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一种可对残留硅粉进行清理的切片装置的制作方法

2022-02-20 08:28:27 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型属于硅棒切片技术领域,特别是涉及一种可对残留硅粉进行清理的切片装置。


背景技术:

2.单晶硅片是硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、太阳能电池等,单晶硅片在制作时需要使用金刚石线切片机对硅棒进行切片,但是现有的金刚石线切片机在切割硅棒之后金刚石线上会残留有硅粉,会影响下次的切割效果。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种可对残留硅粉进行清理的切片装置,以解决了现有的问题:现有的金刚石线切片机在切割硅棒之后金刚石线上会残留有硅粉,会影响下次的切割效果。
4.为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:一种可对残留硅粉进行清理的切片装置,包括主体架,所述主体架的形状为三角形,所述主体架顶部内侧的一侧端角转动连接有主动转轮,所述主体架底部两个端角的内侧均转动连接有从动转轮,所述主动转轮与从动转轮的外侧装配有金刚石线,所述主体架的一端面装配有水雾除尘机构,所述主体架的另一端面装配有风力除尘机构。
5.进一步地,所述水雾除尘机构包括有第一固定座、清洁液管、输液泵、第一输液管、第二输液管与喷液嘴,所述第一固定座固定在主体架的一端面,所述第一固定座的内部固定有输液泵,所述输液泵的输入端固定有第一输液管,所述第一固定座的上表面通过连接杆固定有清洁液管,所述第一输液管的另一端与清洁液管连接,所述输液泵的输出端固定有第二输液管,所述第二输液管的一端固定有喷液嘴,且所述喷液嘴的输出端与金刚石线的移动路径对应。
6.进一步地,所述风力除尘机构包括有第二固定座、第一输气管、第二输气管、喷气嘴与输气泵,所述第二固定座固定在主体架的另一端面,所述第二固定座的内部固定有输气泵,所述输气泵的输入端固定有第一输气管,所述输气泵的输出端固定有第二输气管,所述第二输气管的一端固定有喷气嘴,所述喷气嘴的输出端与金刚石线的移动路径对应。
7.进一步地,所述主体架的一侧面固定有电机,所述电机的输出端与主动转轮连接,所述主体架的一侧面且位于电机的外侧固定有防护壳。
8.进一步地,所述主体架底端的两个端角均固定有支架,所述支架的底端装配有电动推杆,所述电动推杆的输出端与支架的底端连接,所述电动推杆的底端固定有底座。
9.进一步地,所述清洁液管的顶端设置有注液口,所述注液口处装配有密封塞。
10.本实用新型具有以下有益效果:
11.1、本实用新型通过清洁液管、输液泵、第一输液管、第二输液管与喷液嘴配合,使
得装置能够对金刚石线上残留的硅粉进行冲刷,避免硅粉残留影响切割效果。
12.2、本实用新型通过第一输气管、第二输气管、喷气嘴与输气泵配合,使得装置能够对金刚石线上残留的水渍与水渍内残留的硅粉吹除,更加方便使用。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1为本实用新型的结构示意图;
15.图2为本实用新型一侧的剖面图;
16.图3为本实用新型电机与主动转轮的连接示意图;
17.图4为本实用新型图2上a处的结构示意图;
18.图5为本实用新型图2上b处的结构示意图。
19.附图中,各标号所代表的部件列表如下:
20.1、主体架;2、主动转轮;3、从动转轮;4、电机;5、金刚石线;6、防护壳;7、水雾除尘机构;8、风力除尘机构;9、第一固定座;10、清洁液管;11、输液泵;12、第一输液管;13、第二输液管;14、喷液嘴;15、第二固定座;16、第一输气管;17、第二输气管;18、喷气嘴;19、支架;20、电动推杆;21、底座;22、输气泵。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-5所示,本实用新型为一种可对残留硅粉进行清理的切片装置,包括主体架1,主体架1的形状为三角形,主体架1顶部内侧的一侧端角转动连接有主动转轮2,主体架1的一侧面固定有电机4,电机4的输出端与主动转轮2连接,电机4用于带动主动转轮2旋转,主体架1的一侧面且位于电机4的外侧固定有防护壳6,主体架1底部两个端角的内侧均转动连接有从动转轮3,主动转轮2与从动转轮3的外侧装配有金刚石线5,主动转轮2旋转时能够带动金刚石线5进行快速移动,主体架1底端的两个端角均固定有支架19,支架19的底端装配有电动推杆20,电动推杆20的输出端与支架19的底端连接,电动推杆20的底端固定有底座21,支架19可用于调节主体架1的高度,进而能够调节金刚石线5的高度,对硅棒进行切割,主体架1的一端面装配有水雾除尘机构7;
23.具体的,水雾除尘机构7包括有第一固定座9、清洁液管10、输液泵11、第一输液管12、第二输液管13与喷液嘴14,第一固定座9固定在主体架1的一端面,第一固定座9的内部固定有输液泵11,输液泵11的输入端固定有第一输液管12,第一固定座9的上表面通过连接杆固定有清洁液管10,清洁液管10的顶端设置有注液口,注液口处装配有密封塞,第一输液管12的另一端与清洁液管10连接,输液泵11的输出端固定有第二输液管13,第二输液管13
的一端固定有喷液嘴14,且喷液嘴14的输出端与金刚石线5的移动路径对应,通过输液泵11将清洁液管10内的清理液抽出至第二输液管13处,从喷液嘴14喷出,将金刚石线5上的硅粉冲落,降低硅粉对切割造成的影响;
24.进一步地,主体架1的另一端面装配有风力除尘机构8;
25.具体的,风力除尘机构8包括有第二固定座15、第一输气管16、第二输气管17、喷气嘴18与输气泵22,第二固定座15固定在主体架1的另一端面,第二固定座15的内部固定有输气泵22,输气泵22的输入端固定有第一输气管16,输气泵22的输出端固定有第二输气管17,第二输气管17的一端固定有喷气嘴18,喷气嘴18的输出端与金刚石线5的移动路径对应,通过输气泵22能够将外部空气抽入至第二输气管17,从喷气嘴18处喷出,能够将金刚石线5上残留的水渍吹掉,防止水渍内残留有硅粉;
26.本实施例的一个具体应用为:首先将装置连接外部电源,在对硅棒进行切片时,通过电机4带动主动转轮2旋转,使得装配在主动转轮2与从动转轮3上的金刚石线5快速移动,同时将硅棒移动至金刚石线5的下方,之后通过电动推杆20调节金刚石线5的高度,对硅棒进行切片,同时通过输液泵11将清洁液管10内的清理液抽出至第二输液管13,从喷液嘴14喷出,喷在金刚石线5的表面,将金刚石线5表面残留的硅粉冲刷下,同时输气泵22将外部空气抽送至第二输气管17,从喷气嘴18处喷出,将金刚石线5上残留的水渍吹下,避免水渍内残留硅粉,能够有效避免硅粉对硅棒切割造成影响。
27.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
28.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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