一种金属溅射靶材的检具的制作方法

1.本实用新型属于半导体技术领域，涉及溅射靶材的检测，尤其涉及一种金属溅射靶材的检具。


背景技术：

2.溅射靶材的孔位尺寸关系到溅射靶材能否正常安装或使用，当孔位尺寸不正确，则无法将产品正常应用于实际工艺中，三坐标测量是目前广泛应用于机械制造行业和电子工业中的检测和质量控制的方法，采用三坐标测量机检测螺纹孔角度和孔为尺寸。但采用三坐标测量机检测速度较慢，对于数量较多的产品的检测，其工作效率较低。
3.cn111982044a公开了一种螺纹孔的三坐标检测方法，所述三坐标检测方法包括如下步骤：(1)沿螺纹孔轴向的不同高度的牙顶处共选取至少2个起始点，根据螺纹孔的螺距p取点，从而构建至少2个圆柱，得到牙顶轴线位置；(2)沿螺纹孔轴向的不同高度的牙根处共选取至少2个起始点，根据螺纹孔的螺距p取点，从而构建至少2个圆柱，得到牙根轴线位置；(3)步骤(1)所述牙顶轴线位置与步骤(2)所述牙根轴线位置的平均位置为所述螺纹孔的中心轴线。
4.cn207487542u公开了一种磁控溅射环的尺寸检验工装，包括检验圆环体、绝缘陶瓷垫块、绝缘陶瓷筒、绝缘陶瓷垫片、边缘固定销钉和中心固定销钉。该检验工装内径与相应溅射环装机设备的遮挡罩几何尺寸相同。通过溅射环与检验工装的装配、溅射环的开口宽度、溅射环与检验工装的绝缘电阻值来进行溅射环的尺寸检验。
5.cn112097612a公开了一种ito旋转靶材的直线度检测设备，包括第一平台、竖向平台，所述第一平台的顶面上设有第一基准面，所述竖向平台的端面连接在所述第一基准面上，所述竖向平台上设有竖向的第二基准面，所述竖向平台包括第二平台和第三平台，所述第二平台上设有竖向的第二基准面，所述第三平台上设有竖向的第三基准面。将ito旋转靶材端面与第一基准面贴合；将ito旋转靶材的外侧壁向竖向基准面靠近至相抵接；观察或者测量竖向基准面与ito旋转靶材外侧壁之间的间隙。
6.目前三坐标检测技术测量产品时，检测采用的测针会对光滑的产品表面造成磕伤的风险，需要人为建立坐标系，也会延长检测产品的时间。相比于三坐标检测技术，采用与溅射靶材对应的特定检测工装，能够加快检测速度，提高检测效率。


技术实现要素：

7.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种金属溅射靶材的检具，能够同时检测溅射靶材表面的多个孔位，缩短了溅射靶材的检测时间，提高了检测效率。
8.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
9.本实用新型提供了一种金属溅射靶材的检具，所述金属溅射靶材的检具用于检测溅射靶材是否合格，所述金属溅射靶材的检具包括本体，所述本体表面设置有至少两个检
测凸台，相邻的两个所述检测凸台之间设置定位凸起，所述的定位凸起与检测凸台分别独立地检测溅射靶材表面孔位尺寸是否合格。
10.本实用新型提供的一种金属溅射靶材的检具，能够同时检测溅射靶材表面的多个孔位，缩短了溅射靶材的检测时间，提高了检测效率。
11.需要说明的是，本实用新型提供的金属溅射靶材的检具应用于特定结构和款式的溅射靶材，根据溅射靶材孔位的尺寸要求，调整检具的检测凸台与定位凸起的尺寸，再采用该尺寸的检具测试同一款溅射靶材表面孔位是否合格。
12.作为本实用新型一个优选技术方案，沿所述溅射靶材外缘设有定位区，所述的定位区内设有开口朝向远离溅射靶材一侧的预留槽，所述预留槽的数量与所述检测凸台的数量相等，相邻的两个预留槽之间开设通孔，将所述检测凸台嵌入预留槽内，所述定位凸起插入通孔内，当完全匹配时，表明溅射靶材合格。
13.需要说明的是，本实用新型中的金属溅射靶材的检具能够测试同一款溅射靶材的孔位是否合格，检具的检测凸台与溅射靶材的预留槽尺寸相对应，检具的定位凸起与溅射靶材的通孔尺寸相对应，当检测凸台能够完全嵌入预留槽内，并与预留槽的内壁贴合，表明溅射靶材的预留槽尺寸合格，当定位凸起能够完全插入通孔内，表明溅射靶材的通孔的尺寸合格。
14.作为本实用新型一个优选技术方案，所述的检测凸台的横截面为“u”型结构，所述“u”型结构检测凸台的直线间的距离为7～12mm，例如可以是7mm、7.2mm、7.5mm、7.8mm、8mm、8.2mm、8.5mm、8.8mm、9mm、9.5mm、9.8mm、10mm、10.5mm、10.8mm、11mm、11.2mm、11.5mm、11.8mm或12mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
15.作为本实用新型一个优选技术方案，所述检测凸台的高度为8～11mm，例如可以是8mm、8.2mm、8.5mm、8.8mm、9mm、9.2mm、9.5mm、9.8mm、10mm、10.2mm、10.5mm、10.8mm或11mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
16.作为本实用新型一个优选技术方案，所述的定位凸起为圆柱体结构，所述定位凸起的高度与所述检测凸台的高度相等。
17.作为本实用新型一个优选技术方案，所述定位凸起的直径为3～6mm，例如可以是3mm、3.3mm、3.4mm、3.5mm、3.7mm、3.8mm、4mm、4.3mm、4.4mm、4.5mm、4.7mm、4.8mm、5mm、5.3mm、5.4mm、5.5mm、5.7mm、5.8mm或6mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
18.作为本实用新型一个优选技术方案，所述的本体为长方体结构，所述本体的宽度为25～45mm，例如可以是25mm、26mm、27mm、28mm、29mm、30mm、31mm、32mm、33mm、34mm、35mm、36mm、37mm、38mm、39mm、40mm、41mm、42mm、43mm、44mm或45mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
19.所述本体的长度为650～850mm，例如可以是650mm、660mm、670mm、680mm、690mm、700mm、710mm、720mm、730mm、740mm、750mm、760mm、770mm、780mm、790mm、800mm、810mm、820mm、830mm、840mm或850mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
20.作为本实用新型一个优选技术方案，所述的溅射靶材为长方体结构，所述溅射靶材的宽度大于所述本体的宽度，所述溅射靶材的长度与所述本体的长度相等。
21.作为本实用新型一个优选技术方案，所述本体表面设有中心区，分别位于所述中心区两侧的检测凸台的数量相等。
22.作为本实用新型一个优选技术方案，所述的中心区内设置有相邻的两个定位凸起。
23.需要说明的是，所述的中心区位于本体的中部位置，在最靠近中心区两侧的检测凸台之间设置有两个相邻的定位凸起。
24.示例性地，本实用新型提供的金属溅射靶材的检具的使用方法如下所示：
25.将检具的本体放置在溅射靶材表面，本体表面设有检测凸台的一侧表面朝向溅射靶材，其中检具的检测凸台和定位凸起分别与溅射靶材的预留槽和通孔对应放置，下压检具的本体，当检测凸台能够完全进入预留槽内，并与预留槽的内壁贴合，同时定位凸起能够顺利进入通孔内时，表明溅射靶材的尺寸合格，否则溅射靶材尺寸不合格。
26.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
27.本实用新型提供的一种金属溅射靶材的检具，能够同时检测溅射靶材表面的多个孔位，缩短了溅射靶材的检测时间，提高了检测效率。
附图说明
28.图1为本实用新型一个具体实施方式提供的金属溅射靶材的检具的俯视图；
29.图2为本实用新型一个具体实施方式提供的金属溅射靶材的检具的侧视图。
30.其中，1-本体；2-检测凸台；3-定位凸起；4-中心区。
具体实施方式
31.需要理解的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
32.需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
34.在一个具体实施方式中，本实用新型提供了一种金属溅射靶材的检具，所述金属溅射靶材的检具用于检测溅射靶材是否合格，如图1和图2所示，金属溅射靶材的检具包括本体1，本体1表面设置有至少两个检测凸台2，相邻的两个检测凸台2之间设置定位凸起3，所述的定位凸起3与检测凸台2分别独立地检测溅射靶材表面孔位尺寸是否合格。
35.本实用新型提供的金属溅射靶材的检具，能够同时检测溅射靶材表面的多个孔位，缩短了溅射靶材的检测时间，提高了检测效率，应用于特定结构和款式的溅射靶材，根
据溅射靶材孔位的尺寸要求，调整检具的检测凸台2与定位凸起3的尺寸，再采用该尺寸的检具测试同一款的其他溅射靶材表面孔位是否合格。
36.进一步地，沿溅射靶材外缘设有定位区，定位区内设有开口朝向远离溅射靶材一侧的预留槽，预留槽的数量与检测凸台2的数量相等，相邻的两个预留槽之间开设通孔，将检测凸台2嵌入预留槽内，定位凸起3插入通孔内，当完全匹配时，表明溅射靶材合格。
37.本实用新型中的金属溅射靶材的检具的检测凸台2与溅射靶材的预留槽尺寸相对应，检具的定位凸起3与溅射靶材的通孔尺寸相对应，当检测凸台2能够完全嵌入预留槽内，并与预留槽的内壁贴合，表明溅射靶材的预留槽尺寸合格，当定位凸起3能够完全插入通孔内，表明溅射靶材的通孔的尺寸合格
38.进一步地，检测凸台2的横截面为“u”型结构，所述“u”型结构检测凸台2的直线间的距离为7～12mm。
39.进一步地，检测凸台2的高度为8～11mm。
40.进一步地，定位凸起3为圆柱体结构，位凸起的高度与检测凸台2的高度相等。
41.进一步地，定位凸起3的直径为3～6mm。
42.进一步地，本体1为长方体结构，本体1的宽度为25～45mm，本体1的长度为650～850mm。
43.进一步地，溅射靶材为长方体结构，溅射靶材的宽度大于本体1的宽度，溅射靶材的长度与本体1的长度相等。
44.进一步地，本体1表面设有中心区4，分别位于中心区4两侧的检测凸台2的数量相等。
45.进一步地，中心区4内设置有相邻的两个定位凸起3。所述的中心区4位于本体1的中部位置，在最靠近中心区4两侧的检测凸台2之间设置有两个相邻的定位凸起3。
46.示例性地，本具体实施方式提供的金属溅射靶材的检具的使用方法如下所示：
47.将检具的本体1放置在溅射靶材表面，本体1表面设有检测凸台2的一侧表面朝向溅射靶材，其中检具的检测凸台2和定位凸起3分别与溅射靶材的预留槽和通孔对应放置，下压检具的本体1，当检测凸台2能够完全进入预留槽内，并与预留槽的内壁贴合，同时定位凸起3能够顺利进入通孔内时，表明溅射靶材的尺寸合格，否则溅射靶材尺寸不合格。
48.实施例1
49.本实施例提供了一种金属溅射靶材的检具，用于检测溅射靶材是否合格，金属溅射靶材的检具包括长方体结构的本体1，其宽度为40mm，长度为750mm，沿本体1的长度方向设置有十六个检测凸台2，检测凸台2的横截面为“u”型结构，所述“u”型结构检测凸台2的直线间的距离为8.8mm，检测凸台2的高度为9.5mm。相邻的两个检测凸台2之间设有定位凸起3，定位凸起3为圆柱体结构，其高度与检测凸台2的高度相等，定位凸起3的直径为5.3mm。本体1表面设有中心区4，分别位于中心区4两侧的检测凸台2的数量相等，即两边各有八个检测凸台2，且中心区4位于本体1的中部位置，在最靠近中心区4两侧的检测凸台2之间设置有两个相邻的定位凸起3。
50.应用例1
51.本应用例中采用实施例1提供的金属溅射靶材的检具检测溅射靶材表面孔位尺寸是否合格，具体如下所述：
52.其中，溅射靶材为长方体结构，其宽度为100mm，长度为750mm，沿溅射靶材两侧长度方向的外缘分别设有定位区，定位区内设有开口朝向远离溅射靶材一侧的十六个预留槽，相邻的两个预留槽之间开设通孔，溅射靶材表面设有中间区，分别位于中间区两侧的预留槽的数量相等，且中间区位于溅射靶材的中部位置，在最靠近中间区两侧的预留槽之间开设有两个相邻的通孔。
53.将检具的本体1放置在溅射靶材表面，本体1表面设有检测凸台2的一侧表面朝向溅射靶材，其中检具的检测凸台2和定位凸起3分别与溅射靶材的预留槽和通孔对应放置，下压检具的本体1，检测凸台2能够完全进入预留槽内，并与预留槽的内壁贴合，同时定位凸起3能够顺利进入通孔内时，表明溅射靶材的尺寸合格。
54.本实用新型提供的金属溅射靶材的检具，能够同时检测溅射靶材表面的多个孔位，缩短了溅射靶材的检测时间，提高了检测效率。
55.申请人声明，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。