工件保持装置以及丝网印刷机的制作方法

1.本发明涉及夹持并保持基板等工件的两端面的工件保持装置以及具有该工件保持装置的丝网印刷机。


背景技术：

2.以往，已知对作为工件的基板涂布焊料等膏剂的丝网印刷机。丝网印刷机通过基板保持机构对基板进行保持。接下来，丝网印刷机使掩模板与所保持的基板的上表面接触。并且，在掩模板上使刮板滑动而刮拢掩模板上的膏剂，由此通过设置于掩模板的图案孔而对基板的上表面涂布膏剂。这样的丝网印刷机所具有的基板保持机构具有：推起部，其将基板推起；以及一对侧方夹持器，它们从侧方对被推起部推起了的基板的两端面进行夹持。该基板保持机构使由一对侧方夹持器夹持了两端面的状态下的基板与掩模板接触。
3.另外，在这样的丝网印刷机的基板保持机构中，存在在一对侧方夹持器的上方的规定的伸出位置设置有一对顶部夹持器的基板保持机构。被推起的基板的两端部的上表面从下方与顶部夹持器抵接(例如，专利文献1)。在这样的结构的基板保持机构中，通过将顶部夹持器的下表面的高度预先设为与侧方夹持器的上表面的高度相同的高度，能够在被推起的基板的上表面的高度成为与侧方夹持器的上表面的高度相同的高度的状态下对基板进行夹持。因此，使基板与掩模板接触时的两者的紧贴度变高，从而能够提高丝网印刷机的印刷精度。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2007-160692号公报


技术实现要素：

7.然而，在上述现有的丝网印刷机中，一对顶部夹持器构成为从一对侧方夹持器的外侧(两个顶部夹持器相互分离的一侧)的收纳位置向侧方夹持器的上方的伸出位置伸出。因此，使顶部夹持器在收纳位置与伸出位置之间移动时的移动路径极长。因此，存在用于使顶部夹持器移动的机构变大而丝网印刷机的整体的尺寸大型化的可能性。
8.本发明提供能够以小型的结构使顶部夹持器移动从而能够抑制装置整体大型化的工件保持装置以及包括该工件保持装置的丝网印刷机。
9.本发明的一方案的工件保持装置具有推起部、第一侧方夹持器、第二侧方夹持器、侧方夹持器驱动部、第一顶部夹持器、第二顶部夹持器以及顶部夹持器移动部。推起部构成为将工件推起。第一侧方夹持器、第二侧方夹持器构成为在工件的相对的两端面夹持被推起部推起了的工件。侧方夹持器驱动部构成为使第一侧方夹持器、第二侧方夹持器夹持工件的两端面。第一顶部夹持器构成为在第一收纳位置与第一侧方夹持器的上方的第一伸出位置之间移动，第二顶部夹持器构成为在第二收纳位置与第二侧方夹持器的上方的第二伸出位置之间移动。顶部夹持器移动部构成为使第一顶部夹持器在第一收纳位置与第一伸出
位置之间移动，并且使第二顶部夹持器在第二收纳位置与第二伸出位置之间移动。在第一侧方夹持器的上表面侧设置有第一收纳空间，该第一收纳空间收纳位于第一收纳位置的第一顶部夹持器，在第二侧方夹持器的上表面侧设置有第二收纳空间，该第二收纳空间收纳位于第二收纳位置的第二顶部夹持器。在第一伸出位置，被推起部推起了的工件的两端部中的一方的工件的上表面从下方与第一顶部夹持器抵接。并且，在第二伸出位置，被推起部推起了的工件的两端部中的另一方的工件的上表面从下方与第二顶部夹持器抵接。
10.本发明的一方案的丝网印刷机具有上述工件保持装置、掩模板以及刮板。在掩模板设置有图案孔。掩模板构成为与被工件保持装置的一对侧方夹持器夹持了的工件的上表面接触。刮板构成为在与工件的上表面接触的状态下的掩模板上滑动而刮拢掩模板上的膏剂，由此通过图案孔对工件的上表面涂布膏剂。
11.根据本发明，能够以小型的结构使顶部夹持器移动，从而能够抑制装置整体大型化。
附图说明
12.图1是本发明的实施方式的丝网印刷机的俯视图。
13.图2是图1所示的丝网印刷机的主视图。
14.图3是图1所示的丝网印刷机的侧视图。
15.图4是示出图1所示的丝网印刷机所具有的工件保持装置的一部分的立体图。
16.图5是图4所示的工件保持装置的一部分的放大透视立体图。
17.图6是本发明的实施方式的工件保持装置的局部剖视图。
18.图7是示出图1所示的丝网印刷机的控制系统的框图。
19.图8a是图1所示的丝网印刷机的动作说明图。
20.图8b是图1所示的丝网印刷机的动作说明图。
21.图9是图6所示的工件保持装置的夹持动作中的、顶部夹持器的伸出动作的说明图。
22.图10是继图9之后的顶部夹持器的伸出动作的说明图。
23.图11是继图10之后的顶部夹持器的伸出动作的说明图。
24.图12a是示出图11所示的状态的丝网印刷机中的工件保持装置的夹持动作的说明图。
25.图12b是继图12a之后的夹持动作的说明图。
26.图13a是将图12a所示的工件保持装置与基板一起示出的立体图。
27.图13b是将图12b所示的工件保持装置与基板一起示出的立体图。
28.图14是图12b所示的状态下的工件保持装置的局部放大图。
29.图15a是继图12b之后的工件保持装置的夹持动作的说明图。
30.图15b是继图15a之后的工件保持装置的夹持动作的说明图。
31.图16是图15a所示的状态下的工件保持装置的局部放大图。
32.图17是图16所示的工件保持装置的夹持动作中的、顶部夹持器的收纳动作的说明图。
33.图18是继图17之后的顶部夹持器的收纳动作的说明图。
34.图19是继图18之后的顶部夹持器的收纳动作的说明图。
35.图20a是图3所示的丝网印刷机的动作说明图。
36.图20b是图3所示的丝网印刷机的动作说明图。
具体实施方式
37.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1、图2以及图3示出本发明的实施方式的丝网印刷机1。丝网印刷机1对在基板2的上表面形成的电极图案2d涂布焊料膏剂等膏剂。丝网印刷机1具有基台11、工作台12、作为工件保持装置的基板保持机构13、搬入输送机14、搬出输送机15、掩模板16、刮板移动机构17、两个刮板18以及相机19。在以下的说明中，为了方便起见，将从图1所示的作业者op进行观察时的左右设为x轴，将从作业者op进行观察时的前后设为y轴。另外，将上下设为z轴。
38.如图2以及图3所示，工作台12设置在基台11上。如图3所示，工作台12具有y轴驱动部12a、x轴驱动部12b、θ轴驱动部12c、z轴驱动部12d以及移动工作台12e。移动工作台12e位于工作台12的最上部。y轴驱动部12a使移动工作台12e沿着y轴移动，x轴驱动部12b对移动工作台12e沿着x轴进行驱动。θ轴驱动部12c使移动工作台12e绕z轴旋转，z轴驱动部12d使移动工作台12e沿着z轴移动。
39.基板保持机构13设置于移动工作台12e。如图3所示，基板保持机构13具有下接受单元21、升降马达22、前后的一对输送机支承构件23、前后的一对中间输送机24、前后的一对侧方夹持器25以及前后的一对夹持缸26。
40.下接受单元21位于移动工作台12e的上方，且在下部具有板状的基座部21a。升降马达22通过使基座部21a相对于移动工作台12e升降，而使下接受单元21整体升降。输送机支承构件23分别从移动工作台12e的上表面向上方延伸，并贯通基座部21a而向上方延伸。
41.图4是示出基板保持机构13的一部分的立体图。如图3以及图4所示，中间输送机24以一对一的方式设置于输送机支承构件23。中间输送机24从下方对y轴的延伸方向上的基板2的两端部进行支承并沿着x轴进行搬运，且对基板2进行定位。侧方夹持器25以一对一的方式设置于输送机支承构件23的上端部。侧方夹持器25以侧端面彼此前后对置的方式配置。
42.如图4所示，侧方夹持器25由沿着x轴延伸的板状的构件构成。侧方夹持器25的沿着x轴的尺寸设定得比基板2的沿着x轴的最大长度大，且侧方夹持器25的沿着z轴的尺寸设定得比基板2的最大厚度大。
43.夹持缸26分别安装于托架23b。托架23b设置于输送机支承构件23的上部。夹持缸26具有作为活塞杆的夹持缸杆26r。夹持缸杆26r与侧方夹持器25的外侧端面连结。当夹持缸26分别使夹持缸杆26r前进时，侧方夹持器25分别向内侧移动。即，侧方夹持器25向彼此之间闭合的方向移动。另外，当夹持缸26分别使夹持缸杆26r后退时，侧方夹持器25分别向外侧移动。即，侧方夹持器25向彼此之间打开的方向移动。
44.图5是基板保持机构13的一部分的放大透视立体图，图6是基板保持机构13的局部剖视图。如图4、图5以及图6所示，在各个侧方夹持器25设置有：顶部夹持器27，其在对基板2的相对的两端面进行夹持时使用；以及顶部夹持器移动机构28，其使顶部夹持器27移动。关于顶部夹持器27和顶部夹持器移动机构28将后述。这样，一对侧方夹持器25为第一侧方夹
持器和第二侧方夹持器，在第一侧方夹持器设置有第一顶部夹持器，在第二侧方夹持器设置有第二顶部夹持器。
45.如图1以及图2所示，一对搬入输送机14设置于中间输送机24的上游(左方)，一对搬出输送机15设置于中间输送机24的下游(右方)。搬入输送机14接收从丝网印刷机1的外部投入的基板2并将其向丝网印刷机1内搬入，且将该基板2向中间输送机24移交。搬出输送机15将从中间输送机24接收的基板2向丝网印刷机1的外部搬出。
46.如图1、图2以及图3所示，掩模板16是矩形的板状的构件，并被框架16w从周围支承。在掩模板16的中央区域设置有与在基板2上形成的电极图案2d相对应的图案孔16h。
47.如图1以及图2所示，刮板移动机构17由移动梁17b和两个固定梁17a构成。固定梁17a分别在基台11的左右的上方沿着y轴延伸。移动梁17b沿着x轴延伸，移动梁17b的两端支承于两个固定梁17a。移动梁17b通过未图示的梁移动机构沿着y轴移动。
48.如图2以及图3所示，两个刮板18安装于移动梁17b。因此，当移动梁17b沿着y轴移动时，两个刮板18在掩模板16的上方沿着y轴移动。
49.如图1以及图2所示，两个刮板18分别具有沿着x轴延伸的形状，并在移动梁17b的下方沿着y轴对置地配置。两个刮板18分别能够通过在移动梁17b的上表面安装的刮板上下移动缸18k而单独地进行升降。
50.如图3所示，相机19通过相机移动机构19k的工作而在掩模板16的下方在水平面内移动。相机19能够对相机19的下侧的区域和相机19的上侧的区域这两方进行拍摄。
51.在此，对前述的顶部夹持器27和顶部夹持器移动机构28进行说明。如图4、图5以及图6所示，在侧方夹持器25形成有沿着x轴延伸并且从上表面向下方凹陷的形状的收纳空间25s。顶部夹持器27是比侧方夹持器25薄且沿着x轴延伸的板状的构件，且具有能够收纳于收纳空间25s的形状。可以以在顶部夹持器27收纳于收纳空间25s的状态下，顶部夹持器27的上表面成为与侧方夹持器25的上表面大致相同的高度的方式进行尺寸设计。具体而言，顶部夹持器27的上表面的高度可以与侧方夹持器25的上表面的高度相同，或者也可以比侧方夹持器25的上表面高出0.3mm以内的范围。若在该状态下，则能够利用顶部夹持器27的上表面和侧方夹持器25的上表面对掩模板16进行支承，从而能够稳定地印刷膏剂。特别是，优选顶部夹持器27的上表面的高度与侧方夹持器25的上表面的高度相同。
52.顶部夹持器移动机构28分别使顶部夹持器27中的一方相对于侧方夹持器25移动。顶部夹持器移动机构28分别具有滑动件31、两组平行连杆32、升降缸33以及两个滑动缸34。
53.如图4以及图5所示，在x轴的延伸方向上的顶部夹持器27的两端部的下表面安装有向下方延伸的两个端部延伸突出部27b。另外，在x轴的延伸方向上的顶部夹持器27的中央部安装有向下方延伸的门型的中央延伸突出部27r。
54.如图5以及图6所示，顶部夹持器27的内侧的端部比安装于顶部夹持器27的两个端部延伸突出部27b以及中央延伸突出部27r向内侧突出。顶部夹持器27的内侧是指顶部夹持器27彼此相互面对的一侧。以下，将该突出的顶部夹持器27的端部如图6所示称为突出端部27t。
55.如图5以及图6所示，滑动件31由在侧方夹持器25的下方沿着x轴延伸的板状的构件构成。滑动件31以能够沿着y轴滑动的方式安装在各个输送机支承构件23之上。
56.如图5以及图6所示，两组平行连杆32由分别平行地配置的两根杆构件构成。各杆
的下端被从滑动件31向上方延伸设置的上方延伸突出部31b支承为转动自如。各杆的上端被从顶部夹持器27向下方延伸设置的端部延伸突出部27b支承为转动自如。
57.如图4、图5以及图6所示，升降缸33设置于在滑动件31的中央部的上表面形成的缸安装部31m。升降缸33具有作为活塞杆的升降缸杆33r。升降缸杆33r朝向内侧。内侧是指与前述的顶部夹持器27的内侧相同的一侧。升降缸杆33r的前端部插入到从顶部夹持器27向下方延伸的中央延伸突出部27r内。在升降缸杆33r的前端部安装有连结销33p。连结销33p沿着x轴延伸并穿过在中央延伸突出部27r的侧面设置的长孔。因此，升降缸杆33r的前端部相对于中央延伸突出部27r沿着z轴稍微移动自如。即，升降缸杆33r的前端部相对于顶部夹持器27沿着z轴稍微移动自如。
58.两个滑动缸34安装于侧方夹持器25的两端部的下表面。滑动缸34具有作为活塞杆的滑动缸杆34r。滑动缸杆34r朝向外侧。外侧是指与前述的顶部夹持器27的内侧相反的一侧。滑动缸杆34r与连结部31k连结。连结部31k从滑动件31的两端部向上方延伸。
59.图7是示出丝网印刷机1的控制系统的框图。丝网印刷机1所具有的控制装置40对工作台12、基板保持机构13、搬入输送机14、搬出输送机15，刮板移动机构17、刮板上下移动缸18k、相机19的各动作进行控制。控制装置40在工作台12的动作控制中对y轴驱动部12a、x轴驱动部12b、θ轴驱动部12c以及z轴驱动部12d分别进行控制。控制装置40在基板保持机构13的动作控制中对升降马达22、中间输送机24、夹持缸26、顶部夹持器移动机构28(升降缸33以及滑动缸34)分别进行控制。
60.接下来，参照图8a～图20b对丝网印刷机1的动作进行说明。当从位于上游的其他装置如图8a中箭头a所示那样送来基板2时，丝网印刷机1的控制装置40使搬入输送机14工作而接收基板2并将该基板2向丝网印刷机1内搬入。然后，如图8b所示，搬入输送机14将基板2向基板保持机构13的中间输送机24移交。中间输送机24将接收的基板2搬运至规定的位置。在中间输送机24将基板2搬运至规定的位置后，基板保持机构13夹持并保持基板2。
61.为了使基板保持机构13保持基板2，首先，升降缸33如图9中箭头f1所示那样使升降缸杆33r后退。由此，升降缸杆33r的连结销33p使中央延伸突出部27r朝向外侧(图9中的右)移动。因此，顶部夹持器27经由平行连杆32而向外侧移动。此时，顶部夹持器27相对于升降缸杆33r的前端部的连结销33p稍微向上方移动。因此，顶部夹持器27整体如箭头r1所示那样相对于侧方夹持器25向外侧上方移动。
62.在顶部夹持器27向侧方夹持器25的外侧上方移动后，如图10中箭头f2所示那样，滑动缸34使滑动缸杆34r后退。由此，滑动件31相对于输送机支承构件23向内侧(图10中的左侧)滑动。因此，顶部夹持器27如箭头m1所示那样在侧方夹持器25的上方向内侧移动。即，顶部夹持器27彼此向相互接近的方向移动。
63.在顶部夹持器27向内侧移动后，如图11中箭头f3所示那样，升降缸33使升降缸杆33r前进。由此，升降缸杆33r经由连结销33p而使中央延伸突出部27r朝向内侧(图11中的左)移动。因此，顶部夹持器27经由平行连杆32而向内侧移动。此时，顶部夹持器27相对于连结销33p稍微向下方移动。因此，顶部夹持器27整体如箭头r2所示那样相对于侧方夹持器25向内侧下方移动。
64.由此，突出端部27t从侧方夹持器25的内侧的端面向内侧突出。当通过两方的侧方夹持器25、顶部夹持器27执行以上的动作时，如图12a所示，顶部夹持器27各自的突出端部
27t成为向侧方夹持器25彼此之间的区域突出的状态。这样，将顶部夹持器27的各自的突出端部27t向侧方夹持器25彼此之间的区域突出的位置称为一对顶部夹持器27的“伸出位置”。更详细而言，第一顶部夹持器向第一伸出位置突出，第二顶部夹持器向第二伸出位置突出。在本实施方式中，在设置于各个输送机支承构件23的顶部夹持器27和侧方夹持器25中，可以构成为，位于伸出位置的状态下的顶部夹持器27的下表面成为与侧方夹持器25的上表面的高度相同的高度。即，可以是，位于第一伸出位置的状态下的第一顶部夹持器的下表面为与第一侧方夹持器的上表面的高度相同的高度，位于第二伸出位置的状态下的第二顶部夹持器的下表面为与第二侧方夹持器的上表面的高度相同的高度。换言之，可以是，顶部夹持器27的下表面与侧方夹持器25的上表面相接。在基板2存在翘曲的情况下，有时利用由侧方夹持器25夹持基板2的力来矫正翘曲。在进行这样的操作的情况下，若顶部夹持器27的下表面为与侧方夹持器25的上表面相同的高度，则能够防止基板2与顶部夹持器27的下表面抵接而基板2发生必要以上的变形的情况。其结果是，在印刷时，能够使基板2和侧方夹持器25紧贴于掩模板16，从而能够确保膏剂相对于基板2的印刷品质。
65.在顶部夹持器27各自的突出端部27t成为向侧方夹持器25之间的区域突出的状态后，如图12b中箭头l所示那样，升降马达22使下接受单元21上升。由此，下接受单元21将中间输送机24上的基板2推起。即，基板保持机构13从图12a、图13a所示的状态转变为图12b、图13b所示的状态。这样，下接受单元21作为将工件即基板2推起的推起部而发挥功能。
66.当下接受单元21将基板2推起时，如图12b、图13b以及图14所示，y轴的延伸方向上的基板2的两端部的上表面从下方与顶部夹持器27各自的突出端部27t的下表面抵接。因此，基板2的上表面的高度成为顶部夹持器27的下表面的高度、即侧方夹持器25的上表面的高度。
67.在基板2的两端部分别从下方与突出端部27t抵接后，升降马达22使下接受单元21的上升停止。即，控制装置40使由下接受单元21进行的基板2的推起停止。然后，在下接受单元21使基板2的推起停止后，如图15a以及图16中箭头p所示那样，夹持缸26使各自的夹持缸杆26r前进。当夹持缸26使各自的夹持缸杆26r前进时，如图16中箭头m2所示那样，侧方夹持器25分别朝向内侧移动。即，侧方夹持器25彼此以接近的方式移动。由此，侧方夹持器25各自的内侧的端面与y轴的延伸方向上的基板2的两端面的一方抵接。其结果是，如图15a所示，基板2的两端面成为被侧方夹持器25夹持的状态。
68.这样，在本实施方式中，一对夹持缸26与控制装置40一起构成向闭合的方向驱动侧方夹持器25彼此从而利用侧方夹持器25夹持作为工件的基板2的相对的两端面的侧方夹持器驱动部。
69.当侧方夹持器25夹持基板2的两端面时，如图17中箭头f4所示那样，升降缸33使升降缸杆33r后退。由此，升降缸杆33r的连结销33p使中央延伸突出部27r朝向外侧(图17中的右)移动。因此，如箭头r3所示那样，顶部夹持器27经由平行连杆32而向外侧上方移动。
70.当顶部夹持器27向外侧上方移动时，如图18中箭头f5所示那样，滑动缸34使滑动缸杆34r前进。当滑动缸34使滑动缸杆34r前进时，滑动件31相对于输送机支承构件23向外侧(图18中的右侧)滑动。因此，顶部夹持器27如箭头m3所示那样在侧方夹持器25的上方朝向外侧移动。即，顶部夹持器27向相互分离的方向移动。由此，顶部夹持器27的突出端部27t退入侧方夹持器25的上方区域内。
71.当顶部夹持器27退入侧方夹持器25的上方区域内时，如图19中箭头f6所示那样，升降缸33使升降缸杆33r前进。当升降缸杆33r前进时，升降缸杆33r的连结销33p使中央延伸突出部27r朝向内侧(图19中的左)移动。因此，顶部夹持器27如箭头r4所示那样经由平行连杆32而向内侧下方移动。即，顶部夹持器27下降。由此，如图19所示，顶部夹持器27移动到收纳于在侧方夹持器25的上表面开口的收纳空间25s的位置。将收纳顶部夹持器27的位置称为收纳位置。通过以上那样，如图15b所示，由基板保持机构13进行的基板2的保持完成。
72.这样，在本实施方式中，顶部夹持器移动机构28进行收纳动作和伸出动作。在收纳动作中，各个顶部夹持器27从伸出位置收纳于收纳空间25s。在伸出动作中，收纳于收纳空间25s的顶部夹持器27向伸出位置移动。并且，收纳各个顶部夹持器27的收纳空间25s从各个侧方夹持器的上表面向下方凹陷。因此，使顶部夹持器27从收纳位置向伸出位置移动时、或使顶部夹持器27从伸出位置向收纳位置移动时的顶部夹持器27的移动路径极短。这样，一对顶部夹持器移动机构28和控制装置40构成顶部夹持器移动部。该顶部夹持器移动部使顶部夹持器27中的第一顶部夹持器在第一收纳位置与第一伸出位置之间移动，并且使顶部夹持器27中的第二顶部夹持器在第二收纳位置与第二伸出位置之间移动。
73.另外，在本实施方式中，由顶部夹持器移动机构28进行的收纳动作和伸出动作分别由升降动作和水平移动动作的组合构成。在升降动作中，升降缸33使各个顶部夹持器27升降。在水平移动动作中，滑动缸34使顶部夹持器27在相互接近或相互分离的方向上移动。由此，使顶部夹持器27从收纳位置向伸出位置移动、或使顶部夹持器27从伸出位置向收纳位置移动时的移动路径极短。
74.当由基板保持机构13进行的基板2的保持完成时，控制装置40使相机移动机构19k工作，并使相机19位于被基板保持机构13保持的基板2与掩模板16之间。然后，控制装置40使相机19对设置于基板2的基板标记(未图示)和设置于掩模板16的掩模标记(未图示)进行拍摄。当相机19对基板标记和掩模标记进行拍摄时，控制装置40基于这些标记的图像数据而掌握基板2相对于掩模板16的位置。
75.当掌握基板2相对于掩模板16的位置时，控制装置40对工作台12进行控制而使基板2在水平面内移动。然后，以使基板标记和掩模标记上下对置的方式使基板2在水平面内进行对位。通过该对位，将基板2相对于掩模板16对位。然后，在基板2的对位结束后，控制装置40如图20a中箭头h所示那样使工作台12工作，而使基板保持机构13整体上升。由此，如图20b所示，控制装置40使基板2的上表面从下方与掩模板16的下表面接触。由此，掩模板16的图案孔16h与基板2上的电极图案2d一致。
76.当基板2与掩模板16接触时，控制装置40使刮板18的一方下降，并使下降了的刮板18的下缘与掩模板16的上表面抵接。然后，如图20b中箭头g所示那样，使与掩模板16抵接了的刮板18沿着y轴移动，从而利用刮板18刮拢膏剂pst。通过该动作，使膏剂pst填充于掩模板16的图案孔16h内。
77.当使膏剂pst填充于掩模板16的图案孔16h内时，膏剂pst被印刷在基板2的电极图案2d上。然后，控制装置40使工作台12工作而使基板保持机构13整体下降，并使基板2从掩模板16离开，从而进行脱版。
78.在脱版结束后，控制装置40使夹持缸26工作，使侧方夹持器25向相互分离的方向移动，而解除基板2的夹持。然后，控制装置40使下接受单元21相对于移动工作台12e下降而
使基板2落在中间输送机24上。并且，控制装置40使中间输送机24和搬出输送机15工作，而将中间输送机24上的基板2向搬出输送机15移交。搬出输送机15在从中间输送机24接收基板2后，将基板2向丝网印刷机1的外部搬出。
79.如以上说明的那样，在具有基板保持机构13的丝网印刷机1中，顶部夹持器27的收纳空间25s以从侧方夹持器25的上表面凹陷(在上表面开口)的方式设置。因此，使顶部夹持器27从收纳位置向伸出位置移动、或使顶部夹持器27从伸出位置向收纳位置移动时的移动路径极短。因此，能够以小型的结构使顶部夹持器27移动，从而能够抑制丝网印刷机1的大型化。
80.以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述内容，能够进行各种变形等。例如，在上述的实施方式中，在一对侧方夹持器25夹持了基板2的两端面后，顶部夹持器27被分别向收纳空间25s收纳。然而，在顶部夹持器27的厚度(沿着z轴的尺寸)极小的情况下，也可以不使顶部夹持器27向收纳空间25s收纳，而使基板2与掩模板16接触并执行丝网印刷。另外，收纳空间25s以在侧方夹持器25的上表面开口的方式设置。更详细而言，在图13b所示的例子中，收纳空间25s以能够收容顶部夹持器27的大小呈长方形贯通侧方夹持器25。然而，只要能够收纳顶部夹持器27，则也可以除了供端部延伸突出部27b、中央延伸突出部27r穿过的部分以外不进行贯通。特别是在顶部夹持器27的厚度极小的情况下，也可以将侧方夹持器25的上表面作为收纳空间25s。即，收纳空间25s也可以不必以从侧方夹持器25的上表面凹陷的方式设置。这样，收纳空间25s只要设置于侧方夹持器25的上表面侧即可。
81.另外，上述的顶部夹持器移动机构28的结构只不过是一例。只要能够将顶部夹持器27收纳于在侧方夹持器25的上表面侧设置的收纳空间25s，并且能够使顶部夹持器27从收纳空间25s向伸出位置移动，则也可以是其他结构。
82.工业实用性
83.在本发明的工件保持装置以及丝网印刷机中，能够以小型的结构使顶部夹持器移动，从而能够抑制装置整体大型化。因此，从省空间的观点出发，工件保持装置以及丝网印刷机在工业上是有用的。
84.附图标记说明
85.1：丝网印刷机；2：基板(工件)；2d：电极图案；11：基台；12：工作台；12a：y轴驱动部；12b：x轴驱动部；12c：θ轴驱动部；12d：z轴驱动部；12e：移动工作台；13：基板保持机构(工件保持装置)；14：搬入输送机；15：搬出输送机；16：掩模板；16h：图案孔；16w：框架；17：刮板移动机构；17a：固定梁；17b：移动梁；18：刮板；18k：刮板上下移动缸；19：相机；19k：相机移动机构；21：下接受单元(工件推起部)；21a：基座部；22：升降马达；23：输送机支承构件；23b：托架；24：中间输送机；25：侧方夹持器；25s：收纳空间；26：夹持缸；26r：夹持缸杆；27：顶部夹持器；27b：端部延伸突出部；27r：中央延伸突出部；27t：突出端部；28：顶部夹持器移动机构；31：滑动件；31b：上方延伸突出部；31k：连结部；31m：缸安装部；32：平行连杆；33：升降缸；33p：连结销；33r：升降缸杆；34：滑动缸；34r：滑动缸杆；40：控制装置；pst：膏剂。