一种砷化镓制备用尾气过滤装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种尾气过滤装置，尤其涉及一种砷化镓制备设备上使用的尾气过滤装置。


背景技术：

2.在砷化镓制备的过程中，排出的尾气中含有有毒的砷和磷，需要对其尾气的砷和磷进行过滤后在通过后续的燃烧系统燃烧。而目前的尾气过滤装置主要是包括机架，机架上安装有串联的砷过滤筒和磷收集筒，其中砷过滤主要采用滤筒过滤，而磷收集筒则主要是通过冷却的方式使气态的磷温度降低。然而这种尾气过滤装置存在以下缺点：1、目前的这种过滤装置磷的收集过滤和砷的过滤时间并不统一，磷冷却过滤收集后清理的时间更短，因此，一旦磷收集满了就需要及时清理，因此，蒙圈的过滤设备清理频繁，工人的劳动强度大；2、目前的尾气过滤装置清理非常不方便，整个滤芯的拆卸非常麻烦，由于该砷和磷为有毒物质，因此在清理时时将整个过滤筒拆卸，然后在水面下清理和清洗，这样频繁的清理过滤装置会增加工人的中毒风险，对工人的身体造成威胁。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种砷化镓制备设备上使用的尾气过滤装置，该尾气过滤装置能够更好处理砷和磷，减少清理的频率。
4.为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种砷化镓制备用尾气过滤装置，包括机架，所述机架上固定有第一安装筒和第二安装筒，所述第一安装筒和第二安装筒内可拆卸安装有滤芯筒，所述第一安装筒和第二安装筒的一端均设置有与滤芯筒内孔联通的进气口，该进气口通过进气连通管联通，该进气连通管上设置有进气管接口，所述第一安装筒和第二安装筒的筒身均设置有出气口，该出气口之间通过排气连通管联通，该排气连通管上设置有排气管接口，所述第一安装筒、第二安装筒、进气连通管、排气连通管的外部均包裹有加热保温装置。
5.作为一种优选的方案，所述第一安装筒和第二安装筒的结构相同，所述第一安装筒包括第一筒体，所述进气口设置于第一筒体的一端，所述第一筒体的另一端设置有放入口，所述放入口处铰接有第一筒盖，所述滤芯筒插入到所述第一筒体内且由第一筒盖压紧固定。
6.作为一种优选的方案，所述第一筒体上位于进气口处设置有进气密封管段，所述进气密封管段插入所述滤芯筒的内孔内与滤芯筒内孔密封。
7.作为一种优选的方案，所述滤芯筒包括滤芯筒本体，所述滤芯筒本体的内孔为盲孔，所述滤芯筒的盲端设置有把手。
8.作为一种优选的方案，所述滤芯筒本体的内孔的开口端的内孔沿设置有与进气密封管段密封配合的配合斜面。
9.作为一种优选的方案，所述滤芯筒的盲端还设置有十字形的加强杆。
10.作为一种优选的方案，所述机架包括由型钢焊接而成的长方体框架结构，所述长方体框架上设置有支撑梁，所述第一安装筒和第二安装筒焊接固定于所述支撑梁上。
11.作为一种优选的方案，所述长方体框架的底部设置有万向轮。
12.作为一种优选的方案，所述加热保温装置为电加热棉。
13.采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于该砷化镓制备用尾气过滤装置，包括机架，所述机架上固定有第一安装筒和第二安装筒，所述第一安装筒和第二安装筒内可拆卸安装有滤芯筒，所述第一安装筒和第二安装筒的一端均设置有与滤芯筒内孔联通的进气口，该进气口通过进气连通管联通，该进气连通管上设置有进气管接口，所述第一安装筒和第二安装筒的筒身均设置有出气口，该出气口之间通过排气连通管联通，该排气连通管上设置有排气管接口，所述第一安装筒、第二安装筒、进气连通管、排气连通管的外部均包裹有加热保温装置，因此，该尾气过滤装置直接将进气管接口连接在砷化镓制备设备的排气管上，而排气管接口则连接到尾气燃烧系统中，这样，尾气从进气管接口进入，并通过进气连通管分流进入到第一安装筒和第二安装筒内的滤芯筒内孔，此时颗粒状的砷则被过滤，而过滤后的尾气再通过滤芯筒后从排气连通管排出，而同时，由于整个尾气过滤装置的管道、第一安装筒和第二安装筒外部均报过有加热保温装置，因此，尾气排出的磷就会被持续加热成气态，这样气态的磷在进入到后续的尾气燃烧系统中燃烧，从而方便磷的去处，该尾气过滤装置将磷加热成气态，这样减少了清洗清理的次数，同时，由于气态的磷通过该尾气过滤装置而直接进入到尾气燃烧系统中燃烧，这样滤芯筒就可以直接在空气中取出，而无需在水里拆卸，拆卸和安装都更方便，减少了工人的劳动强度，同时，采用第一安装筒和第二安装筒的分流过滤，滤芯筒也使用了两个，进一步延长了清理的周期。
14.又由于所述第一安装筒和第二安装筒的结构相同，所述第一安装筒包括第一筒体，所述进气口设置于第一筒体的一端，所述第一筒体的另一端设置有放入口，所述放入口处铰接有第一筒盖，所述滤芯筒插入到所述第一筒体内且由第一筒盖压紧固定，因此该滤芯筒直接插入到第一筒体内，安装和拆卸都非常方便。
15.又由于所述第一筒体上位于进气口处设置有进气密封管段，所述进气密封管段插入所述滤芯筒的内孔内与滤芯筒内孔密封，由于该进气密封管段的存在，因此可以更好的插入到滤芯筒内孔而与滤芯筒内孔密封，这样确保所有的尾气都能更好的通过滤芯筒本体，过滤更彻底。
16.又由于所述滤芯筒包括滤芯筒本体，所述滤芯筒本体的内孔为盲孔，所述滤芯筒的盲端设置有把手，该滤芯筒本体上的把手可以方便操作手持将滤芯筒抽出和插入。
17.又由于所述滤芯筒本体的内孔的开口端的内孔沿设置有与进气密封管段密封配合的配合斜面，配合斜面可以更好的与进气密封段密封。
18.又由于所述滤芯筒的盲端还设置有十字形的加强杆，采用该加强杆可以增加滤芯筒盲端的强度。
附图说明
19.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
20.图1是本实用新型实施例的立体图；
21.图2是本实用新型实施例的侧面示意图；
22.图3是图2在a-a处的剖视图；
23.图4是滤芯筒的立体图；
24.图5是滤芯筒的剖视图；
25.附图中：1.机架；2.第一安装筒；21.第一筒体；22.第一筒盖；3.第二安装筒；4.进气连通管；5.进气管接口；6.排气连通管；7.排气管接口；8.支撑梁；9.滤芯筒；91.滤芯筒本体；92.内孔；93.把手；94.加强杆；95.配合斜面；10.万向轮；11.进气密封管段。
具体实施方式
26.下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。
27.如图1至图5所示，一种砷化镓制备用尾气过滤装置，包括机架1，所述机架1上固定有第一安装筒2和第二安装筒3，所述机架1包括由型钢焊接而成的长方体框架结构，所述长方体框架上设置有支撑梁8，所述第一安装筒2和第二安装筒3焊接固定于所述支撑梁8上。所述长方体框架的底部设置有万向轮10。本实施例中的尾气过滤装置相比目前的现有结构，第一安装筒2和第二安装筒3无需要频繁的拆卸，只需要将滤芯筒9取出，因此，也就节省了拆卸和安装时间，同时，也减少了管道对接、管道密封调试等工作。
28.所述第一安装筒2和第二安装筒3内可拆卸安装有滤芯筒9，所述第一安装筒2和第二安装筒3的一端均设置有与滤芯筒9内孔92联通的进气口，该进气口通过进气连通管4联通，该进气连通管4上设置有进气管接口5，所述第一安装筒2和第二安装筒3的筒身均设置有出气口，该出气口之间通过排气连通管6联通，该排气连通管6上设置有排气管接口7，所述第一安装筒2、第二安装筒3、进气连通管4、排气连通管6的外部均包裹有加热保温装置。所述加热保温装置为电加热棉。该电加热棉可以很好的包裹各种不同形状的筒体或者管材，方便包裹成型。
29.本实施例中，所述第一安装筒2和第二安装筒3的结构相同，所述第一安装筒2包括第一筒体21，所述进气口设置于第一筒体21的一端，所述第一筒体21的另一端设置有放入口，所述放入口处铰接有第一筒盖22，所述滤芯筒9插入到所述第一筒体21内且由第一筒盖22压紧固定，第一筒盖22的固定方式可以采用快速锁扣的方式锁紧固定。而本实施例中，所述第一筒体21上位于进气口处设置有进气密封管段11，所述进气密封管段11插入所述滤芯筒9的内孔92内与滤芯筒9内孔92密封。这样，尾气的流动路线如下：尾气从进气管接口5进入后通过进气连通管4分流而进入到第一安装筒2和第二安装筒3内，并通过进气密封管段11直接进入到滤芯筒9的内孔92，通过滤芯筒9的滤材过滤后进入到滤芯筒9和第一筒体21之间的空间，然后再通过排气连通管6从排气管接口7排出，整个过程尾气中的颗粒物都被滤材过滤。
30.如图4和图5所示，所述滤芯筒9包括滤芯筒本体91，所述滤芯筒本体91的内孔92为盲孔，所述滤芯筒9的盲端设置有把手93。所述滤芯筒本体91的内孔92的开口端的内孔沿设置有与进气密封管段11密封配合的配合斜面95。所述滤芯筒9的盲端还设置有十字形的加强杆94。
31.本实用新型相对于目前的现有结构具有以下优点：1、该过滤装置的滤芯筒9可以直接抽出，无需将第一安装筒2和第二安装筒3拆除后放置在水里分解，这样极大的减少了工作量；整个更换和清理只需要处理滤芯筒9，而其他的管道都不拆除，这样减少了每次更
换清理的工作量，无需每次都进行气密性检测；2、该过滤装置的滤芯筒9并联的两个，这样在原始体积不变的情况下进一步延长了维修周期(原始的尾气过滤装置也为两个筒，一个筒过滤砷一个筒冷凝磷)；3、该过滤装置采用了加热的方式使磷始终处于气态，这样气态的磷就会通过滤芯筒9而直接进入到后续的尾气燃烧系统中燃烧。
32.以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。