测试探针的制作方法

1.本发明涉及测试技术领域，尤其涉及一种测试探针。


背景技术：

2.测试探针可用于评估半导体元件的集成电路、平板显示器等的电特性，具体是对其进行通电检查和绝缘检查。
3.现在，一般在测试探针的探头处镀有钯合金镀层，以提升检测精度。现有技术中镀在测试探针上的钯合金镀层，在多次使用后容易发生磨损，且该磨损效果难以肉眼观察出来，导致检测精度出现下降。此外，钯合金的单价较高，采用全钯合金制成的测试探针的成本较高。
4.鉴于此，需要设计一种测试探针，能保持稳定的检测精度，且能有效降低成本。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供了一种测试探针，能保持稳定的检测精度，且能有效降低成本。
6.为达此目的，本发明采用以下技术方案：
7.一种测试探针，包括测试针头和连接针轴；
8.所述测试针头由检测部和与所述检测部连接的连接轴部组成，所述连接针轴包括第一连接件，所述第一连接件的第一端设置有匹配所述连接轴部的插接孔，所述连接轴部插入所述插接孔中以使所述连接轴部和所述连接针轴导通；
9.所述测试针头的材质为钯合金。
10.可选地，所述连接轴部和所述插接孔过盈配合。
11.可选地，所述连接轴部设置有环形凹槽，所述插接孔内设置有用于卡紧所述连接轴部的凸起，所述凸起伸入所述环形凹槽中。
12.可选地，所述连接针轴还包括连接针管；
13.所述连接针管的一端套设于所述第一连接件的第二端上，且所述连接针管和所述第一连接件导通。
14.可选地，所述测试探针还包括弹性件和一端可滑动地伸入所述连接针管中的金属针杆，且所述金属针杆的一端的外周面与所述连接针管的内管面导通；
15.所述弹性件压缩地设置于所述连接针管中，且所述弹性件的第一端与所述第一连接件相抵，第二端与所述金属针杆的一端相抵。
16.可选地，所述连接针管远离所述第一连接件的管口处设置有限位部；
17.所述金属针杆包括可滑动安装于所述连接针管中的第一轴部和伸出所述连接针管的第二轴部，所述第一轴部的直径小于所述第二轴部的直径；
18.所述限位部形成一通过孔，所述通过孔的直径大于所述第二轴部的直径，小于所述第一轴部的直径。
19.可选地，所述第一连接件和所述金属针杆均为铍铜制成的结构件，所述连接针管为磷铜制成的结构件。
20.可选地，所述第一连接件、所述连接针管和所述金属针杆均表面镀金。
21.可选地，所述弹性件为表面镀金的弹簧。
22.可选地，所述第一连接件的第二端设置有连接柱部，所述连接针管套设于所述连接柱部上。
23.与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
24.本实施例中，设置测试针头直接接触半导体元件或者线路板，连接针轴用于安装测试针头，且连接针轴和测试针头相互导通，通过将测试针头整体设置为钯合金制成的构件，有效避免了钯合金镀层磨损、脱落导致检测精度的下降，有效保持了测试针头和待测工件的接触稳定性，从而能有效提升检测精度；此外，由于只需要将测试针头设置为钯合金构件，测试探针的其他部件可以设置为其他导通的金属材质，有效降低了测试探针的制造成本。
附图说明
25.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
26.本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
27.图1为本发明实施例提供的测试探针的结构示意图；
28.图2为本发明实施例提供的测试探针的正视示意图；
29.图3为本发明实施例提供的测试探针的剖面结构示意图；
30.图4为本图3中a位置的放大示意图。
31.图示说明：1、测试针头；11、检测部；12、连接轴部；121、环形凹槽；2、连接针轴；21、第一连接件；211、插接孔；212、连接柱部；213、凸起；22、连接针管；3、弹性件；4、金属针杆；221、限位部；41、第一轴部；42、第二轴部。
具体实施方式
32.为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
33.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描
述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。
34.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
35.本发明实施例提供了一种测试探针，测试针头1整体为钯合金制成，测试探针的其他部件均不是钯合金制成的，这样能有效规避现有技术中钯合金镀层磨损导致检测精度下降的情况，且不会导致测试探针的制造成本过高。
36.请参阅图1至图4，该测试探针包括测试针头1和连接针轴2；
37.测试针头1由检测部11和与检测部11连接的连接轴部12组成，连接针轴2包括第一连接件21，第一连接件21的第一端设置有匹配连接轴部12的插接孔211，连接轴部12插入插接孔211中以使连接轴部12和连接针轴2导通；测试针头1为钯合金制成的结构件。
38.具体地，测试针头1安装在第一连接件21上，且测试针头1和第一连接件21导通，连接针轴2能有效传递测试针头1的检测信号。此外，测试针头1的材质为钯合金，其发生轻微磨损后并不会导致检测性能发生较大的变化，测试探针的检测稳定性得到了有效的提升。还需说明的是，只需在连接针轴2的一端设置有整体体积较小的测试针头1，钯合金用量较少，有利于降低测试探针的制造成本。
39.可选地，连接轴部12和插接孔211过盈配合，使连接轴部12和第一连接件21之间保持良好的导通效果，使降低测试针头1和连接针轴2之间的电阻，从而提升检测精度。
40.可选地，连接轴部12设置有环形凹槽121，插接孔211内设置有用于卡紧连接轴部12的凸起213，凸起213伸入环形凹槽121中。
41.具体地，为避免连接轴部12自插接孔211中滑出，在连接轴部12上设置有环形凹槽121，在插接孔211内设置有凸起213，凸起213置于环形凹槽121，以将连接轴部12固定于插接孔211中。值得说明的是，该凸起213可以是在连接轴部12插入插接孔211前形成的，也可以是在连接轴部12插入插接孔211后，在第一连接件21的外侧打点以使插接孔211的内侧壁形成该凸起213。
42.可选地，连接针轴2还包括连接针管22；连接针管22的一端套设于第一连接件21的第二端上，且连接针管22和第一连接件21导通。
43.值得说明的是，连接针管22和第一连接件21保持良好的导通连接，以提升信号传输的性能，确保检测精度。
44.可选地，测试探针还包括弹性件3和一端可滑动地伸入连接针管22中的金属针杆4，且金属针杆4的一端的外周面与连接针管22的内管面导通；
45.弹性件3压缩地设置于连接针管22中，且弹性件3的第一端与第一连接件21相抵，第二端与金属针杆4的一端相抵。
46.在实际的检测过程中，通过推动金属针杆4远离测试针头1的一端，使测试针头1向待测工件移动，测试针头1接触待测工件进行检测。在检测过程中，弹性件3构成缓冲效果，避免对工件造成过大的冲击，避免损坏工件。
47.需要说明的是，金属针杆4能沿连接针管22的内孔滑动，且保持和连接针管22的良好导通效果。
48.可选地，连接针管22远离第一连接件21的管口处设置有限位部221；
49.金属针杆4包括可滑动安装于连接针管22中的第一轴部41和伸出连接针管22的第二轴部42，第一轴部41的直径小于第二轴部42的直径；
50.限位部221形成一通过孔，通过孔的直径大于第二轴部42的直径，小于第一轴部41的直径。
51.具体地，限位部221的设置，使第一轴部41只能在连接针管22的内孔中滑动。
52.可选地，第一连接件21和金属针杆4均为铍铜制成的结构件。连接针管22为磷铜制成的结构件。具体地，铍铜具有耐蚀、耐磨、耐寒、高导电、无磁性、冲击不产生火花等一系列优良的物理、化学和力学性能，能有效提升检测精度。此外，连接针管22为管状结构，采用挤压工艺成型，其材质为磷铜既降低了材料的成本，也易于挤压成型。
53.可选地，第一连接件21、连接针管22和金属针杆4均表面镀金。具体地，表面镀金，有效提升了第一连接件21、连接针管22和金属针杆4的耐腐蚀性能。
54.可选地，弹性件3为表面镀金的弹簧，同理，镀金的弹簧，其耐腐蚀性更好，有利于延长测试探针的使用寿命。
55.值得说明的是，表面镀金的第一连接件21、连接针管22、金属针杆4和弹簧，有利于降低测试探针的电阻，提升测试探针的检测精度。
56.可选地，第一连接件21的第二端设置有连接柱部212，连接针管22套设于连接柱部212上。
57.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
58.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
59.以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。