一种用于精密仪器的重型防微振基座的制作方法

1.本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种用于精密仪器的重型防微振基座。


背景技术：

2.目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
3.传统的防微振基座有混凝土基座和钢结构基座，混凝土基座属于重型基座，需要钢筋配置，混凝土浇筑一次成型，需要布置大量钢筋，基座移动困难，但对于很多精密仪器是不需要这么重的基座进行隔振的，但单纯的钢结构基座，因为刚度较混凝土基座小，又无法满足此类精密仪器对隔振标准的要求，只能选择混凝土基座，造成成本过高，资源浪费等问题。


技术实现要素：

4.实用新型的目的在于提供一种用于精密仪器的重型防微振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：
6.一种用于精密仪器的重型防微振基座，包括顶板、顶梁、支腿和底梁，其特征在于，所述顶板先由钢板焊接成含有框底的矩形框架，然后通过浇筑混凝土制成，所述顶板和顶梁焊接固定，所述支腿为十二根，每根四支腿为一组，所述支腿的顶部与顶梁焊接固定，所述支腿的底部与底梁焊接固定，所述底梁为三个，并列分布，三个底梁分别与每组的四个支腿焊接固定。
7.进一步地，所述顶板中间部位开设有安装孔。
8.进一步地，所述顶板的一侧开设有二次配管线孔。
9.进一步地，所述顶梁、支腿、底梁均由h型钢焊接而成。
10.进一步地，所述顶梁与支腿焊接部位的上方焊接有加强筋。
11.进一步地，所述底梁与支腿焊接部位的下方焊接有加强筋。
12.进一步地，所述每组支腿之间焊接有横梁，所述横梁为h型钢。
13.本实用新型的有益效果为：
14.本实用新型的重型防微振基座通过混凝土顶板与钢结构的组合制作，节省了大量的钢筋和混凝土，减轻了基座自重，降低了制作成本，移动方便，通过顶梁和底梁的设置，提高了基座的防微振效果，基座防微振等级可达到vc-e级。
附图说明
15.图1为本实用新型重型防微振基座的结构示意图。
16.图中1-顶板，11-安装孔，12-二次配管线孔，2-顶梁，3-支腿，4-底梁，5-加强筋，6-横梁，7-加强筋。
具体实施方式
17.下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.如图1所示，一种用于精密仪器的重型防微振基座，包括顶板1、顶梁2、支腿3和底梁4，所述顶板1先由钢板焊接成含有框底的矩形框架，然后通过浇筑混凝土制成，所述顶板1和顶梁2焊接固定，所述支腿3为十二根，每根四支腿为一组，所述支腿4的顶部与顶梁2焊接固定，所述支腿3的底部与底梁4焊接固定，所述底梁4为三个，并列分布，三个底梁4分别与每组的四个支腿4焊接固定。
19.所述顶板1中间部位开设有安装孔11。
20.所述顶板1的一侧开设有二次配管线孔12。
21.所述顶梁2、支腿3、底梁4均由h型钢焊接而成。
22.所述顶梁2与支腿3焊接部位的上方焊接有加强筋5。
23.所述底梁4与支腿3焊接部位的下方焊接有加强筋7。
24.所述每组支腿之间焊接有横梁6，所述横梁6为h型钢。
25.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种用于精密仪器的重型防微振基座，包括顶板、顶梁、支腿和底梁，其特征在于，所述顶板先由钢板焊接成含有框底的矩形框架，然后通过浇筑混凝土制成，所述顶板和顶梁焊接固定，所述支腿为十二根，每根四支腿为一组，所述支腿的顶部与顶梁焊接固定，所述支腿的底部与底梁焊接固定，所述底梁为三个，并列分布，三个底梁分别与每组的四个支腿焊接固定。2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的重型防微振基座，其特征在于，所述顶板中间部位开设有安装孔。3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的重型防微振基座，其特征在于，所述顶板的一侧开设有二次配管线孔。4.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的重型防微振基座，其特征在于，所述顶梁、支腿、底梁均由h型钢焊接而成。5.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的重型防微振基座，其特征在于，所述顶梁与支腿焊接部位的上方焊接有加强筋。6.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的重型防微振基座，其特征在于，所述底梁与支腿焊接部位的下方焊接有加强筋。7.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的重型防微振基座，其特征在于，所述每组支腿之间焊接有横梁，所述横梁为h型钢。

技术总结
本实用新型提供了一种用于精密仪器的重型防微振基座，包括顶板、顶梁、支腿和底梁，其特征在于，所述顶板先由钢板焊接成含有框底的矩形框架，然后通过浇筑混凝土制成，所述顶板和顶梁焊接固定，所述支腿为十二根，每根四支腿为一组，所述支腿的顶部与顶梁焊接固定，所述支腿的底部与底梁焊接固定，所述底梁为三个，并列分布，三个底梁分别与每组的四个支腿焊接固定。本实用新型的重型防微振基座通过混凝土顶板与钢结构的组合制作，节省了大量的钢筋和混凝土，减轻了基座自重，降低了制作成本，移动方便，通过顶梁和底梁的设置，提高了基座的防微振效果，基座防微振等级可达到VC-E级。E级。E级。


技术研发人员：刘艳夏 尤健 胡振军
受保护的技术使用者：大连地拓重工有限公司
技术研发日：2021.10.15
技术公布日：2022/2/19