阀的耐压检查装置的制作方法

1.本发明涉及阀的耐压检查装置，特别涉及通过将耐压检查用的被检查空间从外部隔开来抑制对被检查空间的影响的阀的耐压检查装置。


背景技术：

2.以往，作为对被检查体进行耐压检查的装置，例如公开了专利文献1的泄漏检测装置。该装置是借助车体的泄漏进行耐压检查的装置，构成为，在向车体内注入了检漏气体（search gas）的状态下，试料采取器在车体表面移动，用气体传感器检测从在车体产生的泄漏流路的泄漏。在此情况下，作为检漏气体一般使用的氢气、氦气扩散性较高，所以将从试料采取器流出的空气向车辆表面吹而在它们之间形成环状的空气幕（air curtain），在设在该空气幕的内侧的试料采取空间中检测来自泄漏流路的检漏气体。通过这样将试料采取空间和外部气体环境用空气幕隔开，想要将试料采取空间设定为较小而使扩散性较高的检漏气体的检测容易进行，同时防止外部气体向检查空间的渗入而准确地检测试料采取空间内的检漏气体的泄漏。
3.专利文献2的泄漏检测器是检测从带有原动机的车辆的车体表面的信号气体的泄漏的耐压检查用的装置。在该装置中，能够扫描地设有检测信号气体（氦气）的检测头，在该检测头，除了构成隔离气体的幕（空气幕）的环状开口部以外，还在该环状开口部的外周部形成有多个节流孔。由此，想要经由节流孔使相等质量流量的空气以环状流动，在防止局部性的空气的喷出的状态下设置均等的空气幕，由该空气幕构成检查空间来防止外部气体的影响。
4.另一方面，专利文献3的气体泄漏检测装置为了检测来自设在半导体制造设备的空压阀的泄漏气体、进行耐压检查而被使用，设置为使用由圆筒状的壳体构成的捕集部来防止气体向外部的泄漏的构造。捕集部被安装为，从下端的开口部将阀装入而将阀从上方覆盖，在开口部安装盖部件。盖部件被形成为大致半圆形状，在其内周侧形成有能够与阀的外周面抵接的槽。在该槽和盖部件的一外缘部涂敷粘接剂，通过将槽与阀外周面、将一外缘部与捕集部的开口部分别结合，将开口部用盖部件封闭。由此，在阻止向外部的气体泄漏的同时，在规定的容积的捕集部内检测从阀漏出的气体，来探索阀的损坏。
5.现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表昭58－500672号公报专利文献2：日本特开昭60－73329号公报专利文献3：日本特表2016－536623号公报。


技术实现要素：

6.发明要解决的课题专利文献1及专利文献2是构成为将从检测侧喷出的空气向车辆表面吹而在这些
检测侧与车辆表面之间设置空气幕的装置，在作为被检查对象的车辆表面为大致平坦面、检查从该大致平坦面的一部分的表面的泄漏的情况下被使用。在这些装置中，难以在与凹凸形状的阀之间设置将检查区域隔开的空气幕，对阀进行耐压检查较为困难。
7.在这些装置中，由于检测部是在车体的表面移动来检测泄漏的装置，所以不能一次实施车辆的一部分或全部的耐压检查，为了对车辆整体进行检查而需要大量的时间。
8.另一方面，专利文献3的气体泄漏检测装置是固定安装在与半导体制造设备的流路连接的各阀，在安设固定的状态下检测从各阀发生的泄漏的装置。因此，难以使用该检查装置连续地实施不同的供试阀的耐压检查。该装置是检测从装入在捕集部内的阀整体的气体泄漏的装置，不能检查从阀的一部分的泄漏。
9.本发明是为了解决以往的课题而开发的，其目的在于提供一种阀的耐压检查装置，所述阀的耐压检查装置能够将检查泄漏的空间设定为较小而使检漏气体的检测容易进行，同时通过防止外部气体向该空间的渗入而能够在短时间一次准确地检查从供试阀的一部分或全部的泄漏，能够对不同的供试阀连续地进行耐压检查。
10.用来解决课题的手段为了达成上述目的，有关技术方案1的发明是一种阀的耐压检查装置，具备：罩主体，将供试阀的一部分或全部以非密封状态包围；气体传感器，被装接在该罩主体内的被检查空间；以及空气幕，区划形成将罩主体的外部环境区域与罩主体的被检查空间连通的连通区域；构成为，抑制由外部环境区域的环境气体带来的对被检查空间内的检漏气体的影响。
11.有关技术方案2的发明是一种阀的耐压检查装置，借助从设在罩主体的下部处的开口部的开口缘出来的空气幕，将外部与被检查空间遮断。
12.有关技术方案3的发明是一种阀的耐压检查装置，构成为，在空气幕通过从开口缘朝向内侧吹出空气而将开口部堵塞的状态下，不受外部环境区域的环境气体的影响。
13.有关技术方案4的发明是一种阀的耐压检查装置，设有用来对罩主体的被检查空间内进行空气吹扫的空气吹扫流路。
14.有关技术方案5的发明是一种阀的耐压检查装置，构成为，用罩主体将供试阀的耐压检查部位包围而进行耐压检查。
15.发明效果根据有关技术方案1的发明，通过用罩主体将供试阀的一部分或全部包围，能够将被检查空间设定为较小而使检漏气体的检测容易进行，同时通过用空气幕区划形成将罩主体的外部环境区域与被检查空间连通的连通空间，能够将供试阀的被检查部位从外部隔开，防止外部环境区域的环境气体的渗入而抑制其影响。由此，能够使来自供试阀的检漏气体扩散到被空气幕隔开的被检查空间后使其滞留，用气体传感器一次检测来自该供试阀的泄漏而在短时间高精度地实施耐压检查。并且，防止检漏气体从被检查空间向外部环境区域的泄漏，没有给外部的设备等带来不良影响的可能。由于是将罩主体移动而将供试阀的一部分或全部以非密封状态包围、然后能够用空气幕将外部环境区域的环境气体遮断的结构，所以能够对不同的供试阀的一部分或全部连续地进行耐压检查。
16.根据有关技术方案2的发明，即使在对供试阀的阀杆轴密封部等突出部位进行耐压检查的情况下，也能够借助从开口部的开口缘出来的空气幕将外部与被检查空间可靠地
遮断，可靠地防止外部环境区域的环境气体向该被检查空间内的渗入而高精度地检测检漏气体。
17.根据有关技术方案3的发明，通过从罩主体的开口缘朝向内侧吹出的空气相互碰撞，将开口部包围以将其堵塞，能够用空气幕将外部环境区域的环境气体遮断而阻止向罩主体内的渗入，可靠地检测从供试阀整体向罩主体内的泄漏。由此，即使在供试阀的种类、等级、尺寸不同的情况下，也能够在将该供试阀收纳于罩主体的状态下，在抑制外部的环境气体的影响的同时实施高精度的耐压检查。
18.根据有关技术方案4的发明，通过设置对被检查空间内进行空气吹扫的空气吹扫流路，能够经由该空气吹扫流路将被检查空间内的检漏气体迅速地排出，能够在耐压检查后对下个供试阀在短时间进行耐压检查。进而，如果用空气幕防止来自外部的环境气体向被检查空间的渗入，则还能够更快地将检漏气体排出。
19.根据有关技术方案5的发明，能够对供试阀的耐压检查部位部分性地进行耐压检查，能够对组装途中的供试阀的一部分进行耐压检查。并且，通过用规定大小的被检查空间将供试阀包围，能够使耐压检查所需要的时间成为大致一定，还能够实现耐压检查的自动化。进而，如果将被检查空间的容积设为较小，则还能够实现检查时间的缩短化。
附图说明
20.图1是表示本发明的阀的耐压检查装置的实施方式的概略剖视图。
21.图2是表示供试阀的耐压检查状态的放大剖视图。
22.图3是罩主体的立体图。
23.图4是罩主体的纵中央剖视图。
24.图5是图4的a－a剖视图。
25.图6是罩主体的仰视图。
26.图7是表示本发明的耐压检查装置的另一实施方式的主视图。
具体实施方式
27.以下，基于实施方式详细地说明本发明的阀的耐压检查装置。
28.在图1中表示本发明的耐压检查装置（以下称作装置主体1）的实施方式，图2表示耐压检查装置的放大剖视图，图3表示罩主体。
29.图1所示的装置主体1设置为，能够向作为被检查物的供试阀2供给检漏气体而对该供试阀2进行耐压检查，具有框体10、腔室11、气体传感器12、支承用夹具13、夹紧夹具14。
30.框体10被形成为在内侧能够装接供试阀2的框状，在其内部设有用来进行供试阀2的耐压检查的检查空间r。在框体10的一部分设有开放部20，借助该开放部20，能够从图1中的框体10的右侧或跟前侧进行供试阀2的拆装。在图中，在框体10的里侧，经由未图示的板材等安装着由单点划线表示的两个排气风扇21，借助该排气风扇21的旋转，能够进行检查空间r内的排气。在框体10内部，安装着腔室11、支承用夹具13、夹紧夹具14。
31.腔室11为了实施供试阀2的耐压检查而设置，具有罩主体30、悬挂部31。在图2～图6中，罩主体30被形成为大致矩形状，在其下部设有开口部32。这样，罩主体30被设置为下部开放的半开放型，设置为其内部能够将供试阀2的一部分或全部包围。在本例中，将作为供
试阀2的一部分的阀杆轴密封部位33作为检查对象部位（耐压检查部位），在罩主体30的内部设置将耐压检查部位33包围而能够进行耐压检查的大小的被检查空间s。如图1所示，腔室11中的悬挂部31被安装在罩主体30的上部，设置为，经由该悬挂部31，腔室11能够在检查空间r内前进、后退及上升、下降移动。
32.另外，在本实施方式中，罩主体30的尺寸成为高度50mm、长度70mm、进深40mm这一紧凑的构造。
33.在图2中，罩主体30的被检查空间s是指向供试阀2供给的检漏气体能够扩散的空间，被设置为从外部隔离的状态。本实施方式的“从外部隔离的状态”，是指罩主体30内不为密封状态、而成为所谓的非密封状态。即，是指当用罩主体30将供试阀2的耐压检查部位33以非密封状态包围时，能够防止外部的风等的影响波及到被检查空间s内的供试阀2、并且容许在罩主体30内从供试阀2漏出的检漏气体在检查时间内到达气体传感器12之程度的气体的流动的状态。
34.在罩主体30设有气体传感器12、空气吹扫（air purge）流路34。
35.气体传感器12在罩主体30内的被检查空间s中分别被装接在检漏气体容易滞留的规定的多个部位、在本例中分别被装接在形成于罩主体30内侧面的3个部位、罩主体30内上表面的1个部位处的传感器安装孔35，借助这4个部位的气体传感器12，能够在被检查空间s内可靠地检测被供给到供试阀2内的检漏气体的从耐压检查部位33的泄漏。气体传感器12的数量可以任意地设定，如果增加其数量，则还能够使检测能力提高而实现检测时间的缩短、自动化。
36.本实施方式的气体传感器12由氢传感器构成，能够由该氢传感器检测被供给到供试阀2内的后述的氢气（检漏气体）。通过使用氢传感器，能够可靠地检测作为扩散性的气体的氢和氮的混合气体中的氢的泄漏。气体传感器12也可以能够移动地安装，以便能够相对于罩主体30调整位置。作为检漏气体，也可以使用氦气，在此情况下，作为气体传感器只要使用气体热传导式传感器即可。
37.气体传感器12由通过规定的电压附加而输出与漏出的氢的浓度对应的电压的模组构成。在检查前，需要借助电阻调整用的电位器（volume）改变输出电压，根据气体传感器12的暖机状态、大气中的氢浓度的变化而精细地进行灵敏度调整。
38.作为气体传感器12，使用能够输出模拟信号（0－5v）的市面销售的半导体式传感器，例如使用热线型半导体式氢传感器。该气体传感器12是利用因二氧化锡（sno2）等金属氧化物半导体表面上的氢气的吸附带来的导电度的变化的传感器。在此情况下，输出电压相对于气体浓度成为对数性，即使是低浓度也能够进行高灵敏度的输出。
39.空气吹扫流路34以从罩主体30的被检查空间s连通到外部的方式设置，在该空气吹扫流路34连接吹扫空气供给管36。如果由未图示的压缩机从吹扫空气供给管36供给吹扫用空气，则该空气经由空气吹扫流路34被向被检查空间s内供给，对被检查空间s内进行空气吹扫。空气吹扫流路34也可以设在除后述的空气幕40用的空气流路41以外的另外的空气流路、或设在能够与空气幕用空气流路41切换的流路。
40.在图3、图4、图6中，在罩主体30的被检查空间s的外侧，以与被检查空间s非连通的状态以中空状形成有用来构成空气幕40的、由虚线表示的空气流路41，该空气流路41具有空气供给口42和分支流路43。空气供给口42形成在罩主体30的上表面侧，在图5中以从该空
气供给口42向左右分支的方式形成有分支流路43。分支流路43沿着罩主体30的侧面分别被形成为较薄的狭缝状（面状），形成于其下部的作为空气的喷出口的开口缘45以沿着开口部32的方式在左右分别形成。借助这些，通过从各开口缘45喷出的空气相对或交叉，构成空气幕。
41.图5的左右的各开口缘45以相对于罩主体30的铅直方向以规定的角度θ朝向内侧（朝内）倾斜的方式设置。如果从空气供给口42供给空气，则在其分支位置，空气向各分支流路43流入，在经过该狭缝状分支流路43之后，被从开口缘45吹出。通过空气从开口缘45朝向内侧流动，来自左右的空气以相互碰撞的方式干涉，将被检查空间s包围，在开口部32的外周侧构成由单点划线表示的空气幕40。
42.这里，详述将向处于空气供给口42的前段的速度控制器（节流阀：未图示）供给的空气的压力设为约0.6mpa的大小的情况下的开口缘45的优选的角度θ。另外，0.6mpa的空气压力是作为空气驱动用途一般使用的压力。
43.对于向前述速度控制器供给的空气，用速度控制器将空气的流量调整为约100ml/min～约300ml/min。
44.在上述空气的流量中，在将开口缘45的距铅直方向的角度θ设为约50
°
以上的情况下，在使由空气幕40和罩主体30的底面侧包围的侧视大致三角形状的区域的容积较小的同时，使从开口缘45吹出的空气彼此较强地碰撞，能够抑制从供试阀2漏出到被检查空间s的检漏气体向外部的流出。
45.另一方面，在将角度θ设为约75
°
以下的情况下，通过从开口缘45吹出的空气彼此碰撞并向下方侧流动，能够防止空气向被检查空间s方向的扩散上升，防止空气向被检查空间s的流入。
46.如这些那样，确认了：通过将角度θ设为规定的大小以上（约50
°
以上），能够维持被检查空间s的检漏气体的滞留并防止泄漏；另一方面，通过将角度θ设为规定的大小以下（约75
°
以下），能够可靠地防止外部环境气体向被检查空间s的渗入。因为这些，在本例中，开口缘45形成为成为50
°
≤角度θ≤75
°
的范围，由此，避免由空气带来的对被检查空间的不良影响，使耐压检查的精度进一步提高。
47.在本例中，根据前述的条件而将角度θ设定在上述的范围内，但该角度θ优选的是根据罩主体30的大小、形状、供试阀的形态等各种条件设定为最优的大小。
48.此外，空气的压力也是将罩主体30的开口部32堵塞、将外部与被检查空间s遮断之程度即可，进而还优选的是通过维持向罩主体30的下方的流动而能够使外部环境区域t的环境气体从被检查空间s远离之程度的压力。
49.开口缘45的宽度尺寸可以设为适当的大小，通过改变该宽度的大小，能够变更空气的风量。
50.装置主体1通过具备空气幕40，区划形成将罩主体30的外部环境区域t与罩主体30的被检查空间s连通的开口部32附近的连通区域，将外部（外部气体）与被检查空间s遮断。因此，在罩主体30的被检查空间s内，能够抑制由外部环境区域t的环境气体带来的对检漏气体的影响。
51.在图1、图2中，支承用夹具13以能够载置供试阀2的两侧附近的规定间隔设在框体10，能够将供试阀2从下方侧支承。在支承用夹具13的上表面侧设有载置面46，该载置面46
设置为能够保持作为六边形、八边形等多边形状的供试阀侧部的锥形状，或能够保持作为圆筒形状的供试阀侧部的圆弧形状等适当形状。
52.夹紧夹具14具有固定夹紧夹具50、可动夹紧夹具51。
53.固定夹紧夹具50经由固定用保持件52被配置在成为供试阀2的一次侧的位置，在该固定夹紧夹具50的中央附近形成有用来向供试阀2内部供给检漏气体的一次侧流路53。在固定夹紧夹具50的与供试阀2的一次侧对置的对置面，装接着由环状的垫圈构成的密封部件54，借助该密封部件54，在供试阀2固定时防止从与该供试阀2压接的压接部分的泄漏。
54.可动夹紧夹具51被配置在供试阀2的二次侧，在紧固方向上进退自如地安装，以能够借助可动夹紧夹具51和前述固定夹紧夹具50保持供试阀2。
55.前述的罩主体30的进退方向和作为供试阀2的夹紧夹具的可动夹紧夹具51的进退方向被配置为成为相同方向。在可动夹紧部件51的内部，设有成为吹扫流路的二次侧流路55，在供试阀2的耐压检查后，经由该二次侧流路55将供试阀内的检漏气体用空气压吹扫。
56.在可动夹紧夹具51的与供试阀2的二次侧对置的对置面，与固定夹紧夹具50同样装接由环状的垫圈构成的密封部件54。借助该密封部件54，防止供试阀2固定时的从与可动夹紧夹具51压接的压接部分的泄漏。
57.供试阀2由球阀构成，在将该球阀2的构成零件的一部分组装的状态下由装置主体1实施耐压检查。供试阀2具有作为铸物零件的阀体60，在形成于该阀体60的轴筒部61插接旋转操作用的阀杆62，从其上方借助螺装而安装衬垫推压部63，阀杆62在定位状态下能够旋转地设置。在阀杆62外周，在2个部位装接有o形环65，借助这些o形环65，设置作为阀杆轴密封部的耐压检查部位33，通过用罩主体30将该耐压检查部位33包围并检测泄漏，实施耐压检查。
58.作为对于上述供试阀2的耐压检查用的检漏气体，例如使用包含氢的气体，其中，作为具有扩散性的气体，使用分别含有5%氢和作为非活性气体的95%氮的混合气体的氢气。该混合气体具有在耐压试验时有外部泄漏的情况下从阀体60的阀杆轴密封部位33的衬垫推压部63的螺装部附近漏出的性质。
59.作为检漏气体的5%氢和95%氮的混合气体由于是不燃性的高压气体，所以能够安全地使用。检漏气体也可以是含有氢的气体以外的气体，例如可以使用氦气、甲烷气体等各种气体。在作为检漏气体而使用氢气的情况下，与前述气体相比较为便宜。另一方面，在使用氦气的情况下，与含有氢的混合气体同样扩散性变高。
60.另外，在上述实施方式中，将装置主体1作为耐压正式检查前的耐压预检查用来使用，但并不限于作为耐压预检查用的使用。
61.在本例中，由于将小口径的螺旋型球阀作为供试阀2，所以罩主体30设为能够将供试阀2的阀杆轴密封部位33包围的形状，仅在该罩主体30的长度方向的两侧设置空气流路42的分支流路43，但也可以设置这以外的形态的罩主体30。例如，也可以除了罩主体30的长度方向以外，在宽度方向的两侧也设置狭缝状的分支流路，从该宽度方向的分支流路的开口缘喷出空气（未图示）。在此情况下，使得在从各开口缘喷出空气时，在长度方向及宽度方向的各自上相对或交叉，构成将开口部32包围那样的空气幕。另外，也可以不是在罩主体30的长度方向、而是仅在宽度方向的两侧设置狭缝状的分支流路，使得从该宽度方向的分支流路的开口缘喷出空气（未图示）。
62.此外，例如在将大口径的球阀作为供试阀的情况下，只要将罩主体形成为能够将该球阀的阀杆轴密封部位包围的矩形状或圆筒状等，遍及该罩主体的开口部的整周设置开口缘即可（未图示）。在此情况下，由从开口缘吹出的空气以将被检查空间从整周侧包围的方式构成空气幕，能够进一步提高被检查空间相对于外部环境区域的遮断性。因此，即使供试阀为大型，也能够维持耐压检查的精度。
63.借助罩主体的检查对象部位，并不限于供试阀的阀杆轴密封部位，可以设为供试阀的各种部位。由此，也能够将供试阀整体作为检查对象部位，检测从供试阀整体发生的泄漏。进而，供试阀并不限于球阀，也能够将截止阀、闸阀等各种阀作为对象，能够将这些阀的一部分或整体作为检查对象部位而实施耐压检查。
64.此时，罩主体并不限于矩形状，可以根据检查对象部位的大小、形状，任意地设定其外观形状、大小、被检查空间s的容积，能够在该被检查空间s内将供试阀的被检查对象部位包围而实施耐压检查。也能够将检查对象部位（被检查对象）设为供试阀（阀）以外，作为该检查对象部位，例如有各种致动器、压力容器、泵等设备，或管等流体输送用的零件等，能够将这些设备、零件的轴密封部位或有可能发生泄漏的部位（需要压力检查的部位）在形成为需要的容积的被检查空间s内进行耐压检查。
65.开口部32的开口缘45并不一定需要以相对于罩主体30的铅直方向倾斜的方式形成，也可以从开口部32在铅直方向上设置（未图示）。在此情况下，空气从分支流路43的开口缘向正下方流动，能够由该空气以将被检查空间s包围的方式构成空气幕，所以与设有倾斜的开口缘45的情况同样能够将外部（外部气体）遮断。
66.接着，说明由上述实施方式的装置主体1进行的耐压检查的次序及作用。假设本例的阀的耐压检查例如依据由jis b 2003（阀的检查通则）规定的阀箱耐压检查的各空气压试验来实施。在此情况下，对于供试阀2，分为耐压预检查和耐压正式检查来进行耐压检查，其中，在耐压预检查中，借助前述的装置主体1实施供试阀2的构成部分的部分性的耐压检查。耐压正式检查接续于耐压预检查，为了进行供试阀2整体、各密封部分的整体性的检查而实施。
67.在进行耐压预检查的情况下，以将阀体60、阀杆62、o形环65、衬垫推压部63一体地组装使供试阀2成为半完成状态的构造为检查对象。一边使该供试阀2的一次侧与固定夹紧夹具50的密封部件54抵接，一边将供试阀2载置于支承用夹具13，在该状态下使可动夹紧夹具51从供试阀2的二次侧在保持方向上移动而夹紧。此时，密封部件54、54分别密封于供试阀2的一次、二次侧端部，在防止了供试阀2的一次、二次侧开口侧的泄漏的状态下，固定夹紧夹具50的一次侧流路53和可动夹紧夹具51的二次侧流路55成为连通的状态。
68.在此情况下，如图1所示，腔室11处于从供试阀2的夹紧位置退避的位置，通过在该退避位置从吹扫空气供给管36经由空气吹扫流路34向被检查空间s内供给吹扫空气，如图4所示，对被检查空间s借助由双点划线表示的空气的流动进行空气吹扫。此外，此时也可以从空气供给口42供给微弱的空气而设置空气幕40。
69.通过使上述腔室11前进、下降，用罩主体30将供试阀2的阀杆轴密封部位33覆盖，如图2所示，成为在被检查空间s将作为耐压检查部位的阀杆轴密封部位33以非密封状态包围的状态。
70.接着，从一次侧流路53向供试阀2内供给检漏气体（氢气），在封入于阀体60内的状
lift）等设备的排气气体及刚刚之前被检查的供试阀2的残留气体等从开口部32渗入，能够防止耐压检查时的误判定而得到准确的检测结果。
81.在耐压预检查后，对于上述的一部分组装状态的供试阀2，装入未图示的阀盘、球座、阀帽等全部的构成零件而一体化。进而，在阀杆62上部，经由未图示的垫片、螺母将手柄固定，设置完全组装的状态的供试阀，对于该供试阀接着进行耐压正式检查。
82.在耐压正式检查中，将供试阀用夹紧夹具保持在未图示的大检查装置内的大检查空间，在整体被覆盖的状态下实施检查。在此情况下，在将供试阀设为半开状态的状态下将检漏气体封入，用气体传感器检测该检漏气体的泄漏的有无。
83.对于前述的耐压预检查和该耐压正式检查的两者的耐压检查合格的供试阀成为合格品。当在耐压正式检查中被判定为不合格时，只要确认除了在耐压预检查中合格的密封部位以外的部位即可，所以能够使原因部位的确定迅速化。在耐压检查后，将供试阀内部吹扫而将残留气体排出，然后将夹紧夹具放松，将供试阀拆卸。
84.如上述那样，如果在耐压正式检查前实施耐压预检查，则能够不将供试阀整体组装而较早地检测各供试阀的缺陷、加工不良。
85.在图7中，表示本发明的耐压检查装置的另一实施方式。另外，在该实施方式中与前述实施方式相同的部分由相同的附图标记表示，省略其说明。
86.该实施方式的装置主体70能够对供试阀71的全部（整体）进行耐压检查，还能够用于前述的耐压预检查后的耐压正式检查。
87.装置主体70具有圆筒状的罩主体72，该罩主体72被形成为能够收纳供试阀71的全部（整体）的大小。在罩主体72的下部的开口部72a安装着圆板74，在该圆板74的上表面的中央位置安装着将供试阀71夹紧的固定夹紧夹具75。
88.另一方面，在罩主体72的上部的开口部72b安装着环状板76，在该环状板76的上表面上能够装接可动夹紧夹具77。
89.可动夹紧夹具77具有安装板80、操作杆81、可动夹紧板82，设置为，能够经由安装板80固定于环状板76。在安装板80形成有未图示的多个连通孔，在这些各连通孔分别插入着操作杆81。在操作杆81的前端侧安装着将供试阀71夹紧的可动夹紧板82，该可动夹紧板82设置为，能够借助操作杆81而上下升降运动。
90.罩主体72的圆板74、环状板76被形成为比罩主体72大径，在圆板74以规定间隔连通而设置有能够将从外部供给的空气朝向下方吹出的多个空气供给口84。另一方面，在罩主体72的外周的规定位置，以与设在罩主体72内的被检查空间s1连通的方式安装有多个气体传感器85，由这些气体传感器85检测供给到供试阀71内的检漏气体的泄漏。
91.在进行供试阀71的耐压检查的情况下，在将组装成的供试阀71的下部侧的凸缘面载置在固定夹紧夹具75上的同时收纳到罩主体72内，使安装板80载置到环状板76的上表面，将可动夹紧夹具77装接于罩主体72。
92.接着，借助操作杆81使可动夹紧板82下降，通过用该可动夹紧板82推压供试阀71的上部侧的凸缘面，将该供试阀71配置在罩主体72内的规定位置。此时，通过在安装板80的连通孔与操作杆81之间设有间隙，成为在罩主体72内以非密封状态将供试阀71的全部（整体）包围的状态。
93.在由上述的固定夹紧夹具75和可动夹紧夹具77将供试阀71夹紧的状态下向该供
试阀71内供给检漏气体，并且从各个空气供给口84供给空气。此时，从空气供给口84的喷出侧向由双点划线的箭头表示的方向吹出空气，通过该空气碰撞在圆板74的外周缘附近，能够在上部的环状板76与下部的圆板74之间以环状构成由单点划线表示的空气幕90，能够由该空气幕90将罩主体72的外周围包围。由此，使得罩主体72内的被检查空间s1不受罩主体72的外侧的外部环境区域t1的环境气体的影响。
94.在该装置主体70中，借助空气幕90可靠地阻止在外部环境区域t1中产生的排气气体等从可动夹紧夹具77的间隙渗入到被检查空间s1，由此防止检查时的误判定。因此，能够不消除可动夹紧夹具77侧的间隙、使被检查空间s成为密闭状态，而抑制对检漏气体的影响。因此，可动夹紧夹具77、固定夹紧夹具75的构造不会复杂化，所以能够在抑制费用的同时实施供试阀71的一部分或整体的耐压检查。
95.在图示的箭头中，从空气供给口84以直线状将空气吹出，但该箭头是表示空气的吹出方向的，实际上可以以随着从空气供给口84在吹出方向上前进而以放射状扩散的方式将空气吹出。在此情况下，通过从相邻的空气供给口84吹出的空气相互碰撞，能够在圆板74与环状板76（安装板80）之间构成圆周状的空气幕90。由此，能够提高被检查空间s1的从外部环境区域t1的遮断性，能够在更可靠地防止检漏气体从被检查空间s1向外部环境区域t1的泄漏的同时，将由外部环境区域t1带来的影响抑制为最小限度。
96.虽然没有图示，但也可以与前述实施方式同样，在装置主体70设置空气吹扫流路。在此情况下，通过经由空气吹扫流路将吹扫空气向被检查空间s1供给，能够对被检查空间s1内有效率地进行空气吹扫。
97.此外，虽然没有图示，但也可以在环状板76或安装板80的外周侧设置空气供给口84。在此情况下，由于从被检查空间s1到外部环境区域t1的距离变长，所以能够将由外部环境区域t1带来的影响抑制在最小限度。
98.以上，对于本发明的实施方式进行了详述，但本发明并不限定于前述实施方式的记载，在不脱离本发明的权利要求书所记载的发明的主旨的范围内能够进行各种变更。例如，本发明也能够应用于阀以外的各种配管设备等，例如也能够利用于空气压式致动器等各种压力设备的耐压检查。在耐压检查的实施时，也可以代替检漏气体的泄漏的有无而测量泄漏量。
99.附图标记说明1、70 装置主体2、71 供试阀12、85 气体传感器30、72 罩主体32 开口部33 耐压检查部位（阀杆轴密封部位）34 空气吹扫流路40、90 空气幕45 开口缘s、s1 被检查空间t、t1 外部环境区域。