掩模夹具的制作方法

技术特征：
1.一种掩模夹具，所述掩模夹具包括：基体板，包括中心区域和围绕所述中心区域的边缘区域，所述边缘区域包括：第一边缘区域，在第一方向上延伸；第二边缘区域，在所述第一方向上延伸并且在与所述第一方向交叉的第二方向上与所述第一边缘区域间隔开；第三边缘区域，在所述第二方向上延伸；以及第四边缘区域，在所述第二方向上延伸并且在所述第一方向上与所述第三边缘区域间隔开；头部件，包括连接到所述基体板的所述边缘区域的第一表面，并且被构造为在所述边缘区域中移动以便靠近所述中心区域或远离所述中心区域，所述头部件包括：第一头部件，设置在所述第一边缘区域中并且在所述第一方向上延伸；第二头部件，设置在所述第二边缘区域中并且在所述第一方向上延伸；第三头部件，设置在所述第三边缘区域中并且在所述第二方向上延伸；以及第四头部件，设置在所述第四边缘区域中并且在所述第二方向上延伸，以及垫部件，设置在所述头部件的与所述头部件的所述第一表面背对的第二表面上。2.如权利要求1所述的掩模夹具，其中，所述垫部件包括：第一垫，设置在所述头部件的所述第二表面上并且所述第一垫中限定有多个第一孔；以及第二垫，设置为与所述第一垫邻近并且所述第二垫中限定有第二孔，其中，在平面图中，所述第二孔具有比所述多个第一孔中的任意一个第一孔的面积大的面积。3.如权利要求2所述的掩模夹具，其中，所述第一垫和所述第二垫在一个方向上平行地延伸。4.如权利要求3所述的掩模夹具，其中，在平面图中，与所述第二垫邻近于所述中心区域相比，所述第一垫设置为更邻近于所述中心区域。5.如权利要求2所述的掩模夹具，其中，所述第一垫的与所述基体板背对的第一表面和所述第二垫的与所述基体板背对的第一表面设置为彼此共面。6.如权利要求2所述的掩模夹具，其中：所述第一垫的面对所述基体板的第一表面和所述第一垫的与所述第一垫的所述第一表面背对的第二表面经由所述多个第一孔彼此连通；并且所述第二垫的面对所述基体板的第一部分和所述第二垫的与所述第二垫的所述第一部分背对的第二部分经由所述第二孔彼此连通。7.如权利要求6所述的掩模夹具，其中，所述头部件包括连接到所述第一垫的所述第一表面和所述第二垫的所述第一部分的气动控制部件，所述气动控制部件被构造为抽吸所述第一垫的所述第二表面和所述第二垫的所述第二部分周围的空气。8.如权利要求2所述的掩模夹具，其中，所述多个第一孔不规则地限定在所述第一垫的表面中。9.如权利要求2所述的掩模夹具，其中，所述第二孔在所述第二垫的纵向方向上延伸，并且在所述第二垫的厚度方向上穿过所述第二垫。10.如权利要求1所述的掩模夹具，其中，所述第一头部件至所述第四头部件彼此分开。11.如权利要求1所述的掩模夹具，其中：
所述第一头部件和所述第二头部件中的每个在所述第二方向上移动以便靠近所述中心区域或远离所述中心区域；并且所述第三头部件和所述第四头部件中的每个在所述第一方向上移动以便靠近所述中心区域或远离所述中心区域。12.如权利要求1所述的掩模夹具，其中，所述垫部件包括：第一垫，包括与所述基体板背对并且具有第一摩擦系数的第一表面；以及第二垫，设置为与所述第一垫邻近并且包括与所述基体板背对并且具有第二摩擦系数的第一表面，所述第二摩擦系数大于所述第一摩擦系数。13.如权利要求12所述的掩模夹具，其中，在平面图中，所述第二垫围绕所述第一垫。14.如权利要求13所述的掩模夹具，其中，所述第一垫被构造为在垂直于所述第一垫的所述第一表面的方向上移动。15.如权利要求1所述的掩模夹具，所述掩模夹具包括设置在所述基体板与所述垫部件之间并且被构造为移动以便靠近所述垫部件或远离所述垫部件的磁部件，所述磁部件设置在所述头部件内部。16.如权利要求15所述的掩模夹具，其中，所述磁部件包括至少一个永久磁铁。

技术总结
提供了一种掩模夹具。所述掩模夹具可以包括：基体板，包括中心区域和围绕中心区域的边缘区域；头部件，包括连接到基体板的边缘区域的第一表面，并且构造为在边缘区域中移动以便靠近中心区域或远离中心区域；垫部件，设置在头部件的与头部件的第一表面背对的第二表面上。边缘区域可以包括：第一边缘区域，在第一方向上延伸；第二边缘区域，在第一方向上延伸并且在与第一方向交叉的第二方向上与第一边缘区域间隔开；第三边缘区域，在第二方向上延伸；以及第四边缘区域，在第二方向上延伸并且在第一方向上与第三边缘区域间隔开。一方向上与第三边缘区域间隔开。一方向上与第三边缘区域间隔开。


技术研发人员：赵俊豪 朴永浩 宋昇勇 李宁哲 崔玲硕
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2021.07.15
技术公布日：2022/1/25