单晶炉副室清理装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉辅助设备技术领域，尤其涉及一种单晶炉副室清理装置。


背景技术：

2.单晶生产需要在高纯的环境中进行，所以对单晶炉室内的环境有严格的要求。单晶硅棒在生产制备晶体的过程中，挥发物会附着在副室的内壁上对拉晶产生影响。当晶棒取出后生产人员需对副室进行清理，现有技术中通常采用将清洁材料固定在钢管的顶端，蘸上无水乙醇后人工对副室的炉筒内壁进行清理。该方式增加了操作工人的劳动强度，浪费人力资源，而且容易出现内壁除尘效果不佳的现象，从而影响单晶硅棒的成晶率和品质。


技术实现要素：

3.针对现有技术的不足，本实用新型提供一种单晶炉副室清理装置，该清理装置通过多级伸缩杆向上抬升，带动支撑环向上抬升进入单晶炉副室内，支撑环上的清洁材料对炉筒内壁进行清理，其自动化程度高，降低了操作工人的劳动强度，提高了单晶炉副室的清理效率。
4.本实用新型采用的技术方案是：
5.一种单晶炉副室清理装置，包括：
6.底座；
7.电机箱，设置在所述底座上；
8.多级伸缩杆，设置在所述底座上，与所述电机箱相连，通过所述电机箱驱动所述多级伸缩杆升降；
9.支撑环，设置在所述多级伸缩杆的顶端。
10.在本技术公开的单晶炉副室清理装置中，所述电机箱内设置有伺服电机、减速机和主动同步带轮，所述伺服电机与所述减速机传动连接，所述伺服电机经减速机驱动所述主动同步带轮。
11.在本技术公开的单晶炉副室清理装置中，所述多级伸缩杆的内部中心设置有螺杆，所述螺杆的底端固定连接有从动同步带轮，所述从动同步带轮与所述主动同步带轮之间通过同步带传动连接。
12.在本技术公开的单晶炉副室清理装置中，所述螺杆的圆周外侧螺纹连接有至少三级导向伸缩杆，各级导向伸缩杆的直径不同，且各级导向伸缩杆按直径由大到小的顺序从下往上依次套接。
13.在本技术公开的单晶炉副室清理装置中，所述多级伸缩杆的顶端设置有安装板，所述安装板固定设置在直径最小的所述导向伸缩杆的顶端，所述支撑环设置在所述安装板上。
14.在本技术公开的单晶炉副室清理装置中，所述支撑环上设置有连接杆，所述连接杆远离所述支撑环的一端与所述安装板的一侧相连，且所述多级伸缩杆与所述支撑环之间
呈互相垂直状态，所述多级伸缩杆的轴线位于所述支撑环的环内。
15.在本技术公开的单晶炉副室清理装置中，所述清理装置还包括平板推车，所述底座设置在所述平板推车上。
16.在本技术公开的单晶炉副室清理装置中，所述平板推车包括：
17.底板，其上侧表面设置有所述底座；
18.推杆，设置在所述底板的一端；
19.万向轮，设置在所述底板的下方。
20.在本技术公开的单晶炉副室清理装置中，所述电机箱的外部设置有控制开关，所述控制开关与所述伺服电机相连。
21.在本技术公开的单晶炉副室清理装置中，所述支撑环为不锈钢材质。
22.本实用新型的有益效果是：
23.（1）通过多级伸缩杆向上抬升，带动支撑环向上抬升进入单晶炉副室内，支撑环上的清洁材料对炉筒内壁进行清理，其自动化程度高，降低了操作工人的劳动强度，提高了单晶炉副室的清理效率。
24.（2）多级伸缩杆能够自动进行上下升降，避免了在搬运过程中存在碰撞的风险，工人也无需手持清理杆进行清理，提高了清理效率，降低了人工成本。
25.（3）支撑环为不锈钢材质，不锈钢材质具有一定的刚性，清洁材料固定在支撑环上，便于清理炉筒内壁，清理效果好。
26.（4）清理装置设置在平板推车上，清理装置可以随平板推车移动，操作工人只需旋开副室，将平板推车推至副室下方，再通过遥控控制开关，多级伸缩杆垂直向上运动，进入副室进行清理，其操作简单，自动化程度高，降低了人工成本。
附图说明
27.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
28.图1为本实用新型的单晶炉副室清理装置的结构示意图一；
29.图2为本实用新型的单晶炉副室清理装置的结构示意图二；
30.图3为电机箱的内部结构示意图。
31.附图标记：底座1、电机箱2、多级伸缩杆3、支撑环4、平板推车5、伺服电机21、减速机22、主动同步带轮23、同步带24、螺杆31、导向伸缩杆32、从动同步带轮33、安装板34、连接杆41、底板51、推杆52、万向轮53。
具体实施方式
32.在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
33.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽
度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
34.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
35.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
36.下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。
37.现有技术中通常采用将清洁材料固定在钢管的顶端，蘸上无水乙醇后人工对副室的炉筒内壁进行清理。该方式增加了操作工人的劳动强度，浪费人力资源，而且容易出现内壁除尘效果不佳的现象，从而影响单晶硅棒的成晶率和品质。
38.为了解决现有技术的问题，本实用新型实施例提供了一种单晶炉副室清理装置，其结构如附图1~3所示。该清理装置包括：
39.底座1，起支撑稳定的作用。
40.电机箱2，设置在底座1上。电机箱2为清理装置提供驱动力。
41.多级伸缩杆3，设置在底座1上，与电机箱2相连，通过电机箱2驱动多级伸缩杆3升降。多级伸缩杆3为高度、直径符合伸入副室要求的圆柱体形状。电机箱2为多级伸缩杆3提供驱动力，多级伸缩杆3在电机箱2的作用下，可以实现上下升降。
42.支撑环4，设置在多级伸缩杆3的顶端。清洁材料固定在支撑环4上，支撑环4随多级伸缩杆3进入炉筒内壁，其上的清洁材料对内壁进行清理。
43.在电机箱2的驱动作用下，多级伸缩杆3向上抬升，带动支撑环4向上抬升进入单晶炉副室内，支撑环4上的清洁材料对炉筒内壁进行清理，其自动化程度高，降低了操作工人的劳动强度，提高了单晶炉副室的清理效率。并且多级伸缩杆3能够自动进行上下升降，避免了在搬运过程中存在碰撞的风险，工人也无需手持清理杆进行清理，提高了清理效率，降低了人工成本。
44.在一个实施例中，电机箱2内设置有伺服电机21、减速机22和主动同步带轮23，如附图3所示，伺服电机21与减速机22传动连接，伺服电机21经减速机22驱动主动同步带轮23。主动同步带轮23转动可带动多级伸缩杆3进行升降运动。
45.在一个实施例中，多级伸缩杆3的内部中心设置有螺杆31，螺杆31的底端固定连接有从动同步带轮33，从动同步带轮33与主动同步带轮23之间通过同步带24传动连接。伺服
电机21经减速机22驱动主动同步带轮23，主动同步带轮23通过同步带24传动从动同步带轮33，带动螺杆31转动，从而达到多级伸缩杆3升降的目的。
46.在一个实施例中，螺杆31的圆周外侧螺纹连接有至少三级导向伸缩杆32。各级导向伸缩杆32的直径不同，且各级导向伸缩杆32按直径由大到小的顺序从下往上依次套接，形成塔状的伸缩杆结构，能够简单快速地对伸缩杆进行拉伸和收缩。在螺杆31的转动下，各级导向伸缩杆32按直径，由小到大向上抬升，带动支撑环4向上抬升。
47.在一个实施例中，多级伸缩杆3的顶端设置有安装板34，安装板34固定设置在直径最小的导向伸缩杆32的顶端，支撑环4设置在安装板34上。
48.在一个实施例中，支撑环4上设置有连接杆41，连接杆41远离支撑环4的一端与安装板34的一侧相连，且多级伸缩杆3与支撑环4之间呈互相垂直状态，多级伸缩杆3的轴线位于支撑环4的环内。支撑环4与多级伸缩杆3呈垂直状态，便于多级伸缩杆3伸入副室后，支撑环4清理内壁。
49.在一个实施例中，清理装置还包括平板推车5，底座1设置在平板推车5上。清理装置可以随平板推车5移动。由于清理装置具有一个大的重量，将底座1固定在平板推车5上，操作工人只需旋开副室，将平板推车5推至副室下方，启动驱动电机，多级伸缩杆3垂直向上运动，就可进入副室进行清理。
50.在一个实施例中，平板推车5包括底板51、推杆52和万向轮53。底座1设置在底板51的上侧表面，即多级伸缩杆3和电机箱2设置在平板推车5上。万向轮53设置在底板51的下方。推杆52设置在底板51的一端，推杆52用于推动平板推车5移动。
51.在一个实施例中，电机箱2的外部设置有控制开关，控制开关与伺服电机21相连。控制开关可以为遥控器，遥控器与电机箱2信号连接。工作人员可通过遥控控制开关，进而控制清理装置的运行，其自动化程度高，降低了操作工人的劳动强度，提高了单晶炉副室的清理效率。
52.在一个实施例中，支撑环4为不锈钢材质。不锈钢材质具有一定的刚性，清洁材料固定在支撑环4上，便于清理炉筒内壁，清理效果好。
53.本实用新型的单晶炉副室清理装置的工作方式：
54.工作时，工人推动平板推车5，将清理装置推至副室的下方，旋开副室，遥控控制开关，伺服电机21经减速机22驱动主动同步带轮23，再通过同步带24传动从动同步带轮33，带动螺杆31转动。在螺杆31的转动下，各级导向伸缩杆32向上逐级抬升，安装板34带动支撑环4向上抬升，进入副室内，支撑环4上的清洁材料对炉筒内壁进行清理。
55.基于上述各实施例，本实用新型实施例的单晶炉副室清理装置具有以下优点：该清理装置的结构简单，操作方便，自动化程度高，清理速度快，工作效率高。通过多级伸缩杆3向上抬升，安装板34带动支撑环4向上抬升进入单晶炉副室内，支撑环4上的清洁材料对炉筒内壁进行清理，其自动化程度高，降低了操作工人的劳动强度，提高了单晶炉副室的清理效率。并且多级伸缩杆3能够自动进行上下升降，避免了在搬运过程中存在碰撞的风险，工人也无需手持清理杆进行清理，提高了清理效率，降低了人工成本。支撑环4为不锈钢材质，不锈钢材质具有一定的刚性，清洁材料固定在支撑环4上，便于清理炉筒内壁，清理效果好。清理装置设置在平板推车5上，清理装置可以随平板推车5移动，操作工人只需旋开副室，将平板推车5推至副室下方，再通过遥控控制开关，多级伸缩杆3垂直向上运动，进入副室进行
清理，其操作简单，自动化程度较高，降低了人工成本。
56.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。