一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法与流程

技术特征：
1.一种基于六自由度控制的运动台，其特征在于，包括基座、工作台和控制装置，所述工作台设置于所述基座的上方，所述工作台的下表面设置有多个凹槽，所述控制装置包括控制模块和安装在所述基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，所述第一电机组设置在所述工作台的侧面，用以驱动所述工作台在x方向、y方向和rz方向的运动，所述第二电机组和所述位置检测模块分别设置在所述凹槽中，所述第二电机组抵在所述工作台的底面，用以驱动所述工作台在z方向、rx方向和ry方向的运动，所述位置检测模块与所述工作台的表面之间具有间隙，以检测所述工作台的实时位置；所述第一电机组、所述第二电机组、所述位置检测模块均与所述控制模块电连接。2.根据权利要求1所述的基于六自由度控制的运动台，其特征在于，所述第一电机组包括x向电机、第一y向电机和第二y向电机，所述x向电机设置在所述工作台的一侧，所述第一y向电机和所述第二y向电机均设置在所述工作台的相邻侧，且所述第一y向电机和所述第二y向电机在所述相邻侧间隔设置。3.根据权利要求2所述的基于六自由度控制的运动台，其特征在于，所述第一电机组还包括安装在基座上的x向电机支座、第一y向电机支座和第二y向电机支座，所述x向电机与所述x向电机支座固定，所述x向电机的电机动子与所述工作台的侧面固定，所述x向电机的电机定子固定在所述x向电机支座上；所述第一y向电机与所述第一y向电机支座固定，所述第一y向电机的电机动子与所述工作台的侧面固定，所述第一y向电机的电机定子固定在所述第一y向电机支座上；所述第二y向电机与所述第二y向电机支座固定，所述第二y向电机的电机动子与所述工作台的侧面固定，所述第二y向电机的电机定子固定在所述第二y向电机支座上。4.根据权利要求1所述的基于六自由度控制的运动台，其特征在于，所述第二电机组包括第一垂向电机、第二垂向电机和第三垂向电机，所述第一垂向电机、第二垂向电机和第三垂向电机在所述基座上呈正三角形布置。5.根据权利要求4所述的基于六自由度控制的运动台，其特征在于，所述第二电机组还包括安装在所述基座上的第一垂向电机支座、第二垂向电机支座和第三垂向电机支座，所述第一垂向电机固定在所述第一垂向电机支座上，所述第一垂向电机的电机动子与所述工作台的底面固定，所述第一垂向电机的电机定子固定在所述第一垂向电机支座上；所述第二垂向电机固定在所述第二垂向电机支座上，所述第二垂向电机的电机动子与所述工作台的底面固定，所述第二垂向电机的电机定子固定在所述第二垂向电机支座上；所述第三垂向电机固定在所述第三垂向电机支座上，所述第三垂向电机的电机动子与所述工作台的底面固定，所述第三垂向电机的电机定子固定在所述第三垂向电机支座上。6.根据权利要求5所述的基于六自由度控制的运动台，其特征在于，所述第一垂向电机的电机动子、所述第二垂向电机的电机动子、所述第三垂向电机的电机动子与所述工作台的底面均是粘接固定。7.根据权利要求1所述的基于六自由度控制的运动台，其特征在于，所述位置检测模块包括多个传感器组，所述工作台的每个侧面均设置有对应的所述传感器组；每个传感器组均包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器检测所述工作台的侧面的实时位置，所述第二传感器检测所述第二传感器位置距离所述凹槽的底面的高度。8.根据权利要求1所述的基于六自由度控制的运动台，其特征在于，所述工作台为微晶
玻璃台，所述第一电机组分别通过铝块固定在所述微晶玻璃台上，所述铝块与所述微晶玻璃台粘接固定。9.根据权利要求1所述的基于六自由度控制的运动台，其特征在于，所述工作台的上表面设置有探测器和探测器支座，所述探测器支座安装在所述工作台上，所述探测器安装在所述探测器支座上。10.一种如权利要求1至9任一项所述的基于六自由度控制的运动台的控制方法，其特征在于，包括：步骤s1，利用控制模块控制第一电机组驱动工作台在x方向、y方向或rz方向运动，控制模块控制第二电机组驱动工作台在z方向、rx方向或ry方向运动；步骤s2，利用传感器组检测工作台的实时位置，并将工作台的实时位置发送至控制模块；步骤s3，判断工作台的实时位置是否满足控制精度要求；步骤s4，若工作台的实时位置满足控制精度要求，控制模块控制第一电机组和第二电机组停止工作；若工作台的实时位置不满足控制精度要求，则重复进行步骤s1－步骤s3，直至工作台的实时位置满足控制精度要求。

技术总结
本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，第一电机组设置在工作台的侧面，用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动，第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中，第二电机组抵在工作台的底面，用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动，位置检测模块检测工作台的实时位置；第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制，从而提高对运动台的控制精度。度。度。


技术研发人员：赵鹏越 王继尧 吴剑威 刘江 李昌其 王辉 谭久彬
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
技术研发日：2021.09.22
技术公布日：2022/1/11