用于恶劣环境的紧凑型传感器组件的制作方法

1.本发明涉及一种能够应用于恶劣环境(诸如高温下)的传感器组件，并且该传感器组件制造合理且能够实现紧凑的传感器设计。


背景技术：

2.当在本说明中使用时，术语传感器组件涉及传感器本身或完整传感器的作为本发明的主体的任何部分。恶劣环境通常是其中产生高温的环境，并且也可以是包括侵蚀性介质、诸如带有腐蚀性和/或降解性化学物质和/或分子的热气体的环境。这种恶劣环境的一个例子可以是内燃机的排气系统，例如在诸如汽车等的车辆中的内燃机。
3.为了有效地控制例如内燃机内的过程，需要增加传感器的数量和/或需要新一代的先进传感器。因此，期望的是能够提高传感器制造的效率并减小这种传感器的尺寸。
4.传感器组件的已知方案包括由多个部件组成的馈通元件。通常具有绝缘粉末或烧结陶瓷部件，它们由金属环或弹簧保持就位。这些部件在传感器组件内需要一定的空间，这就导致这种传感器组件的体积相对较大，而且在应用于例如排气系统时它们需要一定的空间。
5.在de 102013221692 a1中论述了一种传感器、特别是氧气传感器，该传感器包括粉末密封件和其他密封元件。
6.文献de 60114305 t2公开了一种用于气体传感器的密封元件，该密封元件包括多个不同的密封件。
7.在us 9354215 b2中公开了一种金属对陶瓷的密封件，在该密封件中保持有一个多成分气体传感器。


技术实现要素：

8.本文讨论的传感器的典型应用领域是废气环境或靠近发动机定位的传感器，传感器类型如为温度传感器、气体传感器、pm/pn(如本文中用于例如颗粒物)传感器、no
x
传感器或烟尘负荷传感器。这些传感器最有利的是需要提供长期的机械稳定性。
9.本发明尤其包括结合在这种传感器内的馈通件，这使得设计更加简单和更紧凑。本发明可以概括为如独立权利要求中的内容。更加具体的实施例是从属权利要求的主题。
10.因此，本发明的理念包括带有馈通孔5的传感器组件1，绝缘元件3位于该馈通孔5中。绝缘元件3包括玻璃陶瓷材料，该玻璃陶瓷材料至少与馈通孔5的内壁6形成接合。当然，功能部件可以位于绝缘元件3或绝缘部件3内，并且以电绝缘的方式穿过馈通孔5。传感器组件的馈通孔5通常定位在其中的区域由金属材料和/或陶瓷制成，因此在大多数情况下是导电的。
11.根据本发明的传感器组件1可以用于高温应用中。这种高温应用是指其中温度可能在700℃以上、或者甚至大于800℃、或甚至大于900℃、特别是在700℃和1100℃之间的应用。
12.该传感器组件1尤其是电传感器组件和/或电化学传感器组件，其包括馈通元件2。馈通元件2具有馈通孔5，馈通孔5的通孔内壁6从馈通元件2的一个表面延伸到馈通元件2的另一个表面。通孔内壁6可以呈一定角度和/或是例如以增加绝缘元件3的拉出力的结构。
13.绝缘元件3位于馈通元件2的馈通孔5内。馈通孔5具有直径d，并且由于绝缘元件3有利地与馈通孔5的内壁6接合，因此绝缘元件3具有与da相对应的直径、内径di和高度h，这可以定义其体积v。
14.根据本发明，传感器组件比所讨论的现有技术中的传感器组件更紧凑，从而使得绝缘元件的尺寸选自包括以下尺寸的组或以下尺寸的任何组合：
15.h在2至20mm的范围内；和/或
16.da在2至30mm的范围内；和/或
17.比值v/d在0.2至100mm2的范围内、优选地在1至50mm2的范围内、最优选地在2至20mm2的范围内；和/或
18.比值h/d为从0.15至1.2、优选地从0.2至1.0、最优选从0.4至0.8。
19.如何从几何体的高度尺寸和直径来计算其体积v是公知的。
20.在馈通元件的高度高于绝缘元件的高度的情况下，h被定义为与馈通孔的内壁接触的绝缘元件的高度或长度。
21.通常，传感器组件1包括位于绝缘元件3内的功能元件4，诸如例如为温度传感器和/或λ传感器之类的电极。有利的是，功能元件4是固定的，并且由此在绝缘元件3内以电绝缘的方式保持就位。当然，在绝缘元件3内可以具有一个以上的功能元件4。此外，一个或多个绝缘元件3有利地至少在一些区域中与绝缘元件3接合。
22.如前所述，绝缘元件3具有外径da，该外径da与馈通孔5的直径相对应。功能元件4在绝缘元件3内需要具有空间，由此绝缘元件3的内径di与至少一个功能元件4的直径相对应，或者如果存在一个以上的功能元件4则与这些功能元件4的直径之和相对应。该功能元件4可以具有矩形横截面积或圆形横截面积，并且可以由绝缘的多层部件制成，如例如用于气体传感器的多层部件。
23.在这样的实施例中，尺寸范围根据本发明被选择为：
24.di在0.2至15mm的范围内；和/或
25.da在1至25mm的范围内。
26.在本发明的传感器组件1中，绝缘元件3或绝缘部件3与馈通元件2接合、优选地至少与馈通孔5的内壁6的一些区域接合。这意味着，在馈通元件2和绝缘元件3的接合区域之间存在结合，该结合可以是物理结合和/或化学结合。该结合可以通过热制造方法来实现，在这种热制造方法中，绝缘元件有利地被玻璃化到和/或烧结到馈通元件的通孔中。
27.在馈通元件2是由金属制成的情况下，绝缘元件3的热膨胀可以选择为小于馈通元件2的热膨胀，从而在馈通元件2与所围绕的绝缘元件3的冷却期间，馈通元件2就会收缩在绝缘元件3上，并且由此在绝缘元件3上施加压缩应力，从而形成压缩密封。压缩密封提供了良好密封性和较高拉出力。
28.在一个优选的实施例中，绝缘元件3包括玻璃陶瓷材料。最有利的是，绝缘元件的主要区域或换句话说绝缘元件的大部分体积是玻璃陶瓷材料。
29.根据已知的科学定义，玻璃陶瓷材料是一种源自于玻璃材料(或前体玻璃)的材
料，其通过温度处理而转变为还包括晶体相和/或至少增加了晶体相的体积的材料。微晶相可以达到整体体积的90％以上、或者甚至95％和/或98％和/或99％以上。
30.在本公开的范围内，玻璃陶瓷材料也可以表示为至少部分结晶的玻璃。玻璃陶瓷或至少部分结晶的玻璃可以通过结晶、优选可控制结晶、更优选受控结晶而获得，从而获得这样一种结构，在该结构中：针对可分配给同一晶相的晶体或晶粒的空间尺寸而产生优选狭窄的分布和/或可实现晶体或晶粒的优选空间排列。可以由其获得至少部分结晶的玻璃(或玻璃陶瓷)的前体玻璃也可以被称为可结晶玻璃。
31.作为结晶的结果，可结晶玻璃因此成为至少部分结晶的玻璃，即：晶体相的比例按体积计大于0.1％的玻璃。这种至少部分结晶的玻璃包括至少一种晶体相和任选地玻璃相，例如至少部分可结晶的玻璃或残余玻璃相。
32.根据一个实施例，残余玻璃相在至少部分结晶的玻璃中的比例按体积计小于10％、优选小于5％。至少部分结晶的玻璃包括晶体的聚集体。晶体的这些聚集体是由众多的晶体或晶粒形成的。晶粒的形状例如可以是针状的、丝状的或板状的。优选的是，这些晶粒可以呈放射状布置，即：从中心点向外辐射(例如呈扇形形状的球状)，叶片状或板状的晶体或晶粒可以布置成彼此相互贯穿，以及与残余玻璃相和/或至少部分结晶的玻璃相互贯穿。
33.根据进一步的实施例，可结晶玻璃和/或至少部分结晶的玻璃包括以下成分，这些成分基于以mol-％计的如下氧化物：
34.la2o
3 大于0.3mol-％至小于5mol-％、优选地小于或等于4.5mol-％、更优选地小于或等于4mol-％；
35.nb2o
5 0mol-％至9mol-％；
36.ta2o
5 0mol-％至7mol-％；
37.其中
38.∑(a2o5)大于0.2mol-％至9mol-％；
39.其中a是指在氧化物中通常具有氧化态v 的元素，并且例如包括和/或可以包括nb或ta或p或其任何组合。
40.已经发现，通过添加合适量的氧化物la2o3、ta2o5和/或nb2o5以及任选地进一步氧化物a2o5，可以形成非常可靠和/或温度稳定的接合。如上所述，a是指在氧化物中通常具有氧化态v 的元素。然而，应理解的是，并非所有由至少部分结晶的玻璃所包括的原子“a”实际上都需要以相同的氧化态存在。
41.在本公开的范围内，由至少部分结晶的玻璃所包括的氧化物la2o3、nb2o5和ta2o5以及任选地进一步氧化物a2o5也被称为“形成玻璃基质的氧化物”，这意味着至少在结晶的第一阶段期间，这些氧化物保持在残余玻璃相中，从而形成玻璃基质。
42.可结晶玻璃或至少部分结晶的玻璃可以进一步包括bi2o3或p2o5。然而，如果要实现馈通件的高温稳定性，这些成分是很不利的。因此，根据另一个实施例，除了作为均以小于500ppm的量存在的杂质之外，玻璃不包含铋和/或磷的氧化物。在这种情况下，ppm是指质量分数。
43.根据另一个实施例，除了作为均以小于500ppm的量存在的杂质之外，玻璃不包含任何碱金属和/或硼的氧化物。这是有利的，因为这些成分在温度稳定性方面是不利的。此
外，这些成分可能导致形成具有低热膨胀的不期望的晶体相。此外，碱性氧化物可能导致至少部分结晶的玻璃出现不期望的低电阻。
44.根据一个实施例，该玻璃包括氧化物ro，其中
45.∑(ro)小于或等于55mol-％，
46.其中r是一种在氧化物中通常具有氧化态ii 的元素，例如可以包括ca、mg、zn或其任何组合。
47.换言之，ro包括碱土氧化物和zno。根据一个优选实施例，除了作为均以小于500ppm的量存在的杂质之外，玻璃不包含bao和/或sro的氧化物，以避免玻璃和包含铬的接合配对件(例如，含铬钢或类似物)之间发生不期望的反应。
48.根据一个实施例，玻璃包括基于以mol-％计的如下氧化物：
[0049][0050]
以及任选地
[0051]
zro2ꢀꢀꢀꢀꢀ
0mol-％至4mol-％、优选地最多3mol-％；和/或
[0052]
tio2ꢀꢀꢀꢀꢀ
0mol-％至4mol-％、优选地最多3mol-％；和/或
[0053]
mno
2 0mol-％至5mol-％。
[0054]
任选地，根据一个实施例，玻璃可以进一步包括tio2、zro2、mno2和其任何组合。然而，这些成分的含量是有限的。特别是，tio2和zro2是已知的用于结晶的籽晶材料，它们在玻璃中并非必不可少。此外，这些成分可能导致形成具有低热膨胀的不期望的晶体相。
[0055]
根据进一步的实施例，玻璃可以包括在至少35mol-％和最多46mol-％之间的cao、优选地至少35mol-％且小于43.5mol-％的cao和/或在至少5mol-％和小于13mol-％之间的mgo。
[0056]
根据一个实施例，可结晶玻璃或至少部分结晶的玻璃特别地包括sio2和cao和mgo和al2o3以及任选地zno。
[0057]
在四元体系中，可以获得具有高热膨胀系数的sio
2-al2o
3-cao-mgo晶体相，例如具有高cao含量的钙镁硅酸盐的混合晶体，如镁黄长石和/或镁硅钙石(merwinite)，这些晶体相也可以与含al2o3的相(如钙铝黄长石(gehlenite)和/或普通辉石(augite))形成混合晶体。此外，如果作为附加成分，玻璃还包括zno，则也可能存在哈利斯通石(harystonite)。
[0058]
根据一个实施例，玻璃是存在的并且玻璃是至少部分结晶的玻璃，该玻璃包括具有高cao含量的cao-mgo-硅酸盐、特别是焦硅酸盐(mesosilicate)和/或俦硅酸盐(sorosilicate)的晶体或晶粒。岛硅酸盐(nesosilicate)是包括孤立的sio4四面体的硅酸盐，而俦硅酸盐是包括在桥接氧原子处接合的双四面体的硅酸盐，从而形成结构元素si2o7。岛硅酸盐可以是镁硅钙石ca3mg(sio4)2和/或具有镁硅钙石状晶体结构的混合晶体。此外，
玻璃还可以另外或替代性地包括俦硅酸盐，如镁黄长石ca2mgsi2o7或钙铝黄长石ca2al[alsio7]或其混合晶体。此外，根据一个实施例，玻璃可以包括具有奥氏体或类似奥氏体结构的晶体相。
[0059]
在本公开的范围内，混合晶体是指其化学组分与化合物的化学计量组分不完全对应的晶体。例如，当提及“镁黄长石混合晶体”时，应理解为该混合晶体的化学组分不对应于ca2mgsi2o7。混合晶体可以包括比根据化学计量组分更多的ca，或者zn至少部分地取代了ca。然而，混合晶体的晶体结构例如将主要对应于镁黄长石的晶体结构，即使在晶格常数方面可能出现小的偏差也是如此。
[0060]
根据一个实施例，玻璃是存在的并且玻璃是至少部分结晶的玻璃，该玻璃包括富含cao的cao-mg硅酸盐、特别是富含cao的cao-mg-岛硅酸盐和/或俦硅酸盐，如镁硅钙石和/或具有镁硅钙石结构的混合晶体以及另外或替代地具有镁硅钙石结构的晶体相，如钙镁黄长石ca2mgsi2o7和/或钙铝黄长石ca2al[alsio7]和/或其混合晶体，和/或具有普通辉石结构的晶体相。
[0061]
下表给出了可结晶玻璃或至少部分结晶的玻璃的示例性组分。这里，组分是基于以mol-％计的氧化物给出的。用于表征固体灰烬的熔融性的温度、诸如软化温度(soft)、烧结温度(sint)、球体温度(sph)、半球体温度(hsph)和熔化/熔融温度(melt)是使用加热显微镜(hm)来确定的。这些温度的确定是按照或基于din 51730进行的。线性热膨胀系数(cte或α)的单位为10-6
/k。量度表示确定cte所在的温度范围。此外，tg是指根据iso 7884-8规定的玻璃转变温度，当以5k/min的加热速率测量时，该温度由膨胀曲线的两个分支的切线的交点来确定。玻璃的软化点(ew)被定义为按照或基于iso 7884-3测量的玻璃的粘度为10
7.6
dpa s所在的温度。t
k 100
表示可结晶物的特定电阻率为108ω*cm时的温度，并且优选按照或基于din 52326来确定。
[0062]
表1示例性玻璃的组成
[0063]
[0064][0065]
表1(续)
[0066]
[0067][0068]
通常，玻璃陶瓷材料的整体熔化温度高于其玻璃源的整体熔化温度，从而允许传感器组件暴露于比其生产温度更高的温度下。在最有利的实施例中，玻璃陶瓷材料具有形
成以下结构的晶体相：在该结构中，单独晶体的移动也在玻璃相变得粘稠和/或甚至变成液体时受到限制。
[0069]
与现有技术相比，本发明还提供了进一步的优势，即优选地提供一种具有封闭表面、优选玻璃状表面的绝缘元件的玻璃陶瓷材料。这意味着，在绝缘元件的外表面上具有一薄层玻璃相。例如，可以看出，在实施例中，从绝缘元件的表面朝向绝缘元件的内部体积在晶体结构中具有梯度，其中各个结构的变化和/或晶粒在整体结构中占据的体积的量增加。这种梯度有益于形成馈通元件和绝缘元件之间的接合。
[0070]
玻璃状层和/或晶粒梯度还有利地提供了封闭表面，这意味着该表面没有开放的孔隙，当然除了与传感器组件的性能无关的随机瑕疵之外。即使绝缘部件在其体积内可能包括孔隙，也具有孔隙梯度，其中在绝缘元件的表面上基本没有孔隙，而在绝缘元件的体积内可能具有孔隙。封闭表面具有的优点是污染性物质、诸如废气中的残留物不太可能粘附在表面上，这有助于提高整个传感器组件的可靠性。
[0071]
此外，已经发现，至少部分结晶的玻璃在高温下的高粘度使得接合的角形部件、特别是角形功能元件能够可靠地接合到具有标准圆形或接近圆形横截面的馈通元件上。也就是说，即使是具有带角度的横截面、如方形横截面的功能元件也可以使用根据本公开的玻璃进行接合，而不会出现裂纹。
[0072]
迄今为止，这是不可能的，因为在将角形的功能元件接合到圆形的馈通元件上时，角形的功能元件的角部区域将产生高应力，从而导致裂纹的形成。然而，通过使用根据本公开的实施例的玻璃可以避免裂纹的形成。此外，施加机械载荷可以进一步帮助实现角形部件在圆形馈通元件中的无裂纹接合。可以想到如上所述高含量的晶体、优选形成相互贯穿的聚集体的晶体和晶粒以及因此大量的晶界阻碍了张力的传递，从而能够实现无裂纹接合。
[0073]
此外，已经发现，利用根据本公开的玻璃，在接合配对件和玻璃之间的界面处形成化学结合。这种在接合配对件(即：一方面是馈通元件和/或功能元件并且另一方面是玻璃)之间的界面处的化学结合导致了非常稳定的接合，结果是需要施加很大的力才能拉出功能元件。发明人认为，通过将根据本公开的玻璃用作绝缘元件材料(其也可称为“接合材料”)，与使用压制的陶瓷粉末作为接合材料的标准接头所观察到的拉出力相比，拉出力可达至10倍以上。在本公开的范围内，功能元件和/或馈通元件也可称为“接合配对件”。
[0074]
对于绝缘元件的内径di为6mm以上和绝缘元件的外径da为10mm以上，根据本公开的实施例，使用钢1.4762作为功能元件的材料，对于馈通件来说可以令人惊讶地实现达至10kn的拉出力。这可以通过仔细选择和/或匹配馈通元件、绝缘元件和功能元件的热膨胀系数来实现。
[0075]
因此，根据一个实施例，接合配对件材料和绝缘元件材料的热膨胀系数之差的绝对值为5*10-6
/k以下、优选地为3*10-6
/k以下、更优选地为1*10-6
/k以下。
[0076]
根据这个非常有利的实施例，该接合以及因此传感器可以承受达至1000℃且甚至更高的高温。
[0077]
发明人认为，根据本公开的实施例，接合的耐高温性可能是由于存在相互贯穿的晶体和晶体聚集体以及由此实现的至少部分结晶的玻璃的质地。发明人进一步相信，由于至少部分结晶的玻璃的这种非常有利的结构，甚至可以弥补高温下可选的残余玻璃相的软
化。
[0078]
根据本发明的传感器组件可以有利地为一体式部件、优选地为由单一材料部件或由多个单一材料部件制成的一体式部件，这多个单一材料部件被接合在一起形成一体式部件。一体式部件只能通过破坏绝缘元件而被拆开。
[0079]
另外还提供了绝缘元件3的表面具有增加表面积的结构，该结构优选地至少为用于增加表面积的元件31。这种结构可以是升高的和/或凹陷的结构和/或甚至是带角度的表面。如果在使用传感器组件1的过程中，物质分层和/或凝结在绝缘元件3的表面上，则这样会降低传感器的测量精度和/或最终导致绝缘元件的短路。所述结构31可以防止这种短路和/或甚至通过阴影效应防止这种层的沉积。也可以考虑为所述结构31提供边缘，例如尖锐的边缘或具有小边缘半径的边缘，以便在这些边缘处中断沉积层。当计算体积v时，这些结构不被考虑在内。
附图说明
[0080]
本发明及其实际实现可以通过所包括的附图来证明。
[0081]
图1a示出了根据现有技术的已知传感器组件。可以清楚地看到，绝缘元件是由不同的部分组成的。
[0082]
图1b示出了根据本发明的传感器组件1。绝缘元件3是一体式部件。
[0083]
除了如上所述的d和h之外，图中的附图标记具有如下含义：
[0084]
1 传感器组件
[0085]
2 馈通元件
[0086]
3 绝缘元件
[0087]
31 用于增加表面积的元件
[0088]
4 功能元件
[0089]
5 馈通孔
[0090]
6 馈通孔的内壁
[0091]
7 通孔
[0092]
8 通孔内壁
[0093]
9 外螺纹
具体实施方式
[0094]
所产生的示例的绝缘元件的尺寸和比例如下表所附。
[0095][0096]
功能元件4位于绝缘元件3内、优选至少在一些区域中与绝缘元件3接合，从而绝缘
元件3具有对应于馈通孔的外径da和与至少一个功能元件4的直径相对应的内径di。d是馈通元件的外径。
[0097]
馈通元件2在实施中是由金属或陶瓷制成的。合适的金属可以是钢，诸如标准钢、不锈钢、防锈钢和高温稳定的铁素体钢，这些钢的品牌名称已知为thermax，例如thermax 4016、thermax 4742或thermax 4762，或者crofer 22apu或crofer 22h，或者镍铁基材料，例如nife45、nife47或镀镍插针，或者品牌名称已知为inconel，例如inconel 718或x-750，或者诸如已知以cf25、alloy 600、alloy 625、alloy 690、sus310s、sus430、suh446或sus316命名的钢，或者奥氏体钢，诸如1.4828或1.4841奥氏体钢。因此，馈通元件有利地能够由铁素体高抗腐蚀钢组成，有利地为：1.4742；1.4755；1.4760；1.4762和/或inconel钢(alloy 600、alloy 601、alloy 625、x-750)和/或不锈钢。此外，馈通元件可以包括高温稳定的陶瓷化合物或者由高温稳定的陶瓷化合物组成，该化合物诸如为氧化铝基陶瓷或氧化锆基陶瓷，例如包括y型稳定氧化锆的陶瓷或诸如al2o3、zro2、镁橄榄石、ysz的陶瓷。
[0098]
功能元件4基本上可以是插针和/或电导体和/或传感元件，并且基本上特别是在绝缘元件的区域中可以由钢制成或者包括钢，所述钢诸如为标准钢、不锈钢、防锈钢和高温稳定的铁素体钢，如品牌名称已知为thermax的钢，例如thermax 4016、thermax 4742或thermax 4762，或crofer 22apu或crofer 22h，或镍铁基材料，例如nife45、nife47或镀镍插针，或者品牌名称已知为inconel的钢，例如inconel 718或x-750，或者诸如已知以cf25、alloy 600、alloy 625、alloy 690、sus310s、sus430、suh446或sus316命名的钢，或者奥氏体钢，诸如1.4828或1.4841奥氏体钢，或者铁素体高抗腐蚀钢，诸如1.4742、1.4755、1.4760、1.4762和/或kanthal热丝。此外，功能元件可以包括高温稳定的陶瓷化合物或者由高温稳定的陶瓷化合物组成，该化合物诸如为氧化铝基陶瓷或氧化锆基陶瓷，例如包括y型稳定氧化锆的陶瓷或和/或诸如al2o3、zro2、镁橄榄石、ysz(钇稳定氧化锆)的陶瓷。
[0099]
从上述描述和整个描述中可以看出，本发明的传感器组件1比目前使用的多片式传感器组件更紧凑。因此，本发明还可以减少整个传感器组件的外部形状因子。这样的传感器组件1可以设置有适合于将传感器组件安装到其他元件或装置、诸如内燃机的排气系统、例如排气管上的外螺纹。根据本发明，外螺纹9的直径有利地小于14mm。通过用于螺纹的标准测量和加工工具，外螺纹可以小于m14，优选地该外螺纹在m14至m6的范围内。这样可以增加排气系统内的传感器组件1的数量和/或可以将传感器组件1移动到由于内燃机的其他部件或结构而只有有限空间的区域中。
[0100]
根据本发明的传感器组件1可以有益地用于测量内燃机的废气。它们优选地被用作λ(lambda)传感器和/或no
x
传感器和/或颗粒物传感器和/或温度传感器。
[0101]
本发明的有益之处是有助于提高燃料经济性，并可以有助于使内燃机符合更严格的排放标准、诸如euro 6标准。随着euro 7标准的可能出台，对创新的发动机管理系统和智能排气处理技术的需求将进一步增加。不仅会有更多且更复杂的传感器，而且这些传感器需要在极端温度和腐蚀性环境中可靠地运行。本发明的传感器组件提供了卓越的坚固性，同时也提供了更合理的制造方法和降低了设计复杂性。
[0102]
暴露在废气环境中或位于发动机附近的传感器类型(如温度传感器、气体传感器、pm/pn传感器、no
x
传感器或烟尘负荷传感器)需要在腐蚀性、超高温条件下提供长期的机械稳定性。例如，在废气应用中，传感器需要在达至950℃的温度循环条件下保持良好的性能
至少50000次循环。根据本发明的传感器组件可以满足这些要求。它们还例如对柴油和/或汽油废气和化学品、诸如adblue具有极强的耐温性和耐腐蚀性。
[0103]
作为进一步的优势，不需要接合界面材料来形成绝缘元件和馈通元件的直接密封。
[0104]
由于体积减小，因此绝缘元件根据本发明使得整个传感器组件的加热或冷却比根据现有技术的传感器组件快，这意味着更快地达到热平衡。