一种钛合金镀镍反射镜及其低应力抛光方法与流程

技术特征：
1.一种钛合金镀镍反射镜，其特征在于：所述反射镜的正面是作为工作面的球面，背面设置有阶梯状结构，周向外缘是由圆形切去四周形成的偏心矩形形状。2.根据权利要求1所述钛合金镀镍反射镜，其特征在于：所述反射镜外缘所在最大外圆直径为反射镜曲率半径r1361.8mm。3.一种权利要求1所述钛合金镀镍反射镜的低应力抛光方法，其特征在于具体步骤如下：步骤一：对机加成形的钛合金反射镜镜坯进行精磨；步骤二：对步骤一中精磨后的钛合金反射镜镜坯进行镀镍，镀镍后的钛合金镀镍反射镜镜坯进行精磨；步骤三：对精磨后的钛合金镀镍反射镜镜坯进行抛光。4.根据权利要求3所述钛合金镀镍反射镜的低应力抛光方法，其特征在于：所述步骤一具体操作为：将钛合金反射镜镜坯和钛合金配盘用火漆固定于专用粘胶模上；使用和钛合金反射镜镜坯曲率半径一致的精磨模配合碳化硼磨料进行磨削；在此过程中需测量球面曲率，使曲率半径磨削误差控制在
±
10mm；待钛合金反射镜镜坯表面车刀纹去除后，分别使用#280和#302金刚砂对球面进行光顺。5.根据权利要求4所述钛合金镀镍反射镜的低应力抛光方法，其特征在于：所述钛合金配盘包括两部分，分别与钛合金镀镍反射镜相对两侧切去的部分结构、尺寸一致；两部分的外缘处与钛合金镀镍反射镜的最大外圆在同一圆周上，球面曲率半径也与钛合金镀镍反射镜相同；安装时，固定于钛合金镀镍反射镜的相对两侧，将其压紧固定。6.根据权利要求4所述钛合金镀镍反射镜的低应力抛光方法，其特征在于：所述粘胶模的正面平面上设置有与钛合金镀镍反射镜背面一致的阶梯状结构，用于配合安装钛合金反射镜；粘胶模正面中心设置有定心圆柱，能够与钛合金反射镜背面圆心圆孔配合，便于零件定心。7.根据权利要求3所述钛合金镀镍反射镜的低应力抛光方法，其特征在于：所述步骤二具体操作为：将镀镍后的钛合金镀镍反射镜和玻璃配盘用火漆固定于专用粘胶模上；使用和镀镍后的钛合金镀镍反射镜曲率半径一致的精磨模配合#280和#302金刚砂对球面进行精磨；精磨过程中随时测量，使曲率半径精磨误差控制在
±
5mm。8.根据权利要求7所述钛合金镀镍反射镜的低应力抛光方法，其特征在于：所述玻璃配盘包括两部分，分别与钛合金镀镍反射镜相对两侧切去的部分结构、尺寸一致；两部分的外缘处与钛合金镀镍反射镜的最大外圆在同一圆周上，球面曲率半径也与钛合金镀镍反射镜相同；安装时，设置与钛合金镀镍反射镜的相对两侧，将其压紧固定。9.根据权利要求8所述钛合金镀镍反射镜的低应力抛光方法，其特征在于：所述玻璃配盘材料为光学玻璃k9。10.根据权利要求3所述钛合金镀镍反射镜的低应力抛光方法，其特征在于：步骤三具体操作为：将步骤二精磨后的钛合金镀镍反射镜清洗干净，使用2轴抛光机进行抛光，抛光粉采用氧化铝，抛光时使用样板观察球面，控制光圈5道以内。

技术总结
本发明提供了一种钛合金镀镍反射镜及其低应力抛光方法，属于光学零件制造技术领域；采用钛合金配盘、玻璃配盘与专用粘胶模配合使用，分别对钛合金镀镍反射镜进行两次精磨，使零件前后受力均匀，减小局部应力，大大降低零件下盘后的变形程度。能够改善零件表面疵病和变形问题的抛光方法，用于提高零件的成品率，缩短加工周期。且成品能够达到光洁度4级，面型精度5道圈的钛合金镀镍反射镜；进而能够提高其所用设备的精度。其所用设备的精度。其所用设备的精度。


技术研发人员：袁武权 陈志航 李季昌 李辛 薛萌 刘楚 杨朔
受保护的技术使用者：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
技术研发日：2021.09.30
技术公布日：2022/2/7