种可选的实施方式中，该刷子103连接该第四驱动装置1054，该第四驱动装置1054用于驱动刷子103旋转，以实现旋转洗刷，采用旋转洗刷的方式，进而洗刷的更干净，且效率更高。
71.在一种可选的实施方式中，在气刀106在晶圆叉进入清洗室101时，进行吹扫，可以将待清洗的晶圆叉表面较大的杂质吹扫掉；在气刀106在晶圆叉离开清洗室101时，进行干燥，将清洗后的晶圆叉表面的水渍吹干。
72.上述的清洗液具体可以是去离子水、氨水等。
73.第一轨道1041、第二轨道1042、第三轨道1043均包括横向移动的轨道，以及纵向移动的轨道，便于刷子103在通过轨道到达晶圆叉的各个部位。
74.该第一驱动装置1051、第二驱动装置1052、第三驱动装置1053、第四驱动装置1054、第五驱动装置1055均为电机驱动，其中，第一驱动装置1051、第二驱动装置1052、第三驱动装置1053可以实现刷子103和喷洒装置102的升降和移动，第四驱动装置1054、第五驱动装置1055用于驱动刷子的旋转等等。
75.本发明实施例中的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
76.本发明提供了一种晶圆叉清洗装置，包括清洗室，设置于清洗室内的喷洒装置和刷子、设置于清洗室出入口的气刀，该喷洒装置，用于喷淋清洗液，刷子，用于对伸入清洗室内的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷，气刀，用于对待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉进行干燥，进而实现对晶圆叉进行有效、自动地清洗，进而避免晶圆的交叉污染，也提高了产能。
77.实施例二
78.基于相同的发明构思，本发明还提供了一种晶圆叉清洗方法，如图6所示，包括：
79.s601，控制将晶圆叉插入清洗室，并控制气刀对待清洗的晶圆叉进行吹扫；
80.s602，控制开启喷洒装置进行喷淋清洗液，并控制刷子对所述待清洗的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋边洗刷；
81.s603，控制将所述晶圆叉移出所述清洗室，并控制气刀对清洗后的晶圆叉进行干燥。
82.具体地，该晶圆叉清洗方法主要是通过边喷淋清洗液边洗刷的方式进行洗刷，以
使清洗的效率更高。
83.在一种可选的实施方式中，所述在控制气刀对所述晶圆叉进行吹扫之后，还包括：
84.控制关闭所述气刀；
85.所述在控制气刀对所述晶圆叉进行洗刷之后，还包括：
86.控制关闭所述气刀。
87.具体地，气刀仅在晶圆叉出入该清洗室的时候开启，在该晶圆叉被清洗的过程中，则控制该气刀处于关闭状态。
88.通过控制气刀在晶圆叉进入清洗室时，开启吹扫，能够将杂质先进行吹扫，然后，控制气刀在晶圆叉离开清洗时，开启干燥，对清洗后的晶圆叉进行干燥，进而吹清洗后遗留的水渍。
89.在一种可选的实施方式中，所述控制开启喷洒装置进行喷淋清洗液，并控制刷子对所述待清洗的晶圆叉进行洗刷，包括：
90.控制开启喷洒装置；
91.控制所述喷洒装置移动或者调整所述喷洒装置的喷淋朝向，使得所述喷洒装置喷淋的清洗液将所述待清洗的晶圆叉全部覆盖；
92.控制刷子在喷淋清洗液的区域对所述待清洗的晶圆叉进行旋转洗刷。
93.通过控制将喷洒装置与刷子的动作，进而将喷洒装置与刷子有效配合，提高清洗效率。
94.尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。
95.显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。