一种锅形靶材及其加工方法与流程

技术特征：
1.一种锅形靶材的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：(1)将板坯置于下模具空腔位置的上方，然后在板坯上方铺设碳纸；(2)将上模具从步骤(1)板坯和碳纸的上方向下移动进行冲压，冲压后板坯形成锅形，与上模具形成组合件；(3)将步骤(2)得到的组合件中的冲压后板坯与上模具分离，得到锅形靶材。2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述板坯的材质包括cu或ta；优选地，步骤(1)所述板坯的形状为圆盘形；优选地，步骤(1)所述下模具和步骤(2)所述上模具的材质包括模具钢。3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述板坯的平面尺寸大于所述下模具中空腔的横截面尺寸；优选地，步骤(1)所述下模具的空腔表面提前涂抹润滑剂；优选地，所述润滑剂包括润滑油和/或机油。4.根据权利要求1-3任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述碳纸包括石墨纸；优选地，步骤(1)所述碳纸完全覆盖板坯的上表面，其面积不小于板坯上表面的面积；优选地，步骤(1)所述碳纸的厚度为0.1～0.3mm。5.根据权利要求1-4任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述上模具中与板坯直接接触的结构为冲头；优选地，所述上模具中冲头的形状与锅形靶材的内部形状相同；优选地，所述上模具中冲头的尺寸与锅形靶材的内部尺寸相同；优选地，所述上模具中冲头的半径与板坯的厚度之和小于下模具中空腔的横截面半径。6.根据权利要求1-5任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述上模具向下移动与板坯接触后，施加的压力逐渐增加，将板坯的中间部位压入下模具的空腔中；优选地，所述冲压过程的压力增加的速率为2～3t/s；优选地，所述冲压过程由冲头一次冲压成型。7.根据权利要求1-6任一项所述的的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述冲压时碳纸紧贴在板坯的表面上，其形状随板坯的形状同步变化，位于板坯和冲头之间；优选地，步骤(2)所述板坯形成锅形后，锅形板坯的外部侧面贴紧下模具内腔的侧面。8.根据权利要求1-7任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述组合件中的上模具在动力作用下向上移动，与冲压后的板坯自然分离；优选地，所述冲压后的板坯与上模具分离后，取下碳纸，得到锅形靶材。9.根据权利要求1-8任一项所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：(1)将板坯置于下模具空腔位置的上方，所述板坯的形状为圆盘形，板坯的平面尺寸大于所述下模具中空腔的横截面尺寸，所述下模具的空腔表面提前涂抹润滑剂，然后在板坯上方铺设碳纸，所述碳纸完全覆盖板坯的上表面，其面积不小于板坯上表面的面积，所述碳纸包括石墨纸，厚度为0.1～0.3mm；(2)将上模具从步骤(1)板坯和碳纸的上方向下移动进行冲压，所述上模具中与板坯直
接接触的结构为冲头，所述冲头的形状与锅形靶材的内部形状相同，冲头的尺寸与锅形靶材的内部尺寸相同，所述上模具中冲头的半径与板坯的厚度之和小于下模具中空腔的横截面半径，所述上模具向下移动与板坯接触后，施加的压力逐渐增加，压力增加的速率为2～3t/s，将板坯的中间部位压入下模具的空腔中，冲压后板坯形成锅形，与上模具形成组合件；所述冲压时碳纸紧贴在板坯的表面上，其形状随板坯的形状同步变化，位于板坯和冲头之间，所述板坯形成锅形后，锅形板坯的外部侧面贴紧下模具内腔的侧面；(3)将步骤(2)得到的组合件中的冲压后板坯与上模具分离，分离过程为上模具在动力作用下向上移动，与冲压后的板坯自然分离，所述冲压后的板坯与上模具分离后，取下碳纸，得到锅形靶材。10.根据权利要求1-9任一项所述的加工方法得到的锅形靶材。

技术总结
本发明提供了一种锅形靶材及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：将板坯置于下模具空腔位置的上方，然后在板坯上方铺设碳纸；将上模具从板坯和碳纸的上方向下移动进行冲压，冲压后板坯形成锅形，与上模具形成组合件；将组合件中的冲压后板坯与上模具分离，得到锅形靶材。本发明所述方法采用冲压的方法加工锅形靶材，在上模具和下模具的配合下，靶材的形状及尺寸便于控制，并通过碳纸的使用，避免板坯和模具之间的直接接触，便于冲压完成后靶材与模具的快速分离，无需复杂操作，既可保证靶材产品的纯度，也能够提高生产效率；所述方法操作简便，产品合格率高，成本较低，便于批量生产。产。


技术研发人员：姚力军 潘杰 王学泽 边逸军 华东瑜 廖培君
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2021.09.30
技术公布日：2022/1/10