一种等离子处理真空腔体结构的制作方法

1.本实用新型涉及等离子技术领域，更具体的，涉及一种等离子处理真空腔体结构。


背景技术：

2.现在市面上的真空式等离子处理设备，大都是独立于自动化体系的单独机台，等离子处理设备的腔体结构设计要求必须人工进行取料和放料，这大大影响了处理效率。
3.针对上述问题，申请号为202020488764.0的专利文献，公开了一种等离子处理真空腔体结构，包括绝缘体、电极板、第一腔体和与所述第一腔体相配合的第二腔体，所述绝缘体设置于所述第一腔体内，所述电极板设置于所述绝缘体靠近第二腔体的一侧面上，所述第一腔体、第二腔体围成等离子处理空间。将等离子处理腔体结构设计为可拆分的第一腔体和第二腔体，第一腔体用于固定绝缘体和电极板等部件，第二腔体可用于运输待处理产品，搭配自动传送生产线等可实现自动上下料，提高产品处理效率。
4.但上述装置整体结构中，包含大量的单独处理部件，同时其中的部件和外部设备进行配合使用，在实际使用的过程中，这些单独设置的部件在其中一个出现问题的时候，就需要将其他连带的单独部件进行逐一拆除排查，费时费力不说，且在拆除的时候易造成其他精密部件损坏，装置结构整体性较差。


技术实现要素：

5.本实用新型旨在解决，现有的装置整体结构中，包含大量的单独处理部件，同时其中的部件和外部设备进行配合使用，在实际使用的过程中，这些单独设置的部件在其中一个出现问题的时候，就需要将其他连带的单独部件进行逐一拆除排查，费时费力不说，且在拆除的时候易造成其他精密部件损坏，装置结构整体性较差，提供一种等离子处理真空腔体结构。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子处理真空腔体结构，包括主体、通气法兰、放置底板和导电柱，所述通气法兰固定连接在主体的外端一侧，和主体相通设置，所述放置底板设置在主体的底端位置，所述导电柱固定嵌入在主体和放置底板之间，所述主体的内部嵌入设置有总成安装板，所述总成安装板的内侧固定连接有第一限位框和第二限位框，所述第一限位框的底部固定连接有支撑侧板，所述第二限位框的内侧嵌入设置有电极板，所述电极板的表面固定连接有导电条，所述电极板的外端固定连接有绝缘套，所述第一限位框的内侧嵌入设置有导气管，所述导气管表面固定连接有进气支管，所述导气管的表面固定连接有海绵层。
7.进一步优选方案：总成安装板两端呈向上垂直突出设置，且两端突出的顶端位置呈横向折角设置，主体的顶端边缘位置对应总成安装板的两端开设有固定槽。
8.进一步优选方案：第一限位框和第二限位框两者均呈横向设置，竖向排列在总成安装板的内侧底部位置。
9.进一步优选方案：第一限位框两端呈翻转设置，且呈弧形设置，第二限位框的表面
均匀分布线路透孔。
10.进一步优选方案：支撑侧板呈横向设置，位于第一限位框的外端底部位置。
11.进一步优选方案：导电条设置两组，分布在电极板的竖向两端位置，且呈“l”状向下折角设置。
12.进一步优选方案：绝缘套设置为海绵套，套接在电极板的外端边缘位置。
13.进一步优选方案：进气支管两个一组，均匀分布设置，且内侧表面设置透孔。
14.本实用新型提供了一种等离子处理真空腔体结构，具有以下有益效果：
15.本实用新型,通过总成安装板将装置内部的部件进行集中安装，提高装置整体性，便于实际使用。
16.本实用新型,通过第一限位框和第二限位框达到对导气管和电极板进行限位固定安装的效果，第二限位框表面开设的透孔便于电极板线路的连接，而第一限位框翻转设置，便于对导气管进行夹持固定。
17.本实用新型,通过支撑侧板达到对导气管进行支撑的效果，呈“l”状设置的导电条，便于将连接线路和电极板进行连接，同时连接之后线路集中在总成安装板的底部位置，便于后期的线路检修。
18.本实用新型,通过绝缘套达到杜绝电极板2的非正常功率产生和降低设备危险性，且拆卸简单，便于更换，将外部物品放置在放置底板上的时候，进气支管分布在外部物品的四周位置，通过进气支管达到更好的对物品进行等离子清洁的效果
附图说明
19.图1为本实用新型装置展开状态结构示意图。
20.图2为本实用新型装置整体结构分解图。
21.图3为本实用新型装置图2中a处结构放大图。
22.图1-3中：1、主体；2、通气法兰；3、放置底板；4、总成安装板；5、导电柱；6、电极板；7、导电条；8、绝缘套；9、导气管；10、进气支管；11、海绵层；12、第一限位框；13、支撑侧板；14、第二限位框。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图1-3，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.实施例：
25.请参阅图1至3：
26.本实施例提供进一步优选方案一种等离子处理真空腔体结构，包括主体1、通气法兰2、放置底板3和导电柱5，通气法兰2固定连接在主体1的外端一侧，和主体1相通设置，放置底板3设置在主体1的底端位置，导电柱5固定嵌入在主体1和放置底板3之间，主体1的内部嵌入设置有总成安装板4，总成安装板4的内侧固定连接有第一限位框12和第二限位框14，第一限位框12的底部固定连接有支撑侧板13，第二限位框14的内侧嵌入设置有电极板
6，电极板6的表面固定连接有导电条7，电极板6的外端固定连接有绝缘套8，第一限位框12的内侧嵌入设置有导气管9，导气管9表面固定连接有进气支管10，导气管9的表面固定连接有海绵层11。
27.进一步的，总成安装板4两端呈向上垂直突出设置，且两端突出的顶端位置呈横向折角设置，主体1的顶端边缘位置对应总成安装板4的两端开设有固定槽，通过总成安装板4将装置内部的部件进行集中安装，提高装置整体性，便于实际使用。
28.进一步的，第一限位框12和第二限位框14两者均呈横向设置，竖向排列在总成安装板4的内侧底部位置。
29.进一步的，第一限位框12两端呈翻转设置，且呈弧形设置，第二限位框14的表面均匀分布线路透孔，通过第一限位框12和第二限位框14达到对导气管9和电极板6进行限位固定安装的效果，第二限位框14表面开设的透孔便于电极板6线路的连接，而第一限位框12翻转设置，便于对导气管9进行夹持固定。
30.进一步的，支撑侧板13呈横向设置，位于第一限位框12的外端底部位置，通过支撑侧板13达到对导气管9进行支撑的效果。
31.进一步的，导电条7设置两组，分布在电极板6的竖向两端位置，且呈“l”状向下折角设置，呈“l”状设置的导电条7，便于将连接线路和电极板6进行连接，同时连接之后线路集中在总成安装板4的底部位置，便于后期的线路检修。
32.进一步的，绝缘套8设置为海绵套，套接在电极板6的外端边缘位置，通过绝缘套8达到杜绝电极板6的非正常功率产生和降低设备危险性，且拆卸简单，便于更换。
33.进一步的，进气支管10两个一组，均匀分布设置，且内侧表面设置透孔，将外部物品放置在放置底板4上的时候，进气支管10分布在外部物品的四周位置，通过进气支管10达到更好的对物品进行等离子清洁的效果。
34.工作原理：等离子处理真空腔体结构工作时，待处理产品放置在放置底板3上，主体和放置底板3紧密结合，此时主体1和放置底板3之间通过导电条7对节嵌合，同时使得主体1和放置底板3电性导通，之后外部设备通过通气法兰2处抽取等离子处理空间内的气体，使得主体1内部进入低压状态，之后外部等离子电源供应高频电场通过导电条7和电极板6进行连接，电极板6外端设置的绝缘套8，更好得杜绝电极板6的非正常功率产生及降低设备的危险性，使得功耗大大降低，等离子产生浓度提升，处理产品效果更佳，此时主体1内部满足辉光放电条件，配合外部设备使得工艺气体进入进气支管10，通过进气支管10进入主体1内部，即可产生等离子体对等离子处理空间内的产品进行全方位的等离子清洁，最后通过导气管9处充入气体使得主体1内部恢复常压状态，同时停止等离子电源和工艺气体输入，主体1和放置底板3分开，取出产品即可，在装置内部部件出现异常需要进行更换检修的时候，使用人员直降将总成安装板4从主体1内部取出，依次对部件进行排查拆卸即可，在进行故障部件进行拆除的时候，其余部件集中在总成安装板4上，保持装置部件的整体性和稳定性。
35.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对应本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。