一种氮化镓多晶粉末制备装置的制作方法

1.本实用新型涉及制备装置领域，尤其涉及一种氮化镓多晶粉末制备装置。


背景技术：

2.氮化镓是一种无机物，化学式gan，是氮和镓的化合物，是一种直接能隙的半导体，自1990年起常用在发光二极管中。此化合物结构类似纤锌矿，硬度很高。氮化镓的能隙很宽，为3.4电子伏特，可以用在高功率、高速的光电元件中，例如氮化镓可以用在紫光的激光二极管，可以在不使用非线性半导体泵浦固体激光器的条件下，产生紫光(405nm)激光。
3.氮化镓在氨气流中于1050～1100℃下在制备装置中加热金属镓30min可制得疏松的灰色粉末状氮化镓gan，而现有的氮化镓制备装置在使用时，难免造成氨气的泄漏，在泄漏时若检测不及时则造成严重事故。
4.为解决上述问题，本申请中提出一种氮化镓多晶粉末制备装置。


技术实现要素：

5.(一)实用新型目的
6.为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种氮化镓多晶粉末制备装置，本实用新型通过设有检测装置，并及时检测通知，以提高使用时的安全性。
7.(二)技术方案
8.为解决上述问题，本实用新型提供了一种氮化镓多晶粉末制备装置，包括制备装置本体，所述制备装置本体的顶部通过安装杆连接有吸气罩；
9.所述吸气罩连通有抽取机构；
10.所述吸气罩的内部安装有第一气体传感器；
11.所述制备装置本体的外周上固定安装有轴流风机和第二气体传感器，所述轴流风机位于第二气体传感器的上方。
12.优选的，所述抽取机构包括引风机和排出管，所述引风机的进气口与吸气罩的排出口连通，所述引风机的排气口与排出管连通。
13.优选的，所述制备装置本体上安装有控制器和报警器，且报警器与控制器通讯连接。
14.优选的，所述控制器通过通讯模块连接有移动端。
15.优选的，所述第一气体传感器和第二气体传感器可选用氨气传感器。
16.本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
17.通过启动轴流风机，轴流风机对其位于制备装置本体下部的气体抽取至制备装置本体上方的吸气罩的内部，随之制备装置本体周围的气体进入至吸气罩的内部，第二气体传感器与第一气体传感器对气体是否有氨气进行检测，若检测到氨气，则启动引风机，对气体进行抽取排出，同时报警器发出警报，使得工作人员及时发现，以降低险情。
附图说明
18.图1为本实用新型提出的一种氮化镓多晶粉末制备装置的结构示意图。
19.图2为本实用新型提出的一种氮化镓多晶粉末制备装置中吸气罩的剖视结构示意图。
20.附图标记：1、制备装置本体；2、安装杆；3、吸气罩；4、抽取机构；41、引风机；42、排出管；5、第一气体传感器；6、轴流风机；7、第二气体传感器。
具体实施方式
21.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
22.如图1-2所示，本实用新型提出的一种氮化镓多晶粉末制备装置，包括制备装置本体1，制备装置本体1的顶部通过安装杆2连接有吸气罩3；
23.吸气罩3连通有抽取机构4；
24.吸气罩3的内部安装有第一气体传感器5；
25.制备装置本体1的外周上固定安装有轴流风机6和第二气体传感器7，轴流风机6位于第二气体传感器7的上方。
26.在一个可选的实施例中，抽取机构4包括引风机41和排出管42，引风机41的进气口与吸气罩3的排出口连通，引风机41的排气口与排出管42连通，排出管42连通至室外通风处。
27.在一个可选的实施例中，制备装置本体1上安装有控制器和报警器，且报警器与控制器通讯连接，报警器选用声光报警器。
28.在一个可选的实施例中，控制器通过通讯模块连接有移动端，在第一气体传感器5和第二气体传感器7中任意一个检测到氨气时，则发送至控制器中，并通过控制器发送警报信息至移动端，以及时通知工作人员。
29.在一个可选的实施例中，第一气体传感器5和第二气体传感器7可选用氨气传感器，进而对氨气进行检测，以及时发现。
30.本实用新型中，通过启动轴流风机6，轴流风机6对其位于制备装置本体1下部的气体抽取至制备装置本体1上方的吸气罩3的内部，随之制备装置本体1周围的气体进入至吸气罩3的内部，第二气体传感器7与第一气体传感器5对气体是否有氨气进行检测，若检测到氨气，则启动引风机41，对气体进行抽取排出，同时报警器发出警报，使得工作人员及时发现，以降低险情。
31.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。


技术特征：
1.一种氮化镓多晶粉末制备装置，包括制备装置本体(1)，其特征在于：所述制备装置本体(1)的顶部通过安装杆(2)连接有吸气罩(3)；所述吸气罩(3)连通有抽取机构(4)；所述吸气罩(3)的内部安装有第一气体传感器(5)；所述制备装置本体(1)的外周上固定安装有轴流风机(6)和第二气体传感器(7)，所述轴流风机(6)位于第二气体传感器(7)的上方。2.根据权利要求1所述的一种氮化镓多晶粉末制备装置，其特征在于，所述抽取机构(4)包括引风机(41)和排出管(42)，所述引风机(41)的进气口与吸气罩(3)的排出口连通，所述引风机(41)的排气口与排出管(42)连通。3.根据权利要求1所述的一种氮化镓多晶粉末制备装置，其特征在于，所述制备装置本体(1)上安装有控制器和报警器，且报警器与控制器通讯连接。4.根据权利要求3所述的一种氮化镓多晶粉末制备装置，其特征在于，所述控制器通过通讯模块连接有移动端。5.根据权利要求1所述的一种氮化镓多晶粉末制备装置，其特征在于，所述第一气体传感器(5)和第二气体传感器(7)可选用氨气传感器。

技术总结
本实用新型涉及制备装置技术领域，且公开了一种氮化镓多晶粉末制备装置，包括制备装置本体，所述制备装置本体的顶部通过安装杆连接有吸气罩；所述吸气罩连通有抽取机构；所述吸气罩的内部安装有第一气体传感器；所述制备装置本体的外周上固定安装有轴流风机和第二气体传感器，所述轴流风机位于第二气体传感器的上方。本实用新型提出一种氮化镓多晶粉末制备装置，本实用新型通过设有检测装置，并及时检测通知，以提高使用时的安全性。以提高使用时的安全性。以提高使用时的安全性。


技术研发人员：谈逊 谈谦 曾龙辉 谈宇清
受保护的技术使用者：华厦半导体（深圳）有限公司
技术研发日：2021.09.18
技术公布日：2022/2/22