一种便于抽氢气的吸附阵结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空技术领域，尤其涉及一种便于抽氢气的吸附阵结构。


背景技术：

2.在一些特定的领域，真空系统只对氢气的抽速需求特别高，真空系统中其他气体含量较少，目前是选能满足其对氢气抽速的低温泵，相对具有抽氢型吸附阵的低温泵，其口径更大，用电功耗也风大，增加了采购成本和使用功耗，造成了资源浪费。例如申请号为201220700440.4的用于制冷机型低温泵的槽型吸附阵结构，虽然吸附板的吸附面积增大，吸附板的尺寸也统一，但其口径太大，能耗比较高，同时吸附板的吸附能够力也不是很高。


技术实现要素：

3.本实用新型针对现有技术中的缺点，提供一种便于抽氢气的吸附阵结构。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决：
5.一种便于抽氢气的吸附阵结构，包括数量为多片的吸附板，每片吸附板上安装有数量为多个的活性炭。还包括上固定法兰和下支撑板，吸附板通过铆钉固定在上固定法兰与下支撑板之间，吸附板包括第一折弯板，第一折弯板两侧分别折弯形成第二折弯板和第三折弯板，第二折弯板与上固定法兰固定连接，第三折弯板与下支撑板固定连接，第一折弯板倾斜且均布在上固定法兰与下支撑板之间，下支撑板形状为圆环形。本吸附阵结构在同口径的低温泵中，其对氢气的抽速提高了50％以上。每块吸附板都直接和上固定法兰进行紧密铆接，减少了热传导引起的温度不均衡，更易使吸附板的每个区域的温度都能在20k以下；多面进气，同时圆周面无缝隙，保证分子在运动过程中，均能接触20k以下的吸附面，提高的抽气速度。
6.作为优选，第二折弯板上设有数量至少为两个的铆钉孔，所有铆钉孔的中轴线都在同一水平面上，最靠近上固定法兰中轴线的铆钉孔的中轴线与上固定法兰的中轴线形成第一平面，第一平面与第一折弯板的侧面夹角为45
°
。
7.作为优选，第一折弯板的两侧面都布满有活性炭，所有活性炭矩形阵列在第一折弯板的侧面上，活性炭粘接在第一折弯板上。增加了吸附板的吸附表面积，从而提高了抽气速度。
8.作为优选，靠近上固定法兰的第一折弯板一侧折弯形成第四折弯板，第四折弯板的两侧面都布满有活性炭，所有活性炭矩形阵列在第四折弯板的侧面上，所有活性炭粘接在第四折弯板上。增加了吸附板的吸附表面积，从而提高了抽气速度。
9.作为优选，上固定法兰上设有数量为多个且设置在吸附板周边的过气孔，过气孔贯通上固定法兰，吸附板上部分区域的活性炭投影覆盖在上固定法兰的过气孔上。上固定法兰采用多个过气孔的形式，使得吸附气体能够从多面，多角度进入吸附阵中，提高了吸附效率。
10.作为优选，第一折弯板上的活性炭投影覆盖的过气孔数量至少为两个，上固定法
兰上最外侧的过气孔的孔径大于上固定法兰其他位置上的过气孔的孔径。上固定法兰采用多个过气孔的形式，使得吸附气体能够从多面，多角度进入吸附阵中，提高了吸附效率。
11.作为优选，上固定法兰与吸附板之间安装有铟片。铟片能够保证良好的传热效果。
12.作为优选，上固定法兰、吸附板、下支撑板均采用无氧铜板，上固定法兰、吸附板、下支撑板的表面均镀亮镍，保证良好的传热的同时，具有优良的发射作用。
13.本实用新型由于采用了以上技术方案，具有显著的技术效果：
14.吸附阵结构在同口径的低温泵中，其对氢气的抽速提高了50％以上。每块吸附板都直接和上固定法兰进行紧密铆接，减少了热传导引起的温度不均衡，更易使吸附板的每个区域的温度都能在20k以下；多面进气，同时圆周面无缝隙，保证分子在运动过程中，均能接触20k以下的吸附面，提高的抽气速度。
附图说明
15.图1是本实用新型第一位置状态下的结构示意图。
16.图2是本实用新型第二位置状态下的结构示意图。
17.图3是图2中左视结构示意图。
18.图4是图2中右视结构示意图。
19.图5是图1中吸附板及其上活性炭的结构示意图。
20.以上附图中各数字标号所指代的部位名称如下其中：
21.1—吸附板
22.2—活性炭
23.3—上固定法兰
24.4—下支撑板
25.5—铟片
26.11—第一折弯板
27.12—第二折弯板
28.13—第三折弯板
29.14—第四折弯板
30.31—过气孔
31.121—铆钉孔
具体实施方式
32.下面结合附图1
‑
5与实施例对本实用新型作进一步详细描述。
33.实施例1
34.一种便于抽氢气的吸附阵结构，包括数量为多片的吸附板1，本实施例吸附板1的数量为16片，每片吸附板1上安装有数量为多个的活性炭2，吸附阵结还包括上固定法兰3和下支撑板4，吸附板1通过铆钉固定在上固定法兰3与下支撑板4之间，铆钉采用紫铜铆钉。吸附板1包括第一折弯板11，第一折弯板11两侧分别垂直折弯形成第二折弯板12和第三折弯板13，第二折弯板12的长度大于第三折弯板13长度。第二折弯板12与上固定法兰3固定连接，第二折弯板12通过两个铆钉将其固定在上固定法兰3上。第三折弯板13与下支撑板4固
定连接，第三折弯板13通过一个铆钉将其固定在下支撑板4上，第一折弯板11倾斜且均布在上固定法兰3与下支撑板4之间。下支撑板4形状为圆环形，环形的下支撑板4能够减少对吸附气体的阻碍。吸附阵结构在同口径的低温泵中，其对氢气的抽速提高了50％以上。每块吸附板1都直接和上固定法兰3进行紧密铆接，减少了热传导引起的温度不均衡，更易使吸附板1的每个区域的温度都能在20k以下；多面进气，同时圆周面无缝隙，保证分子在运动过程中，均能接触20k以下的吸附面，提高的抽气速度。
35.第二折弯板12上设有数量至少为两个的铆钉孔121，本实施例第二折弯板12上铆钉孔121的数量为两个，所有铆钉孔121的中轴线都在同一水平面上，最靠近上固定法兰3中轴线的铆钉孔121的中轴线与上固定法兰3的中轴线形成第一平面，第一平面与第一折弯板11的侧面夹角为45
°
。
36.第一折弯板11的两侧面都布满有活性炭2，增加了第一折弯板11的吸附表面积，提高了抽气速度。所有活性炭矩形阵列在第一折弯板11的侧面上，活性炭2粘接在第一折弯板11上。
37.靠近上固定法兰3的第一折弯板11一侧折弯形成第四折弯板14，第四折弯板14的两侧面都布满有活性炭2，所有活性炭2矩形阵列在第四折弯板14的侧面上，所有活性炭2粘接在第四折弯板14上，增加了第四折弯板14的吸附表面积，提高了抽气速度。
38.上固定法兰3上设有数量为多个且设置在吸附板1周边的过气孔31，本实施例每个吸附板1的周边设有三个过气孔31，过气孔31贯通上固定法兰3，吸附板1上部分区域的活性炭2投影覆盖在上固定法兰3的过气孔31上，吸附阵的上固定法3兰采用多个过气孔31的形式，使得吸附气体能够从多面，多角度进入吸附阵。
39.第一折弯板11上的活性炭2投影覆盖的过气孔31数量为两个，上固定法兰3上最外侧的过气孔31的孔径大于上固定法兰3其他位置上的过气孔31的孔径。吸附阵的上固定法3兰采用多个过气孔31的形式，使得吸附气体能够从多面，多角度进入吸附阵。
40.上固定法兰3、吸附板1、下支撑板4均采用无氧铜板，上固定法兰3、吸附板1、下支撑板4的表面均镀亮镍，保证良好的传热的同时，具有优良的发射作用。
41.实施例2
42.一种便于抽氢气的吸附阵结构，包括数量为多片的吸附板1，本实施例吸附板1的数量为16片，每片吸附板1上安装有数量为多个的活性炭2，吸附阵结还包括上固定法兰3和下支撑板4，吸附板1通过铆钉固定在上固定法兰3与下支撑板4之间，铆钉采用紫铜铆钉。吸附板1包括第一折弯板11，第一折弯板11两侧分别垂直折弯形成第二折弯板12和第三折弯板13，第二折弯板12的长度大于第三折弯板13长度。第二折弯板12与上固定法兰3固定连接，第二折弯板12通过两个铆钉将其固定在上固定法兰3上。第三折弯板13与下支撑板4固定连接，第三折弯板13通过一个铆钉将其固定在下支撑板4上，第一折弯板11倾斜且均布在上固定法兰3与下支撑板4之间。下支撑板4形状为圆环形，环形的下支撑板4能够减少对吸附气体的阻碍。吸附阵结构在同口径的低温泵中，其对氢气的抽速提高了50％以上。每块吸附板1都直接和上固定法兰3进行紧密铆接，减少了热传导引起的温度不均衡，更易使吸附板1的每个区域的温度都能在20k以下；多面进气，同时圆周面无缝隙，保证分子在运动过程中，均能接触20k以下的吸附面，提高的抽气速度。
43.第二折弯板12上设有数量至少为两个的铆钉孔121，本实施例第二折弯板12上铆
钉孔121的数量为两个，所有铆钉孔121的中轴线都在同一水平面上，最靠近上固定法兰3中轴线的铆钉孔121的中轴线与上固定法兰3的中轴线形成第一平面，第一平面与第一折弯板11的侧面夹角为45
°
。
44.第一折弯板11的两侧面都布满有活性炭2，增加了第一折弯板11的吸附表面积，提高了抽气速度。所有活性炭矩形阵列在第一折弯板11的侧面上，活性炭2粘接在第一折弯板11上。
45.上固定法兰3上设有数量为多个且设置在吸附板1周边的过气孔31，本实施例每个吸附板1的周边设有三个过气孔31，过气孔31贯通上固定法兰3，吸附板1上部分区域的活性炭2投影覆盖在上固定法兰3的过气孔31上，吸附阵的上固定法3兰采用多个过气孔31的形式，使得吸附气体能够从多面，多角度进入吸附阵。
46.第一折弯板11上的活性炭2投影覆盖的过气孔31数量为两个，上固定法兰3上最外侧的过气孔31的孔径大于上固定法兰3其他位置上的过气孔31的孔径。吸附阵的上固定法3兰采用多个过气孔31的形式，使得吸附气体能够从多面，多角度进入吸附阵。
47.上固定法兰3、吸附板1、下支撑板4均采用无氧铜板，上固定法兰3、吸附板1、下支撑板4的表面均镀亮镍，保证良好的传热的同时，具有优良的发射作用。
48.实施例3
49.实施例3与实施例1或2特别基本相同，不同的是上固定法兰3与吸附板1之间安装有铟片5。铟片5能够保证良好的传热效果。