一种适用于各种尺寸硅片定位加工的吸片翻转机构的制作方法

1.本实用新型涉及吸片翻转设备技术领域，具体为一种适用于各种尺寸硅片定位加工的吸片翻转机构。


背景技术：

2.常规的吸片翻转吸盘，通常为专配吸盘，若直接增加吸盘数量以增加吸附范围的话，会造成空闲吸盘漏气，造成吸附不稳定的问题，所以急需要一种能够缓解上述问题的方案。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种适用于各种尺寸硅片定位加工的吸片翻转机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种适用于各种尺寸硅片定位加工的吸片翻转机构，包括吸盘结构，所述吸盘结构包括吸附主体和连接主体，所述吸附主体均匀分布在连接主体的下端，所述吸附主体与连接主体密封固定安装在一起，所述吸附主体的内部空间与连接主体的内部空间贯通相连；所述吸附主体包括对接块、弹簧、通气槽、皮囊和滑筒，所述对接块的上端与连接主体固定安装在一起，所述对接块与对接块组装固定连接为一体，所述弹簧的上端固定连接在对接块的下端，所述弹簧的下端通过，滑筒贯穿所述对接块，所述滑筒与对接块滑动接触，所述弹簧的下端固定连接在滑筒的下部外端，所述通气槽开设在滑筒的外端，所述皮囊罩在弹簧和通气槽的外侧，所述皮囊的上端与对接块固定连接在一起，所述弹簧和通气槽贯穿皮囊。
5.优选的，所述吸附主体还包括连接块，所述连接块固定连接在滑筒的下部外端，所述弹簧的下端固定连接在连接块的外端。
6.优选的，所述吸附主体还包括缓冲垫，所述缓冲垫的上端固定连接在滑筒的下端。
7.优选的，所述连接主体包括连接管、导气罩和连接盘，的连接管的下端固定连接在导气罩的上端，所述连接管的内部空间与导气罩的内部空间贯通相连，所述连接盘的上端固定连接在导气罩的下端，所述对接块安装在连接盘的下端，所述对接块与连接盘密封挤压在一起。
8.优选的，所述连接主体还包括螺栓，所述螺栓均匀分布在连接盘的上部，所述螺栓滑动贯穿连接盘与吸附主体螺纹固定安装在一起。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
10.当机械手带动连接主体操作吸附主体压在目标上端后，利用目标对滑筒的反作用力向上推动滑筒，使得通气槽接通对接块上侧与下侧空间，从而使得对接块上侧的负压能够作用于皮囊的内部，利用皮囊的下端吸附目标，当吸附主体松开目标后，利用弹簧的弹力带动滑筒向下恢复；弹簧下端通过连接块与滑筒固定连接在一起；当吸附主体向下挤压目标时，利用缓冲垫缓解滑筒对很舒服的冲击力，进而达到保护目标的目的；当机械手抽取连
接管内部气体后，通过导气罩和连接盘作用于皮囊，进而达到吸附目标的作用；吸附主体通过螺栓与连接主体螺纹固定在一起，当皮囊与目标之间无挤压时，使得未接触的吸附主体不消耗内部负压，进而达到稳定接触吸附主体的负压效果的。
附图说明
11.图1为本实用新型的主体结构示意图；
12.图2为本实用新型的吸附主体拆分结构示意图；
13.图3为本实用新型的连接主体结构示意图。
14.图中：1、吸盘结构；2、吸附主体；3、连接主体；4、对接块；5、弹簧；6、通气槽；7、连接块；8、缓冲垫；9、皮囊；10、连接管；11、导气罩；12、螺栓；13、连接盘。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系是根据附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，是用于提高描述与图之间的联系和增加叙述的清晰度，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
17.实施例一
18.请参阅图1，一种适用于各种尺寸硅片定位加工的吸片翻转机构，包括吸盘结构1，吸盘结构1包括吸附主体2和连接主体3，吸附主体2均匀分布在连接主体3的下端，吸附主体2与连接主体3密封固定安装在一起，吸附主体2的内部空间与连接主体3的内部空间贯通相连；吸附主体2包括对接块4、弹簧5、通气槽6、皮囊9和滑筒，对接块4的上端与连接主体3固定安装在一起，对接块4与对接块4组装固定连接为一体，弹簧5的上端固定连接在对接块4的下端，弹簧5的下端通过，滑筒贯穿对接块4，滑筒与对接块4滑动接触，弹簧5的下端固定连接在滑筒的下部外端，通气槽6开设在滑筒的外端，皮囊9罩在弹簧5和通气槽6的外侧，皮囊9的上端与对接块4固定连接在一起，弹簧5和通气槽6贯穿皮囊9；当机械手带动连接主体3操作吸附主体2压在目标上端后，利用目标对滑筒的反作用力向上推动滑筒，使得通气槽6接通对接块4上侧与下侧空间，从而使得对接块4上侧的负压能够作用于皮囊9的内部，利用皮囊9的下端吸附目标，当吸附主体2松开目标后，利用弹簧5的弹力带动滑筒向下恢复。
19.实施例二
20.请参阅图2，吸附主体2还包括连接块7，连接块7固定连接在滑筒的下部外端，弹簧5的下端固定连接在连接块7的外端；弹簧5下端通过连接块7与滑筒固定连接在一起。
21.吸附主体2还包括缓冲垫8，缓冲垫8的上端固定连接在滑筒的下端；当吸附主体2向下挤压目标时，利用缓冲垫8缓解滑筒对很舒服的冲击力，进而达到保护目标的目的。
22.实施例三
23.请参阅图3，连接主体3包括连接管10、导气罩11和连接盘13，的连接管10的下端固定连接在导气罩11的上端，连接管10的内部空间与导气罩11的内部空间贯通相连，连接盘
13的上端固定连接在导气罩11的下端，对接块4安装在连接盘13的下端，对接块4与连接盘13密封挤压在一起；当机械手抽取连接管10内部气体后，通过导气罩11和连接盘13作用于皮囊9，进而达到吸附目标的作用。
24.连接主体3还包括螺栓12，螺栓12均匀分布在连接盘13的上部，螺栓12滑动贯穿连接盘13与吸附主体2螺纹固定安装在一起；吸附主体2通过螺栓12与连接主体3螺纹固定在一起，当皮囊9与目标之间无挤压时，使得未接触的吸附主体2不消耗内部负压，进而达到稳定接触吸附主体2的负压效果的。
25.工作原理：当机械手带动连接主体3操作吸附主体2压在目标上端后，利用目标对滑筒的反作用力向上推动滑筒，使得通气槽6接通对接块4上侧与下侧空间，从而使得对接块4上侧的负压能够作用于皮囊9的内部，利用皮囊9的下端吸附目标，当吸附主体2松开目标后，利用弹簧5的弹力带动滑筒向下恢复；弹簧5下端通过连接块7与滑筒固定连接在一起；当吸附主体2向下挤压目标时，利用缓冲垫8缓解滑筒对很舒服的冲击力，进而达到保护目标的目的；当机械手抽取连接管10内部气体后，通过导气罩11和连接盘13作用于皮囊9，进而达到吸附目标的作用；吸附主体2通过螺栓12与连接主体3螺纹固定在一起，当皮囊9与目标之间无挤压时，使得未接触的吸附主体2不消耗内部负压，进而达到稳定接触吸附主体2的负压效果的。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。