掩模夹具的制作方法

掩模夹具
1.本技术要求在2020年7月23日提交的第10-2020-0091547号韩国专利申请的优先权，并且由该韩国专利申请获得所有权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。
技术领域
2.在此发明的实施例涉及一种掩模夹具和一种包括该掩模夹具的掩模制造设备，更具体地，涉及一种被构造为对其中限定有沉积孔的掩模进行拉伸并且将掩模设置在掩模框架上的掩模夹具，并且涉及一种掩模制造设备。


背景技术：

3.显示面板包括多个像素。多个像素均包括诸如晶体管的驱动元件和诸如有机发光二极管的显示元件。可以通过在基底上层压电极和发光图案而在基底上形成显示元件。使用其中限定有孔的掩模来将发光图案图案化为限定在预定的区域中。发光图案可以设置在被开口暴露的区域中。
4.近来，为了提高显示面板的产品良率，正在研发用于制造大面积掩模的设备和方法。


技术实现要素：

5.发明的实施例提供了一种掩模夹具，该掩模夹具包括：基体板，包括中心区域和围绕中心区域的边缘区域；头部件，包括连接到基体板的边缘区域的第一表面，并且被构造为在边缘区域中移动以便靠近中心区域或远离中心区域；以及垫部件，设置在头部件的与头部件的第一表面背对的第二表面上。边缘区域包括：第一边缘区域，在第一方向上延伸；第二边缘区域，在第一方向上延伸并且在与第一方向交叉的第二方向上与第一边缘区域间隔开；第三边缘区域，在第二方向上延伸；以及第四边缘区域，在第二方向上延伸并且在第一方向上与第三边缘区域间隔开。头部件包括：第一头部件，设置在第一边缘区域中并且在第一方向上延伸；第二头部件，设置在第二边缘区域中并且在第一方向上延伸；第三头部件，设置在第三边缘区域中并且在第二方向上延伸；以及第四头部件，设置在第四边缘区域中并且在第二方向上延伸。
6.在发明的实施例中，掩模制造设备包括：台，其上设置有掩模框架，掩模框架中限定有单元开口；掩模夹具，设置在台上，并且被构造为将单元掩模设置在掩模框架的与单元开口邻近的第一表面上；以及强光发射设备，被构造为对掩模框架与单元掩模之间的部分照射强光。掩模夹具包括：基体板，包括中心区域和围绕中心区域的边缘区域；头部件，连接到基体板的边缘区域并且被构造为在边缘区域中移动以便靠近中心区域或远离中心区域；以及垫部件，设置在头部件的第一表面上。边缘区域包括：第一边缘区域，在第一方向上延伸；第二边缘区域，在第一方向上延伸并且在与第一方向交叉的第二方向上与第一边缘区域间隔开；第三边缘区域，在第二方向上延伸；以及第四边缘区域，在第二方向上延伸并且在第一方向上与第三边缘区域间隔开。头部件包括：第一头部件，设置在第一边缘区域中并
且在第一方向上延伸；第二头部件，设置在第二边缘区域中并且在第一方向上延伸；第三头部件，设置在第三边缘区域中并且在第二方向上延伸；以及第四头部件，设置在第四边缘区域中并且在第二方向上延伸。
附图说明
7.包括附图以提供对发明的进一步理解，并且将附图并入本说明书且构成本说明书的一部分。附图示出了发明的实施例，并且连同描述一起用来解释发明的原理。在附图中：
8.图1是示出掩模的实施例的视图；
9.图2是示出根据发明的掩模夹具的实施例的透视图；
10.图3是示出图2中示出的掩模夹具并且使图2中示出的掩模夹具竖直翻转的透视图；
11.图4是示出图3中示出的垫部件之中的设置在第四头部件的下表面上的垫部件的实施例的透视图；
12.图5a是示出在图1中示出的单元掩模被拉伸之前的状态的视图；
13.图5b是示出其中图2中示出的掩模夹具拾取图5a中示出的单元掩模的状态的视图；
14.图6a是示出其中图5b中示出的掩模夹具对单元掩模进行拉伸的状态的视图；
15.图6b是示出其中图5a中示出的单元掩模被拉伸的状态的视图；
16.图7是示出其中图6a中示出的掩模夹具将单元掩模设置在掩模框架上的状态的视图；
17.图8是示例性地示出其中图7中示出的单元掩模被固定到掩模框架的状态的视图；
18.图9是示出根据发明的掩模夹具的垫部件的实施例的视图；
19.图10a和图10b是示出根据发明的掩模夹具的垫部件的实施例的视图；
20.图11a和图11b是示出其中包括图10a和图10b中示出的垫部件和头部件的掩模夹具对单元掩模进行拉伸的状态的视图；
21.图12a和图12b是示出根据发明的掩模夹具的垫部件和磁部件的实施例的视图；以及
22.图13a和图13b是示出其中包括图12a和图12b中示出的垫部件和磁部件的掩模夹具对单元掩模进行拉伸的状态的视图。
具体实施方式
23.在本说明书中，将要理解的是，当元件(或区域、层、部分等)被称为“在”另一元件或层“上”、“连接到”或“结合到”另一元件或层时，该元件(或区域、层、部分等)可以直接在所述另一元件或层上、直接连接或者直接结合到所述另一元件或层，或者它们之间可以存在第三中间元件。
24.同样的附图标记表示同样的元件。另外，在附图中，为了技术内容的有效说明，将夸大元件的厚度、比例和尺寸。
25.术语“和/或”包括可能由关联的项目所限定的一个或更多个组合的全部。
26.虽然在此可以使用诸如“第一”和“第二”的术语来描述各种元件，但是这些元件不
应该被这些术语限制。术语仅用于将一个元件与另一元件区分开。例如，在不脱离本发明的范围的情况下，第一组件可以被称为第二组件，类似地，第二组件也可以被称为第一组件。除非在上下文中另外清楚地限定，否则单数形式也可以包括复数形式。
27.另外，诸如“在
……
下面”、“在
……
下方”、“在
……
上”和“在
……
上方”的术语可以被用来描述附图中示出的元件之间的关系。术语具有相对概念，并且相对于在附图中示出的方向来描述术语。
28.除非另外限定，否则在本说明书中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有如发明所属领域的技术人员通常理解的含义相同的含义。将要进一步理解的是，术语(诸如在通用字典中所限定的术语)应该被解释为具有与它们在相关领域的上下文中的含义一致的含义，并且除非在此如此限定，否则将不以理想化或过于形式化的含义进行解释。
29.应该进一步理解的是，当在本说明书中使用术语“包括”或“具有”时，说明存在陈述的特征、数量、步骤、操作、元件、组件或它们的组合，但是并不排除存在或添加一个或更多个其它特征、数量、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组合。
30.下文中，将参照附图详细描述实施例。
31.图1是示出掩模的实施例的视图。
32.参照图1，掩模mk可以用于制造显示装置的工艺。具体地，掩模mk可以用于在显示装置的沉积基底上沉积有机发光元件层的工艺。
33.掩模mk可以具有四边形的(例如，矩形的)平行六面体形状。例如，在实施例中，掩模mk可以具有在第一方向dr1上延伸的两个侧面和在第二方向dr2上延伸的两个侧面。第二方向dr2表示与第一方向dr1交叉的方向。
34.掩模mk可以是在第三方向dr3上具有小的厚度的薄板。第三方向dr3表示与由第一方向dr1和第二方向dr2限定的平面基本上垂直交叉的方向。
35.在平面图中，掩模mk可以具有四边形的(例如，矩形的)形状。在本说明书中，用语“在平面图中”表示从顶部观察元件的状态。
36.掩模mk可以包括掩模框架mf和多个单元掩模cmk。例如，在实施例中，掩模框架mf和单元掩模cmk可以包括诸如不锈钢(“sus”)、因瓦合金、镍(ni)或钴(co)的金属材料。然而，掩模框架mf和单元掩模cmk的材料不限于此。
37.在平面图中，掩模框架mf可以具有四边形的(例如，矩形的)形状，该四边形的(例如，矩形的)形状具有在第一方向dr1上延伸的两条边和在第二方向dr2上延伸的两条边。
38.多个单元开口cop可以限定在掩模框架mf中。单元开口cop可以沿第一方向dr1和第二方向dr2布置。
39.在平面图中，单元开口cop可以均具有四边形的(例如，矩形的)形状。相对于第三方向dr3，单元开口cop可以被限定为穿过掩模框架mf。
40.图1示出了四个单元开口cop，但是发明不限于此，单元开口cop的数量实际上可以多于四个。另外，单元开口cop中的每个的形状可以根据单元掩模cmk的形状而变形。
41.边缘部分lp可以均被限定为掩模框架mf的围绕单元开口cop中的每个的部分。在平面图中，边缘部分lp可以均具有矩形环的形状。
42.在平面图中，单元掩模cmk可以均与对应的单元开口cop叠置。例如，在实施例中，在平面图中，单元掩模cmk可以均具有矩形的形状。
43.多个沉积孔h可以限定在单元掩模cmk中的每个中。沉积孔h可以被限定为在第三方向dr3上穿过单元掩模cmk。每个沉积孔h的沿着第一方向dr1或第二方向dr2的宽度是可改变的。例如，在实施例中，相对于第三方向dr3，每个沉积孔h的上部的宽度可以大于每个沉积孔h的下部的宽度。然而，沉积孔h的形状不限于此。
44.单元掩模cmk可以设置在掩模框架mf上。在平面图中，每个单元掩模cmk的边缘部分可以与掩模框架mf的边缘部分lp叠置。
45.单元掩模cmk可以固定到掩模框架mf。例如，在实施例中，单元掩模cmk可以通过强光(例如，激光束)固定到掩模框架mf。随后将对此进行详细描述。
46.图2是示出根据发明的掩模夹具的实施例的透视图。图3是示出图2中示出的掩模夹具并且使图2中示出的掩模夹具竖直翻转的透视图。图3是用于描述图2中示出的掩模夹具mc的下方结构的视图。基本上，图3示出了掩模夹具mc的“当从垫部件pd下面观察时”的形状。
47.参照图2和图3，掩模夹具mc可以用来制造图1中示出的掩模mk。掩模夹具mc可以对图1中示出的单元掩模cmk进行拉伸，并且可以将拉伸的单元掩模cmk设置到掩模框架mf。
48.在发明的实施例中，掩模夹具mc可以包括基体板bp、设置在基体板bp下面的头部件he、设置在头部件he下面的垫部件pd和设置在基体板bp上的传输部件tp。
49.在平面图中，基体板bp可以具有四边形的(例如，矩形的)形状。基体板bp可以包括上表面bp-u和下表面bp-b。基体板bp的上表面bp-u和下表面bp-b可以均与由第一方向dr1和第二方向dr2限定的平面平行。
50.基体板bp可以包括中心区域ca和设置在中心区域ca周围的边缘区域oa。在平面图中，中心区域ca可以具有四边形的(例如，矩形的)形状。
51.边缘区域oa可以围绕中心区域ca。具体地，边缘区域oa可以包括第一边缘区域oa1、第二边缘区域oa2、第三边缘区域oa3和第四边缘区域oa4。
52.第一边缘区域oa1和第二边缘区域oa2可以在第一方向dr1上延伸。第二边缘区域oa2可以在第二方向dr2上与第一边缘区域oa1间隔开。中心区域ca可以设置在第一边缘区域oa1与第二边缘区域oa2之间。
53.第三边缘区域oa3和第四边缘区域oa4可以在第二方向dr2上延伸。第四边缘区域oa4可以在第一方向dr1上与第三边缘区域oa3间隔开。中心区域ca可以设置在第三边缘区域oa3与第四边缘区域oa4之间。
54.在发明的实施例中，头部件he的上表面可以设置在基体板bp的下表面bp-b上。头部件he可以与边缘区域oa叠置。具体地，头部件he可以包括第一头部件he1、第二头部件he2、第三头部件he3和第四头部件he4。
55.第一头部件he1至第四头部件he4可以设置在基体板bp的下表面bp-b上。第一头部件he1至第四头部件he4可以彼此分开。
56.第一头部件he1可以与第一边缘区域oa1叠置。第二头部件he2可以与第二边缘区域oa2叠置。第一头部件he1和第二头部件he2可以均在第一方向dr1上延伸。例如，在实施例中，第一头部件he1和第二头部件he2可以均具有在第一方向dr1上长长地延伸的四边形的(例如，矩形的)平行六面体形状。
57.第三头部件he3可以与第三边缘区域oa3叠置。第四头部件he4可以与第四边缘区
域oa4叠置。第三头部件he3和第四头部件he4可以均在第二方向dr2上延伸。例如，在实施例中，第三头部件he3和第四头部件he4可以具有在第二方向dr2上长长地延伸的四边形的(例如，矩形的)平行六面体形状。
58.在发明的实施例中，头部件he可以在边缘区域oa中移动以便靠近中心区域ca或远离中心区域ca。例如，在实施例中，轨道部件可以设置在头部件he与基体板bp之间。
59.具体地，第一轨道部件rp1可以设置在与第一边缘区域oa1叠置的下表面bp-b上。第一轨道部件rp1可以在第二方向dr2上延伸。第四轨道部件rp4可以设置在与第四边缘区域oa4叠置的下表面bp-b上，并且在第一方向dr1上延伸。
60.虽然由于图3的观察位置而未示出第二轨道部件，但是第二轨道部件可以设置在与第二边缘区域oa2叠置的下表面bp-b上。第二轨道部件可以在第二方向dr2上延伸。第三轨道部件可以设置在与第三边缘区域oa3叠置的下表面bp-b上，并且在第一方向dr1上延伸。
61.第一头部件he1至第四头部件he4可以各自在对应的轨道部件上移动以便靠近中心区域ca或远离中心区域ca。具体地，第一头部件he1和第二头部件he2可以在第二方向dr2上移动，第三头部件he3和第四头部件he4可以在第一方向dr1上移动。第一头部件he1至第四头部件he4可以同时移动或独自移动。
62.然而，头部件he的移动方法并不受上面描述的移动方法限制。例如，在实施例中，可以使用其中在基体板bp的下表面bp-b中限定有凹槽且头部件he在头部件he的部分插入在凹槽中的同时移动的方法。
63.图4是示出图3中示出的垫部件之中的设置在第四头部件的下表面上的垫部件的实施例的透视图。为了便于描述，在图4中，以竖直翻转的形状示出了图2中示出的垫部件pd。
64.参照图3和图4，垫部件pd可以设置在头部件he上。具体地，垫部件pd可以设置在头部件he的下表面上。
65.可以设置多个垫部件pd。例如，在实施例中，垫部件pd可以设置在第一头部件he1至第四头部件he4中的每个下面。
66.垫部件pd可以在对应的头部件he1至he4的延伸方向上延伸。例如，在实施例中，设置在第一头部件he1和第二头部件he2中的每个的下表面下面的垫部件pd可以在第一方向dr1上延伸。设置在第三头部件he3和第四头部件he4中的每个的下表面上的垫部件pd可以均在第二方向dr2上延伸。
67.垫部件pd可以包括第一垫pd1和设置为与第一垫pd1邻近的第二垫pd2。第一垫pd1和第二垫pd2可以设置为在它们的纵向方向上平行。例如，在实施例中，参照图3和图4，设置在第四头部件he4的下表面上的第一垫pd1和第二垫pd2可以均在第二方向dr2上延伸，并且设置为平行于第二方向dr2。
68.在发明的实施例中，与第二垫pd2邻近于中心区域ca相比，第一垫pd1可以设置为更邻近于中心区域ca。换句话说，第一垫pd1可以在头部件he的下表面上设置在内侧上，第二垫pd2可以在头部件he的下表面上设置在外侧上。
69.在发明的实施例中，第一垫pd1可以具有多孔结构。例如，在实施例中，多个第一孔h1可以限定在第一垫pd1中。第一孔h1可以不规则地限定在第一垫pd1的表面中。第一孔h1
可以限定在第一垫pd1的第一下表面bf1、侧表面和第一上表面uf1中的全部中。
70.第一垫pd1的第一下表面bf1和第一上表面uf1可以通过第一孔h1彼此连通。第一上表面uf1表示面对与第一垫pd1对应的头部件(例如，图3中示出的第四头部件he4)的下表面的表面。流入第一垫pd1的第一下表面bf1的空气可以从第一上表面uf1流出。
71.在发明构思的实施例中，第二孔h2可以限定在第二垫pd2中。当从垫部件pd下面观察时，第二孔h2的面积可以比第一孔h1中的每个的面积大。例如，在实施例中，第二孔h2可以被限定为线形状。
72.例如，在实施例中，如图4中所示出的，在第二垫pd2设置在第四头部件he4上的情况下，第二孔h2可以在第二方向dr2上长长地延伸。
73.第二孔h2可以在厚度方向(例如，第三方向dr3)上穿过第二垫pd2。第二垫pd2的上部和下部可以通过第二孔h2彼此连通。上部表示在第二垫pd2中的与头部件he邻近的部分，下部表示在第二垫pd2中的与上部背对的部分。
74.在发明的实施例中，头部件he可以包括气动控制部件(未示出)。气动控制部件可以设置在头部件he内部。气动控制部件可以连接到第一垫pd1的第一上表面uf1和第二垫pd2的上部。气动控制部件可以抽吸空气。例如，在实施例中，气动控制部件可以包括一个或更多个流动路径和吹风机。
75.气动控制部件可以在第一垫pd1的第一下表面bf1上并且在第二垫pd2的下部中形成负压。因此，在第一垫pd1的第一下表面bf1和第二垫pd2的下部周围的空气可以被抽吸，并且通过第一垫pd1和第二垫pd2流入到头部件he中。
76.在发明的实施例中，第一垫pd1的第一下表面bf1和第二垫pd2的第二下表面bf2可以设置为彼此共面。第一垫pd1的第一下表面bf1和第二垫pd2的第二下表面bf2可以接触目标物体。
77.第二孔h2的面积可以大于限定在第一下表面bf1中的第一孔h1的面积的总和。因此，当气动控制部件运行时，第二垫pd2的下部中产生的抽吸力可以大于第一垫pd1的第一下表面bf1中产生的抽吸力。换句话说，作用于第二垫pd2与目标物体之间的力可以大于作用于第一垫pd1与目标物体之间的力。
78.返回参照图2，掩模夹具mc还可以包括传输部件tp。传输部件tp可以连接到基体板bp的上表面bp-u，并且可以使基体板bp移动。传输部件tp可以在第一方向dr1至第三方向dr3上移动基体板bp。
79.图5a是示出在图1中示出的单元掩模被拉伸之前的状态的视图。图5b是示出其中图2中示出的掩模夹具拾取图5a中示出的单元掩模的状态的视图。
80.参照图5a，单元掩模cmk可以处于在图1中示出的单元掩模cmk被拉伸之前的状态。多个沉积孔h'可以限定在单元掩模cmk'中。在平面图中，单元掩模cmk'的面积可以小于图1中示出的单元掩模cmk的面积。在平面图中，沉积孔h'的面积可以小于图1中示出的沉积孔h的面积。
81.翼部件可以设置在单元掩模cmk'的外围上。例如，在实施例中，翼部件可以均从单元掩模cmk'的外围延伸。具体地，第一翼部件fp1和第二翼部件fp2可以在第二方向dr2上从单元掩模cmk'延伸。第三翼部件fp3和第四翼部件fp4可以均在第一方向dr1上从单元掩模cmk'延伸。
82.第一翼部件fp1至第四翼部件fp4可以与单元掩模cmk'是一体的。例如，在实施例中，第一翼部件fp1至第四翼部件fp4可以包括金属材料。可以从随后将描述的工艺去除第一翼部件fp1至第四翼部件fp4。
83.参照图5a和图5b，掩模夹具mc可以拾取单元掩模cmk'。例如，在实施例中，传输部件tp可以将基体板bp设置在单元掩模cmk'上。传输部件tp可以使基体板bp降低，并且使垫部件pd与单元掩模cmk'接触。
84.在平面图中，掩模夹具mc的第一头部件he1可以与第一翼部件fp1叠置。设置在第一头部件he1的下表面上的垫部件pd可以与第一翼部件fp1的上表面接触。具体地，第一垫pd1可以接触在第一翼部件fp1的上表面上的与单元掩模cmk'邻近的内部分，第二垫pd2可以接触第一翼部件fp1的上表面的外部分。
85.掩模夹具mc的第二头部件he2可以与第二翼部件fp2叠置。设置在第二头部件he2的下表面上的垫部件pd可以与第二翼部件fp2的上表面接触。第三头部件he3可以与第三翼部件fp3叠置，并且设置在第三头部件he3的下表面上的垫部件pd可以与第三翼部件fp3的上表面接触。虽然未示出，但是设置在第四头部件he4的下表面上的垫部件pd可以与第四翼部件fp4的上表面接触。
86.单元掩模cmk'可以固定到掩模夹具mc上。例如，在实施例中，当头部件he的气动控制部件运行时，第一翼部件fp1至第四翼部件fp4可以被抽吸且附着到垫部件pd。如上所述，第二垫pd2与第一翼部件fp1至第四翼部件fp4之间的抽吸力可以大于第一垫pd1与第一翼部件fp1至第四翼部件fp4之间的抽吸力。
87.图6a是示出其中图5b中示出的掩模夹具对单元掩模进行拉伸的状态的视图。图6b是示出其中图5a中示出的单元掩模被拉伸的状态的视图。
88.参照图6a，掩模夹具mc可以对单元掩模cmk'进行拉伸。具体地，在其中第一翼部件fp1至第四翼部件fp4固定到垫部件pd的状态下，掩模夹具mc可以在从内向外的方向上移动头部件he。
89.具体地，对于图6a，第一头部件he1可以在向左方向上移动，第二头部件he2可以在向右方向上移动。因此，单元掩模cmk'可以在第二方向dr2上被拉伸。此外，第三头部件he3可以在刺穿出图6a的方向上移动。第四头部件he4可以在刺穿进入图6a的方向上移动。因此，单元掩模cmk'可以在第一方向dr1上被拉伸。第一头部件he1至第四头部件he4移动所沿的方向详细地示出在图3中。
90.参照图6b，单元掩模cmk'可以指其中图5a中示出的单元掩模cmk'被拉伸的状态。具体地，在平面图中，被拉伸的单元掩模cmk'的面积可以大于图5a的单元掩模cmk'的面积。不包括第一翼部件fp1至第四翼部件fp4的被拉伸的单元掩模cmk'的面积可以等于图1中示出的单元掩模cmk的面积。沉积孔h的面积可以等于图1中示出的沉积孔h的面积。
91.图7是示出其中图6a中示出的掩模夹具将单元掩模设置在掩模框架上的状态的视图。图8是示出其中图7中示出的单元掩模被固定到掩模框架的状态的视图。
92.参照图7，掩模夹具mc可以将被拉伸的单元掩模cmk设置在设置于台st上的掩模框架mf上。单元掩模cmk的设置可以通过传输部件tp来执行。
93.翼部件fp和单元掩模cmk的边缘部分可以与掩模框架mf的上表面接触。
94.参照图8，强光发射设备(例如，激光设备)ld1可以对单元掩模cmk的边缘部分和掩
2。
109.参照图10a，垫部件pd-2可以包括第一垫pd2-1和第二垫pd2-2。第一垫pd2-1可以在头部件he-2的纵向方向(例如，第二方向dr2)上延伸。第一垫pd2-1可以设置在头部件he-2的下表面的中心部分上。当从垫部件pd-2下面观察时，第一垫pd2-1可以具有在第二方向dr2上长长地延伸的四边形的(例如，矩形的)形状。
110.第一垫pd2-1可以具有与图4中示出的第一垫pd1基本上相同的结构。例如，在实施例中，多个第一孔h1-2可以限定在第一垫pd2-1的表面中。第一垫pd2-1可以连接到设置在头部件he-2内部的气动控制部件。
111.第二垫pd2-2可以围绕第一垫pd2-1。例如，在实施例中，当从垫部件pd-2下面观察时，第二垫pd2-2可以设置为沿着第一垫pd2-1的外围延伸。例如，在实施例中，第二垫pd2-2可以具有四边形的(例如，矩形的)环形状。
112.第一垫pd2-1的第一下表面bf1-2可以具有第一摩擦系数。第二垫pd2-2的第二下表面bf2-2可以具有第二摩擦系数。在本实施例中，第二摩擦系数可以大于第一摩擦系数。
113.参照图10b，第一垫pd2-1的位置可以变化。在实施例中，第一垫pd2-1可以连接到垫驱动部件。例如，垫驱动部件可以设置在头部件he-2内部。垫驱动部件可以连接到第一垫pd2-1的第一上表面。第一上表面可以是在第三方向dr3上与第一下表面bf1-2背对的表面。垫驱动部件可以使第一垫pd2-1在与第一下表面bf1-2垂直的方向(例如，第三方向dr3)上移动。
114.图11a和图11b是示出其中包括图10a和图10b中示出的垫部件和头部件的掩模夹具对单元掩模进行拉伸的状态的视图。
115.参照图11a，第一垫pd2-1的第一下表面bf1-2比第二垫pd2-2的第二下表面bf2-2(例如，在第三方向dr3上)进一步向下突出。第一垫pd2-1的第一下表面bf1-2可以首先接触翼部件fp。翼部件fp可以是图5a中示出的第一翼部件fp1至第四翼部件fp4之中的任何一个。
116.在第一垫pd2-1接触翼部件fp时，气动控制部件可以将翼部件fp固定到第一垫pd2-1。
117.参照图11b，第二垫pd2-2的第二下表面bf2-2可以与翼部件fp接触。当垫驱动部件使第一垫pd2-1的位置在第三方向dr3上移动时，第二垫pd2-2可以接触翼部件fp。在第一垫pd2-1和第二垫pd2-2与翼部件fp接触的同时，头部件he-2可以向外(相对于图11b向右方向)移动。因此，单元掩模cmk'可以被拉伸。
118.在发明的实施例中，在翼部件fp通过真空抽吸力固定到第一垫pd2-1的同时，具有比第一垫pd2-1的摩擦系数大的摩擦系数的第二垫pd2-2可以与翼部件fp接触。因此，当拉伸单元掩模cmk'时，将改善翼部件fp与垫部件pd-2之间的滑移现象，并且可以执行具有高度完整性的拉伸工艺。
119.图12a和图12b是示出根据发明的掩模夹具的垫部件和磁部件的实施例的视图。为了便于描述，在图12a和图12b中，垫部件pd-3和头部件he-3被垂直翻转，并且示出了垫部件pd-3和头部件he-3。
120.参照图12a和图12b，多个第一孔h1-3可以限定在垫部件pd-3中。垫部件pd-3的第一上表面和第一下表面可以经由第一孔h1-3彼此连通。垫部件pd-3的第一上表面可以连接
到气动控制部件。
121.根据本实施例，掩模夹具还可以包括磁部件mp。磁部件mp可以设置在垫部件pd-3与基体板bp(参照图3)之间。例如，在实施例中，磁部件mp可以设置在头部件he-3内部。磁部件mp可以在头部件he-3内部移动。例如，在实施例中，磁部件mp可以在第三方向dr3上移动，并且移动为靠近垫部件pd-3或远离垫部件pd-3。
122.在本实施例中，磁部件mp可以包括永久磁铁。然而，发明不限于此，并且磁部件mp也可以包括电磁铁。
123.图13a和图13b是示出其中包括图12a和图12b中示出的垫部件和磁部件的掩模夹具对单元掩模进行拉伸的状态的视图。
124.参照图13a，垫部件pd-3可以与翼部件fp接触。磁部件mp可以设置于在第三方向dr3上与垫部件pd-3间隔开的位置处。气动控制部件可以通过真空抽吸力将翼部件fp固定到垫部件pd-3。翼部件fp可以是图5a中示出的第一翼部件fp1至第四翼部件fp4之中的一个。
125.参照图13b，磁部件mp可以移动为靠近垫部件pd-3。如上所述，翼部件fp可以包括金属材料。因此，吸引力可以作用在磁部件mp与翼部件fp之间。结果，垫部件pd-3与翼部件fp之间的吸引力可以增强。
126.当磁部件mp设置为与垫部件pd-3邻近时，头部件he-3可以向外(即，相对于图13b向右方向)移动。因此，单元掩模cmk'可以被拉伸。
127.在发明的实施例中的掩模夹具还包括设置在头部件he-3内部以便靠近或远离垫部件pd-3的磁部件mp，因此可以容易地控制垫部件pd-3与翼部件fp之间的结合力。例如，在实施例中，当对单元掩模cmk'进行拉伸时，磁部件mp设置为与垫部件pd-3邻近，并且可以利用较强的力来固定翼部件fp。因此，可以减轻翼部件fp与垫部件pd-3之间的滑移现象。
128.在发明的实施例中，掩模夹具可以通过垫部件和传输部件拾取单元掩模，且将单元掩模设置在掩模框架上，并且还通过连接到垫部件且在边缘区域中移动的头部件对单元掩模进行拉伸。
129.目前，已经结合其优选的实施例对发明进行了描述。然而，本领域的普通技术人员将认识到，在不脱离权利要求中阐述的精神和范围的情况下，各种修改和变型是可能的。另外，在此公开的实施例不意图限制发明的精神和范围。当然，所附权利要求和在与其相等的范围内的所有的技术理念应当被理解为包括在发明的精神和范围中。