一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具的制作方法

1.本实用新型涉及掩膜版夹具技术领域，具体为一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具。


背景技术：

2.掩膜版的湿法清洗系统一般由用化学反应去除有机物、用毛刷物理力量去除大颗粒、用超声波空穴效应去除小颗粒、用水分子的运动能量去除小颗粒、用纯n2去干燥掩膜版等五大功能模块组成，在清洗的过程中需要夹具进行限位固定，避免滑落对掩膜版造成损伤。
3.然而现有9寸掩膜版的四个角距离夹具支撑点较远，约等于掩膜版边长的一半为114.3mm，当毛刷清洗到掩膜版的四个边角时，根据杠杆原理，操作员工稍微用力大一点或者用力不均匀，就很容易把掩膜版整体从夹具上翘起或者脱离支撑部位，不仅会导致掩膜版表面不平，影响清洗效果，同时还容易导致掩膜版背面有刮痕甚至甩出夹具等报废，因此，需要一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，以解决上述背景技术中提出现有9寸掩膜版的四个角距离夹具支撑点较远，约等于掩膜版边长的一半为114.3mm，当毛刷清洗到掩膜版的四个边角时，根据杠杆原理，操作员工稍微用力大一点或者用力不均匀，就很容易把掩膜版整体从夹具上翘起或者脱离支撑部位，不仅会导致掩膜版表面不平，影响清洗效果，同时还容易导致掩膜版背面有刮痕甚至甩出夹具等报废的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，包括：
6.夹具本体，为设备主要的夹持结构，所述夹具本体的内表面设置有连接臂，所述连接臂的另一端连接有螺杆；
7.清洗池，位于所述夹具本体的底端，所述清洗池的内表面设置有连接杆；
8.套筒，位于所述夹具本体的顶端，所述所述套筒内部与所述的螺杆外表面相互连接。
9.作为本实用新型的优选技术方案，所述夹具本体顶表面环形分布有第一支撑座和第二支撑座，所述第一支撑座和第二支撑座关于夹具本体横竖切面镜像分布，所述第一支撑座和第二支撑座数量为8个。
10.采用上述技术方案，第一支撑座和第二支撑座对称设置，且环形分布在夹具本体的顶端外表面，能够为掩膜版每个面的两端进行限位，增加掩膜版的受力点，避免在清洗时因受力点集中而导致外层皮翘起。
11.作为本实用新型的优选技术方案，所述第一支撑座和第二支撑座内部均设置有限
位槽，所述限位槽内部设置有缓冲凸点。
12.采用上述技术方案，第一支撑座和第二支撑座通过限位槽与掩膜版外表面相互吻合，并且由缓冲凸点增加与掩膜版的摩擦力，避免在清洗时受力不均匀而导致掩膜版掉落。
13.作为本实用新型的优选技术方案，所述第一支撑座与第二支撑座的长度小于夹具本体厚度。
14.采用上述技术方案，第一支撑座与第二支撑座数量与位置分散均匀，使掩膜版外表面与第一支撑座与第二支撑座支撑点的受力更加稳定。
15.作为本实用新型的优选技术方案，所述螺杆与套筒为螺纹连接，所述套筒通过连接杆与清洗池相互连接，所述套筒与清洗池之间形成排水槽。
16.采用上述技术方案，螺杆与套筒内部螺纹传动，能够调节夹具本体的高度，并且高度保持一致，同时还可以调节掩膜版的朝向。
17.作为本实用新型的优选技术方案，所述夹具本体顶端设置有掩膜版，所述掩膜版与夹具本体为贴合活动连接。
18.采用上述技术方案，掩膜版以垂直的方式将四个顶角置放在第一支撑座与第二支撑座之间，不仅增加对掩膜版的受力点，同时还可以起到定位安装的作用，增加了整体的实用性。
19.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具：
20.1.通过设置八个支撑座对掩膜版的侧面进行固定，能够提高对掩膜版支撑的稳定性，避免在清洗过程中施力不均匀而导致掩膜版从夹具内部翘起，不仅增加了清洗的安全性，同时也增加了对掩膜版的清洗效率；
21.2.通过在夹具中端设置螺杆与套筒相互连接，以套筒为中心点和支撑点进行旋转调节，能够改变夹具整体的高度，并且保证了夹具整体的高度一致，不仅保证对掩膜版受力更加均衡，同时还增加了夹具整体的实用性。
附图说明
22.图1为本实用新型整体俯视结构示意图；
23.图2为本实用新型夹具本体与掩膜版俯视结构示意图；
24.图3为本实用新型夹具本体与清洗池内部正视结构示意图；
25.图4为本实用新型夹具本体立体结构示意图。
26.图中：1、夹具本体；2、连接臂；3、螺杆；4、第一支撑座；5、第二支撑座；6、限位槽；7、缓冲凸点；8、清洗池；9、连接杆；10、套筒；11、排水槽；12、掩膜版。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种提升9寸掩膜版清洗安全和清
洗效率的夹具，包括：
29.夹具本体1，为设备主要的夹持结构，夹具本体1的内表面设置有连接臂2，连接臂2的另一端连接有螺杆3；清洗池8，位于夹具本体1的底端，清洗池8的内表面设置有连接杆9；套筒10，位于夹具本体1的顶端，套筒10内部与的螺杆3外表面相互连接。
30.夹具本体1顶表面环形分布有第一支撑座4和第二支撑座5，第一支撑座4和第二支撑座5关于夹具本体1横竖切面镜像分布，第一支撑座4和第二支撑座5数量为8个；第一支撑座4和第二支撑座5对称设置，且环形分布在夹具本体1的顶端外表面，能够为掩膜版12每个面的两端进行限位，增加掩膜版12的受力点，避免在清洗时因受力点集中而导致外层皮翘起；第一支撑座4和第二支撑座5内部均设置有限位槽6，限位槽6内部设置有缓冲凸点7；第一支撑座4和第二支撑座5通过限位槽6与掩膜版12外表面相互吻合，并且由缓冲凸点7增加与掩膜版12的摩擦力，避免在清洗时受力不均匀而导致掩膜版12掉落；第一支撑座4与第二支撑座5的长度小于夹具本体1厚度；第一支撑座4与第二支撑座5数量与位置分散均匀，使掩膜版12外表面与第一支撑座4与第二支撑座5支撑点的受力更加稳定；螺杆3与套筒10为螺纹连接，套筒10通过连接杆9与清洗池8相互连接，套筒10与清洗池8之间形成排水槽11；螺杆3与套筒10内部螺纹传动，能够调节夹具本体1的高度，并且高度保持一致，同时还可以调节掩膜版12的朝向；夹具本体1顶端设置有掩膜版12，掩膜版12与夹具本体1为贴合活动连接；掩膜版12以垂直的方式将四个顶角置放在第一支撑座4与第二支撑座5之间，不仅增加对掩膜版12的受力点，同时还可以起到定位安装的作用，增加了整体的实用性。
31.工作原理：在使用该提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具时，首先将掩膜版12的四个顶角位置对应在第一支撑座4与第二支撑座5之间，并垂直向下置放，多组第一支撑座4与第二支撑座5内部的限位槽6对掩膜版12整体进行限位固定，随后旋转夹具本体1，由连接臂2为连接点连动螺杆3同步旋转，螺杆3与套筒10螺纹传动，使夹具本体1整体的可以进行垂直升降，便于高度的调节，随后对掩膜版12使用毛刷进行清洗，在清洗的过程中，缓冲凸点7增加与掩膜版12连接面的摩擦力，避免打滑导致掩膜版12滑出夹具本体1，同时由8个支撑点对掩膜版12侧面受力相互均衡，减少晃动或受力对掩膜版12造成的损伤，清洗的水从掩膜版12与夹具本体1缝隙中流入到清洗池8内，最终从排水槽11内排出，从而增加了整体的实用性。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。