一种用于气体输送的钢瓶架的制作方法

1.本实用新型涉及气体输送技术领域，具体涉及一种用于气体输送的钢瓶架。


背景技术：

2.由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家ic封装和ic装配厂，450家ic设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，ic设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前 20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。
3.而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多气体，其中一种为惰性气体(如n2)，其中的输送没有太多的危害，需要采用普通的手动操作系统，来节约成本。
4.为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种用于气体输送的钢瓶架，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。
6.一种用于气体输送的钢瓶架，包括：架子、气体供应单元和钢瓶，所述气体供应单元与架子连接，所述钢瓶与气体供应单元和架子连接；
7.其中，所述气体供应单元包括：入口阀、调压阀、低压端过滤器、高压气体排放阀、低压出口隔离阀、压力表和垫片式过滤器，所述入口阀通过pigtail管路与钢瓶连接，所述入口阀与压力表连接，所述入口阀通过管路与调压阀连接，所述调压阀后端与低压端过滤器连接，所述调压阀和低压端过滤器中间设置有压力表，所述低压端过滤器后端与低压出口隔离阀连接，所述高压气体排放阀前端通过pigtail管路与钢瓶连接，所述高压气体排放阀与压力表连接，所述高压气体排放阀后端与外部管路连接，所述低压出口隔离阀后端与外部管路连接，所述垫片式过滤器与入口阀前端连接。
8.进一步，所述钢瓶的数量为2～5个。
9.本实用新型的有益效果：
10.本实用新型与传统技术相比，通过设计增设气体供应的钢瓶架，采用普通手动操作系统，方便惰性气体输送，节约成本。
附图说明：
11.图1为本实用新型的结构示意图。
12.附图标记：
13.架子100、气体供应单元200、入口阀210、调压阀220、低压端过滤器230、高压气体排放阀240、低压出口隔离阀250、压力表260、垫片式过滤器270和钢瓶300。
具体实施方式
14.以下结合具体实施例，对本实用新型作进步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。
15.实施例1
16.图1为本实用新型的结构示意图。
17.如图1所示，一种用于气体输送的钢瓶架，包括：架子100、气体供应单元200和钢瓶300，气体供应单元200与架子100连接，钢瓶300与气体供应单元200和架子100连接；
18.其中，气体供应单元200包括：入口阀210、调压阀220、低压端过滤器230、高压气体排放阀240、低压出口隔离阀250、压力表260和垫片式过滤器270，入口阀210通过pigtail管路与钢瓶300连接，入口阀210与压力表260连接，入口阀210通过管路与调压阀220连接，调压阀220后端与低压端过滤器230连接，调压阀220和低压端过滤器230中间设置有压力表260，低压端过滤器230后端与低压出口隔离阀250连接，高压气体排放阀240前端通过pigtail管路与钢瓶300连接，高压气体排放阀240 与压力表260连接，高压气体排放阀240后端与外部管路连接，低压出口隔离阀250后端与外部管路连接，垫片式过滤器270与入口阀210前端连接。
19.钢瓶300的数量为2～5个。
20.本实用新型的工作原理是，设计惰性气体的气体供应单元200，气体供应单元200通过设计复数种类的控制阀，并加装相对应的架子100，放置2～5个钢瓶300，用于切换，保证不间断供应。现有的惰性气体输送设备采用的智能化的自动操作系统，管路设计复杂，增加了生产成本。本实用新型通过设计增设气体供应的钢瓶架，采用普通手动操作系统，方便惰性气体输送，节约成本。
21.以上对本实用新型的具体实施方式进行了说明，但本实用新型并不以此为限，只要不脱离本实用新型的宗旨，本实用新型还可以有各种变化。


技术特征：
1.一种用于气体输送的钢瓶架，其特征在于，包括：架子(100)、气体供应单元(200)和钢瓶(300)，所述气体供应单元(200)与架子(100)连接，所述钢瓶(300)与气体供应单元(200)和架子(100)连接；其中，所述气体供应单元(200)包括：入口阀(210)、调压阀(220)、低压端过滤器(230)、高压气体排放阀(240)、低压出口隔离阀(250)、压力表(260)和垫片式过滤器(270)，所述入口阀(210)通过pigtail管路与钢瓶(300)连接，所述入口阀(210)与压力表(260)连接，所述入口阀(210)通过管路与调压阀(220)连接，所述调压阀(220)后端与低压端过滤器(230)连接，所述调压阀(220)和低压端过滤器(230)中间设置有压力表(260)，所述低压端过滤器(230)后端与低压出口隔离阀(250)连接，所述高压气体排放阀(240)前端通过pigtail管路与钢瓶(300)连接，所述高压气体排放阀(240)与压力表(260)连接，所述高压气体排放阀(240)后端与外部管路连接，所述低压出口隔离阀(250)后端与外部管路连接，所述垫片式过滤器(270)与入口阀(210)前端连接。2.根据权利要求1所述的一种用于气体输送的钢瓶架，其特征在于：所述钢瓶(300)的数量为2～5个。

技术总结
一种用于气体输送的钢瓶架，包括：架子、气体供应单元和钢瓶，气体供应单元与架子连接，钢瓶与气体供应单元和架子连接。其中，气体供应单元包括：入口阀、调压阀、低压端过滤器、高压气体排放阀、低压出口隔离阀、压力表和垫片式过滤器。本实用新型与传统技术相比，通过设计增设气体供应的钢瓶架，采用普通手动操作系统，方便惰性气体输送，节约成本。节约成本。节约成本。


技术研发人员：甘万 杨欣 江福荣
受保护的技术使用者：上海盛韬半导体科技有限公司
技术研发日：2021.03.18
技术公布日：2022/1/18