一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体的制作方法

技术特征：
1.一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，包括加热炉本体(17)和出风夹层(10)，其特征在于：所述加热炉本体(17)的两端设置有环形的进风保温层(1)，所述进风保温层(1)上设置有进风道(6)，所述进风道(6)的顶部设置有延伸至加热炉本体(17)上方的进风管(7)，所述加热炉本体(17)的两端设置有位于进风保温层(1)一侧的环形的出风保温层(2)，所述出风保温层(2)上设置有出风道(15)，所述加热炉本体(17)的金属外壳由夹层水冷结构(14)组成，所述加热炉本体(17)加热结构设置有加热丝(5)，所述加热丝(5)与夹层水冷结构(14)之间设有主体保温层(3)，所述加热炉本体(17)的顶部设置有冷却水进出口(9)；所述主体保温层(3)的中间设置有主体保温层进风道(12)，所述主体保温层进风道(12)与进风保温层(1)的进风道(6)连接，所述主体保温层进风道(12)中开设有射流口(13)，所述出风夹层(10)的下方设置有出风道(15)，所述出风道(15)的下方设置有石英管(16)，所述石英管(16)与主体保温层(3)之间设置有环形区域(4)。2.根据权利要求1所述的一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，其特征在于：所述主体保温层(3)与两端进风保温层(1)、出风保温层(2)相连接。3.根据权利要求1所述的一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，其特征在于：所述主体保温层(3)为软性或者硬性定型结构，所述主体保温层(3)为硅酸铝纤维主体保温层。4.根据权利要求1所述的一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，其特征在于：所述夹层水冷结构(14)采用三层金属板结构制作而成，用三块厚度相等或者不相等的金属薄板制作。5.根据权利要求1所述的一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，其特征在于：所述夹层水冷结构(14)的上方设置有外保温层(11)，所述石英管(16)的内部设置有被加热物体。6.根据权利要求1所述的一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，其特征在于：所述加热炉本体(17)的顶部设置有出风管(8)，所述出风管(8)的底部设置在出风夹层(10)的上方且与出风夹层(10)相连通。7.根据权利要求1所述的一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，其特征在于：所述进风道(6)的顶部和进风管(7)的底部相互连通。

技术总结
本实用新型公开了一种带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，涉及半导体加工技术领域。包括加热炉本体，加热炉本体的两端设置有环形的进风保温层，进风保温层上设置有进风道，进风道的顶部设置有延伸至加热炉本体上方的进风管，加热炉本体的两端设置有位于进风保温层一侧的环形的出风保温层，出风保温层上设置有出风道，加热炉本体的金属外壳由夹层水冷结构组成，加热炉本体加热结构设置有加热丝。该带水冷外壳的主动射流快速降温的加热炉体，通过设置射流口、石英管以及环形区域，在对晶圆进行加工过程中获得较快的降温速率，从而缩短工艺时间，并且保证晶圆表面薄膜成型的质量，降低了生产成本。降低了生产成本。降低了生产成本。


技术研发人员：季斌 郭鑫斌 赵东
受保护的技术使用者：江苏昌耐能源科技有限公司
技术研发日：2021.06.15
技术公布日：2022/1/25