1.本实用新型属于分子泵技术领域，尤其是涉及一种磁悬浮式分子泵。
背景技术：
2.分子泵是一种常用的真空获得设备，它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，使气体被压缩并驱向至排气口，再使气体被前级抽走的一种真空泵。磁悬浮分子泵是利用磁轴承将分子泵转子悬浮在空中，可以实现转子在高速工作过程中无接触、无摩擦、无需润滑的一种分子泵。由于磁悬浮分子泵具有上述优点，因此被广泛的应用到高真空度、高清洁度的真空环境获得领域中。磁悬浮式分子泵由于其在工作过程中转速较快，因此对其安装结构的稳定性尤为重要，此外能够保证磁悬浮分子泵安装后处于水平状态，能够提高其内部磁悬浮轴承转动的稳定性。
技术实现要素：
3.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种能够提高工作状态稳定性的磁悬浮式分子泵。
4.为了解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：一种磁悬浮式分子泵，包括机架、安装板、固定板、调节板、顶套板、拉紧螺杆、调节螺杆、方形滑杆、导向杆、千分表和分子泵主体，所述安装板固定安装在机架底部，所述安装板上设置有安装孔，所述固定板固定安装在机架顶部，所述调节板左端铰接安装在固定板上，所述分子泵主体上设置有卡槽，所述顶套板套接固定安装在分子泵主体的卡槽内，所述分子泵主体下部置于调节板上，所述拉紧螺栓上、下两端分别通过锁母与顶套板、调节板锁紧固定连接，所述调节螺杆螺接安装在固定板右端，所述所述调节螺杆顶端还螺接安装在调节板内，所述顶套板上固定设置有水平尺，两根导向杆对称且固定安装在机架、安装板上，所述方形滑杆两端滑动安装在导向杆上，所述千分表滑动安装在方形滑杆上，所述固定板上设置有供千分表触头穿过的条形通孔，所述千分表的触头可抵在调节板底面上，所述方形滑杆上螺接安装有用于将其压紧固定在导向杆上的第一压紧螺栓。
5.作为优选，所述第一压紧螺栓的头部固定安装有操作手轮。
6.作为优选，所述操作手轮上固定包覆设置有防滑橡胶套。
7.作为优选，所述安装板通过锁紧螺栓螺接固定安装在机架底部。
8.作为优选，所述千分表上螺接设置有用于将其压紧固定在方形滑杆上的第二压紧螺栓。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益之处是：通过拉紧螺杆和顶套板将分子泵主体固定安装在调节板上之后，转动调节螺杆将安装在调节板上的分子泵主体调节至水平状态，通过观察水平尺进行判断分子泵主体是否处于水平状态，虽然调节螺杆与调节板螺接属于刚性连接结构，但是在调节螺杆、调节板以及调节调节板与固定板之间铰接转轴的材料屈服作用下，调节板可在-3
°
～3
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的范围进行调节，以实现对分子泵主体水平状态的微
调，旋松第一压紧螺栓对方形滑杆进行调节，使千分表压接在调节板的底面上，再拧紧第一压紧螺栓对方形滑杆进行固定，在分子泵主体工作过程中，可通过观察千分表指针判断分子泵主体在运行过程中的平稳性。
10.附图说明：
11.下面结合附图对本实用新型进一步说明。
12.图1是本实用新型的结构示意图。
13.具体实施方式：
14.下面结合具体实施方式对本实用新型进行详细描述：
15.如图1所示的一种磁悬浮式分子泵，包括机架1、安装板11、固定板2、调节板3、顶套板4、拉紧螺杆5、调节螺杆6、方形滑杆7、导向杆8、千分表9和分子泵主体10，所述安装板11固定安装在机架1底部，所述安装板11上设置有安装孔，所述固定板2固定安装在机架1顶部，所述调节板3左端铰接安装在固定板2上，所述分子泵主体2上设置有卡槽101，所述顶套板4套接固定安装在分子泵主体2的卡槽10内，所述分子泵主体10下部置于调节板3上，所述拉紧螺栓5上、下两端分别通过锁母与顶套板4、调节板3锁紧固定连接，所述调节螺杆6螺接安装在固定板2右端，所述所述调节螺杆6顶端还螺接安装在调节板3内，所述顶套板4上固定设置有水平尺102，两根导向杆8对称且固定安装在机架1、安装板11上，所述方形滑杆7两端滑动安装在导向杆8上，所述千分表7滑动安装在方形滑杆7上，所述固定板2上设置有供千分表7触头穿过的条形通孔，所述千分表7触头可在调节通孔内滑动，以实现与调节板3底面不同位置进行监测，所述千分表7的触头可抵在调节板3底面上，所述方形滑杆7上螺接安装有用于将其压紧固定在导向杆8上的第一压紧螺栓72。
16.为了便于对第一压紧螺栓72进行旋转操作，所述第一压紧螺栓72的头部固定安装有操作手轮，此外为了增加操作人员手与操作手轮之间的摩擦力，防止出现打滑，所述操作手轮上固定包覆设置有防滑橡胶套。
17.所述安装板11通过锁紧螺栓12螺接固定安装在机架1底部，采用锁紧螺栓12固定的方式具有便于拆装的优点。
18.进一步为了实现对千分表9的位置进行限位固定，所述千分表9上螺接设置有用于将其压紧固定在方形滑杆7上的第二压紧螺栓。
19.通过拉紧螺杆5和顶套板4将分子泵主体10固定安装在调节板3上之后，转动调节螺杆6将安装在调节板3上的分子泵主体10调节至水平状态，通过观察水平尺102进行判断分子泵主体10是否处于水平状态，虽然调节螺杆6与调节板3螺接属于刚性连接结构，但是在调节螺杆6、调节板3以及调节调节板3与固定板2之间铰接转轴的材料屈服作用下，调节板可在-3
°
～3
°
的范围进行调节，以实现对分子泵主体10水平状态的微调，旋松第一压紧螺栓72对方形滑杆7进行调节，使千分表9压接在调节板3的底面上，再拧紧第一压紧螺栓72对方形滑杆7进行固定，在分子泵主体10工作过程中，可通过观察千分表9指针判断分子泵主体10在运行过程中的平稳性。
20.需要强调的是：对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要
求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。
技术特征：
1.一种磁悬浮式分子泵，其特征在于：包括机架（1）、安装板（11）、固定板（2）、调节板（3）、顶套板（4）、拉紧螺杆（5）、调节螺杆（6）、方形滑杆（7）、导向杆（8）、千分表（9）和分子泵主体（10），所述安装板（11）固定安装在机架（1）底部，所述安装板（11）上设置有安装孔，所述固定板（2）固定安装在机架（1）顶部，所述调节板（3）左端铰接安装在固定板（2）上，所述分子泵主体（2）上设置有卡槽（101），所述顶套板（4）套接固定安装在分子泵主体（2）的卡槽（10）内，所述分子泵主体（10）下部置于调节板（3）上，所述拉紧螺栓（5）上、下两端分别通过锁母与顶套板（4）、调节板（3）锁紧固定连接，所述调节螺杆（6）螺接安装在固定板（2）右端，所述所述调节螺杆（6）顶端还螺接安装在调节板（3）内，所述顶套板（4）上固定设置有水平尺（102），两根导向杆（8）对称且固定安装在机架（1）、安装板（11）上，所述方形滑杆（7）两端滑动安装在导向杆（8）上，所述千分表（7）滑动安装在方形滑杆（7）上，所述固定板（2）上设置有供千分表（7）触头穿过的条形通孔，所述千分表（7）的触头可抵在调节板（3）底面上，所述方形滑杆（7）上螺接安装有用于将其压紧固定在导向杆（8）上的第一压紧螺栓（72）。2.根据权利要求1所述的磁悬浮式分子泵，其特征在于：所述第一压紧螺栓（72）的头部固定安装有操作手轮。3.根据权利要求1所述的磁悬浮式分子泵，其特征在于：所述操作手轮上固定包覆设置有防滑橡胶套。4.根据权利要求1所述的磁悬浮式分子泵，其特征在于：所述安装板（11）通过锁紧螺栓（12）螺接固定安装在机架（1）底部。5.根据权利要求1所述的磁悬浮式分子泵，其特征在于：所述千分表（9）上螺接设置有用于将其压紧固定在方形滑杆（7）上的第二压紧螺栓。
技术总结
本实用新型公开了一种磁悬浮式分子泵，包括机架、安装板、固定板、调节板、顶套板、拉紧螺杆、调节螺杆、方形滑杆、导向杆、千分表和分子泵主体，所述安装板固定安装在机架底部，顶套板套接固定安装在分子泵主体的卡槽内，所述分子泵主体下部置于调节板上，所述拉紧螺栓上、下两端分别通过锁母与顶套板、调节板锁紧固定连接。调节板可在-3
技术研发人员：刘小利
受保护的技术使用者：苏州宝晶新材料科技有限公司
技术研发日：2021.09.09
技术公布日：2022/2/7
再多了解一些
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