一种盒装晶圆吸附分拣结构的制作方法

1.本实用新型为分拣领域，具体涉及一种盒装晶圆吸附分拣结构。


背景技术：

2.传统的半导体产品在检测的时候需要进行拍照检测，将检测不合格的晶圆进行剔除，现有技术多采用机械手臂来进行剔除，但是现有的吸盘机械手臂在跟着直线导轨移动的时候，由于直线导轨上滑块移动，吸盘头并未受到限位，容易造成晶圆的损坏，因此获得一种克服上述缺陷的盒装晶圆分拣结构十分重要。


技术实现要素：

3.为解决上述至少一种技术问题，本实用新型提供一种盒装晶圆吸附分拣结构，包括吸嘴浮动头，所述吸嘴浮动头包括横板和竖板，所述竖板上固定有第一直线导轨，所述第一直线导轨的滑块上固定有吸嘴固定板，所述吸嘴固定板上固定有第一限位板，所述第一直线导轨的顶部固定有与第一限位板配合的第二限位板，所述第一限位板位于横板和第二限位板之间；所述吸嘴固定板上固定有吸嘴。
4.横板底部和第一限位板顶部直线固定有第一缓冲装置，所述第一缓冲装置包括开设在横板底部的第一限位槽、开设在第一限位板顶部的第二限位槽，所述第一限位槽和第二限位槽之间放置有第一缓冲件。第一缓冲件为第一弹簧或第一高分子弹性柱，所述第一高分子弹性柱内部开设第一穿孔。
5.第二限位板顶部和第一限位板底部直线固定有第二缓冲装置，所述第二缓冲装置包括开设在第二限位板顶部的第三限位槽、开设在第一限位板底部的第四限位槽，所述第三限位槽和第四限位槽之间放置有第二缓冲件。第二缓冲件为第二弹簧或第二高分子弹性柱，所述第二高分子弹性柱内部开设第二穿孔。
6.所述第一高分子弹性柱和第二高分子弹性柱的外壁上均开设有楔形槽，内壁上开设有与楔形槽配合的槽体。
7.与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本实用新型结构简单，由于第一限位板和第二限位板的配合设置，能够防止直线导轨损坏，吸嘴直接砸穿晶圆的情况发生；增加第一缓冲装置和第二缓冲装置能够防止吸嘴在取晶圆的时候增加一定的缓冲力，保护晶圆不在搬运时损坏。
附图说明
8.图1为本实用新型截面示意图一；
9.图2为本实用新型截面示意图二；
10.图3为本实用新型立体图；
11.图4为本实用新型第一、第二高分子弹性柱截面示意图；
12.附图标记：1-吸嘴浮动头；101-竖板；102-横板；2-吸嘴固定板；201-第一限位板；
3-第一直线导轨；301-滑块；302-第二限位板；4-吸嘴；
13.5-第一限位槽；6-第二限位槽；7-第一弹簧；8-第一高分子弹性柱；801-第一穿孔；9-第三限位槽；10-第四限位槽；11-第二高分子弹性柱；1101-第二穿孔；12-楔形槽；13-槽体；14-第二弹簧。
具体实施方式
14.为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型，从而对本实用新型要求保护的范围作出更清楚地限定，下面就本实用新型的某些具体实施例对本实用新型进行详细描述。需要说明的是，以下仅是本实用新型构思的某些具体实施方式仅是本实用新型的一部分实施例，其中对于相关结构的具体的直接的描述仅是为方便理解本实用新型，各具体特征并不当然、直接地限定本实用新型的实施范围。
15.参阅附图所示，本实用新型采用以下技术方案，本实用新型提供种一种盒装晶圆吸附分拣结构，包括吸嘴浮动头，所述吸嘴浮动头包括横板和竖板，所述竖板上固定有第一直线导轨，所述第一直线导轨的滑块上固定有吸嘴固定板，所述吸嘴固定板上固定有第一限位板，所述第一直线导轨的顶部固定有与第一限位板配合的第二限位板，所述第一限位板位于横板和第二限位板之间；所述吸嘴固定板上固定有现有吸嘴。
16.横板底部和第一限位板顶部直线固定有第一缓冲装置，所述第一缓冲装置包括开设在横板底部的第一限位槽、开设在第一限位板顶部的第二限位槽，所述第一限位槽和第二限位槽之间放置有第一缓冲件。第一缓冲件为第一弹簧或第一高分子弹性柱，所述第一高分子弹性柱内部开设第一穿孔。
17.第二限位板顶部和第一限位板底部直线固定有第二缓冲装置，所述第二缓冲装置包括开设在第二限位板顶部的第三限位槽、开设在第一限位板底部的第四限位槽，所述第三限位槽和第四限位槽之间放置有第二缓冲件。第二缓冲件为第二弹簧或第二高分子弹性柱，所述第二高分子弹性柱内部开设第二穿孔。
18.所述第一高分子弹性柱和第二高分子弹性柱的外壁上均开设有楔形槽，内壁上开设有与楔形槽配合的槽体。
19.本实用新型在投入使用的时候，将吸嘴浮动头固定在三轴移动机械臂上。
20.与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本实用新型结构简单，由于第一限位板和第二限位板的配合设置，能够防止直线导轨损坏，吸嘴直接砸穿晶圆的情况发生；增加第一缓冲装置和第二缓冲装置能够防止吸嘴在取晶圆的时候增加一定的缓冲力，保护晶圆不在搬运时损坏。
21.上述说明并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种盒装晶圆吸附分拣结构，其特征在于：包括吸嘴浮动头(1)，所述吸嘴浮动头(1)包括横板(102)和竖板(101)，所述竖板(101)上固定有第一直线导轨(203)，所述第一直线导轨(203)的滑块(301)上固定有吸嘴固定板(2)，所述吸嘴固定板(2)上固定有第一限位板(201)，所述第一直线导轨(203)的顶部固定有与第一限位板(201)配合的第二限位板(302)，所述第一限位板(201)位于横板(102)和第二限位板(302)之间；所述吸嘴固定板(2)上固定有吸嘴(4)。2.根据权利要求1所述的盒装晶圆吸附分拣结构，其特征在于：所述横板(102)底部和第一限位板(201)顶部直线固定有第一缓冲装置，所述第一缓冲装置包括开设在横板(102)底部的第一限位槽(5)、开设在第一限位板(201)顶部的第二限位槽(6)，所述第一限位槽(5)和第二限位槽(6)之间放置有第一缓冲件。3.根据权利要求2所述的盒装晶圆吸附分拣结构，其特征在于：所述第一缓冲件为第一弹簧(7)或第一高分子弹性柱(8)，所述第一高分子弹性柱(8)内部开设第一穿孔(801)。4.根据权利要求1所述的盒装晶圆吸附分拣结构，其特征在于：所述第二限位板(302)顶部和第一限位板(201)底部直线固定有第二缓冲装置，所述第二缓冲装置包括开设在第二限位板(302)顶部的第三限位槽(9)、开设在第一限位板(201)底部的第四限位槽(10)，所述第三限位槽(9)和第四限位槽(10)之间放置有第二缓冲件。5.根据权利要求4所述的盒装晶圆吸附分拣结构，其特征在于：所述第二缓冲件为第二弹簧或第二高分子弹性柱(11)，所述第二高分子弹性柱(11)内部开设第二穿孔(1101)。

技术总结
本实用新型公开一种盒装晶圆吸附分拣结构，包括吸嘴浮动头，所述吸嘴浮动头包括横板和竖板，所述竖板上固定有第一直线导轨，所述第一直线导轨的滑块上固定有吸嘴固定板，所述吸嘴固定板上固定有第一限位板，所述第一直线导轨的顶部固定有与第一限位板配合的第二限位板，所述第一限位板位于横板和第二限位板之间；所述吸嘴固定板上固定有吸嘴。本实用新型结构简单，由于第一限位板和第二限位板的配合设置，能够防止直线导轨损坏，吸嘴直接砸穿晶圆的情况发生；增加第一缓冲装置和第二缓冲装置能够防止吸嘴在取晶圆的时候增加一定的缓冲力，保护晶圆不在搬运时损坏。保护晶圆不在搬运时损坏。保护晶圆不在搬运时损坏。


技术研发人员：忻超
受保护的技术使用者：宁波轻蜓视觉科技有限公司
技术研发日：2021.09.07
技术公布日：2022/1/11